课题基金 / 基金详情

高分解能電子顕微鏡によるナノ電子線加工過程の構造と組成のその場解析

高分解能電子顕微鏡によるナノ電子線加工過程の構造と組成のその場解析
使用高分辨率电子显微镜对纳米电子束加工过程中的结构和成分进行原位分析
批准号：
05239206
负责人：
木塚 徳志
金额：
$1.54万
依托单位：
Nagoya University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1993
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1993 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-05239206/
关键词：
超微細加工ナノ機構ナノ構造電子顕微鏡電子線動的観察構造解析組成

项目摘要

项目成果

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原子レベルで構造制御されて作製された先端材料を、さらに広範囲に利用するためには、同程度の加工精度をもつ超微細加工が必要とされる。本研究代表者は現在その最も期待できる手法が電子線超微細加工であると考えた。本研究は直径がわずか数nmしかない電子線を用いて、ナノメートル規模の線書きや穴あけ、構造変化などの加工が原子尺度の精度で制御できることを示し、そのうえその加工過程を加工後にではなく加工中に原子尺度の空間分解能と60分の1の時間分解能をもつ高分解能電子顕微鏡で明らかにした。加工領域の最小径を1nm以下、加工領域の最小間隔を13nmまで制御できることが本研究より証明された。この値は直接的な電子線超微細加工では世界で最も精度の良いものである。また酸化物超伝導体用の酸化マグネシウム基板が電子線で超微細加工できることを明らかにしたのも本研究が初めてであり、電子デバイス応用面に対する貢献は大きい。さらに、本研究では前述の観察法により、このような加工が電子線によるはじき出しとFeibelman-Knotek機構から生じるクーロン反発力による表面原子の脱離に起因すると考えられる昇華現象によって進行することを初めて明らかにした。この結果は加工学は勿論、固体物理学においても貴重である。また本研究で開発された動的原子観察手法は電子顕微鏡学的にも重要なものである。以上のように本年度では電子線超微細加工を経験的な技術から工学的手法に発展させるための基礎となる加工精度の向上、加工物質の探索、加工過程の物理的解明などの成果を得た。
期刊论文(12)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Tokushi Kizuka: "Dynamic high-resolution electron microscopy of diffusion bonding between zinc oxide nanocrystallites at ambient temperature" Philosophical Magazine Letters. (in print).
Tokushi Kizuka：“环境温度下氧化锌纳米微晶之间扩散结合的动态高分辨率电子显微镜”哲学杂志快报。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Tokushi Kizuka: "Structure and mechanical properties of nanocrystalline Ag/MgO composites" Journal of Materials Science. (in print).
Tokushi Kizuka：“纳米晶 Ag/MgO 复合材料的结构和机械性能”材料科学杂志。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Tokushi Kizuka: "High-resolution electron microscopy of vacuum-deposited nanocrystalline Ni-Al intermetallic compounds" Proceedings of International Symposium on Intermetallic Compounds. 2. 1165-1170 (1993)
Tokushi Kizuka：“真空沉积纳米晶镍铝金属间化合物的高分辨率电子显微镜”国际金属间化合物研讨会论文集。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Tokushi Kizuka: "Effect of interface on structural fluctuation in gold clusters fixed on MgO fine rods" Zeitshrift fur Physik. D26S. 58-60 (1993)
Tokushi Kizuka：“界面对固定在 MgO 细棒上的金簇结构波动的影响”Zeitshrift Fur Physik。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
共 6 条
    原子直視型材料力学実験法による変形・摩擦型ナノメートル機械素子の開発
    • 批准号：
      23K22657
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $1.75万
    • 财政年份：
      2024
    • 负责人：
      木塚 徳志
    • 依托单位：
      University of Tsukuba
    原子直視型材料力学実験法による変形・摩擦型ナノメートル機械素子の開発
    • 批准号：
      22H01386
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $5.24万
    • 财政年份：
      2022
    • 负责人：
      木塚 徳志
    • 依托单位：
      University of Tsukuba
    原子直視法によるサブ10nm級局所融解加工の開発
    • 批准号：
      21K18683
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
    • 资助金额：
      $3.99万
    • 财政年份：
      2021
    • 负责人：
      木塚 徳志
    • 依托单位：
      University of Tsukuba
    原子直視法を利用した単一原子個別の単一光子分光
    • 批准号：
      19651047
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $1.54万
    • 财政年份：
      2007
    • 负责人：
      木塚 徳志
    • 依托单位：
      University of Tsukuba