课题基金 / 基金详情

高分解能電子顕微鏡を用いたナノ電子線加工過程における構造と伝熱のその場解析

高分解能電子顕微鏡を用いたナノ電子線加工過程における構造と伝熱のその場解析
使用高分辨率电子显微镜对纳米电子束加工过程中的结构和传热进行原位分析
批准号：
07219208
负责人：
木塚 徳志
金额：
$1.28万
依托单位：
Nagoya University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1995
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1995 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-07219208/
关键词：
高分解能透過電子顕微鏡電子顕微鏡その場解析電子線加工

项目摘要

项目成果

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高分解能透過電子顕微鏡を用いてナノメートルサイズの電子線を発生させて超微細加工しその機構を原子直視的に明らかにした。具体的な研究成果は以下の通りである。1.今まで本研究者が用いていた熱放出型透過電子顕微鏡よりもさらに微小な収束径(〜0.2nm)と高い照射密度(10^2〜10^4A/cm^2)をもつ電子線を発生させる電界放出型透過電子顕微鏡により加工精度と加工速度をさらに向上させた。得られた加工精度は現在世界最高のものである。また今まで加工速度が遅く超微細電子線加工には不向きであった材料の加工に成功した。観察像と計算機シミュレーションとの比較により加工の構造評価をした。2.結晶粒界、転位、微小空隙等の格子欠陥を含まない単純な組織の材料だけではなく格子欠陥を含む多種多様な材料に対してもナノ電子線加工が有用であることを示した。特に加工終了直前における各格子欠陥のサイズの超微細化に伴う原子配列の変化を明らかにした。3.各種材料の電子線照射による脱離率の差を利用して、被覆したナノメートル-サイズの領域を残して材料を削り突起形状を作製することに成功した。4.電子顕微鏡内で金属-セラミック、金属-半導体、サラミック-セラミックどうしを常温において接合し、その過程を原子尺度で観察した。ナノ結晶粒どうしの接合によってナノメートル構造をもつ材料の創製することができた。以上の成果がいづれも現在の超微細電子線加工における最先端に位置するものである。
期刊论文(6)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
T.Kizuka et al.: "Nanometer-scale electron beam processing and in-situ atomic observation of vacuum-deposited MgO films in HREM" Philosophical magazine. 71. 631-639 (1995)
T.Kizuka 等人：“HREM 中真空沉积 MgO 薄膜的纳米级电子束处理和原位原子观察”哲学杂志。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
T.Kizuka et al.: "Structure and hardness of nanocrystalline silver" Journal of Materials Science. (in print). (1996)
T.Kizuka 等人：“纳米晶银的结构和硬度”材料科学杂志。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
T.Kizuka et al.: "Time-resolved atomic observation of fragmentation in gold clusters studied by HRTEM" Surface Review and Letters. (in print). (1995)
T.Kizuka 等人：“通过 HRTEM 研究的金簇碎片的时间分辨原子观察”《表面评论与快报》。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
木塚徳志 他: "超微細電子線加工の動的原子直視観察" 日本金属学会報. 34. 547 (1995)
Tokushi Kizuka 等：“超精细电子束加工的动态原子直接观察”日本金属研究所通报 34. 547 (1995)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
共 6 条
    原子直視型材料力学実験法による変形・摩擦型ナノメートル機械素子の開発
    • 批准号：
      23K22657
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $1.75万
    • 财政年份：
      2024
    • 负责人：
      木塚 徳志
    • 依托单位：
      University of Tsukuba
    原子直視型材料力学実験法による変形・摩擦型ナノメートル機械素子の開発
    • 批准号：
      22H01386
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $5.24万
    • 财政年份：
      2022
    • 负责人：
      木塚 徳志
    • 依托单位：
      University of Tsukuba
    原子直視法によるサブ10nm級局所融解加工の開発
    • 批准号：
      21K18683
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
    • 资助金额：
      $3.99万
    • 财政年份：
      2021
    • 负责人：
      木塚 徳志
    • 依托单位：
      University of Tsukuba
    原子直視法を利用した単一原子個別の単一光子分光
    • 批准号：
      19651047
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $1.54万
    • 财政年份：
      2007
    • 负责人：
      木塚 徳志
    • 依托单位：
      University of Tsukuba
    海外基金