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半導体生産プロセスのフッ素完全除去と水循環利用

半导体生产过程中的完整除氟和水回收

基本信息

批准号：
09247227
负责人：
伊永隆史
金额：
$ 1.34万
依托单位：
The University of Tokushima
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1997
资助国家：
日本
起止时间：
1997 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

半導体生産関連プロセスのフッ化水素系洗浄排水のフッ素完全除去に適用可能なカラム処理技術の開発を目指し、CaF_2,フッ素アパタイト等をセラミック焼結時に含有させ、フッ素完全除去機能を持つセラミック焼結体を十数種類合成した。CaF_2含有セラミックの作製は、市販ホタル石(CaF_2)を粉砕紛糾したものとシリカ粉末(SiO_2)をそれぞれ組成を変えて結合した後、多孔質化材としてスチロール樹脂粉末、バインダーとしてサンサルを加える。ペレット状に抽出成形したり、球状に丸めたりした後、約1200℃で焼成して、均一形状のセラミック材料が得られた。フッ素アパタイト・骨粉等を混入した。同様に焼成したセラミック材料も加え、フッ素含有排水との反応特性の実験解析と特性評価を実施した。Caf_2沈殿反応系ヘリン酸態を共存させることによって、難溶性のフッ素アパタイトが容易に生成しフッ素アパタイト含有セラミック上に、エピタキシャルに新しいアパタイトが成長する。この反応は、歯の表面に歯石が蓄積する生体反応を模倣したものである。類似の結晶成長現象がセラミック表面で起こるので、充填カラムを用いたフッ素排水の通液実験では、破過が起こるのか否かの観察も含め、破過に至るまでの通液実験とセラミックの再生実験を種々実施する必要があることを認めた。また、今回行った実験結果から、カラム法の方がバッチ法に比べフッ素除去に効果的に働くことが明らかになったが、その理由は接触効率が良いことがあげられる。

Semiconductor production-related hydrochloric acid-based hydration system cleaning waste water can completely remove the fluorine element and can be applied to the なカラム treatment technology の开発を目し, CaF_ 2. The fusu アパタイト and other fusu をセラミック焼综合に contains させ, and the fusu アアパタイトをセラミック焼组に contains させ, and the fusu ッアアタイトをセラミック焼组に has dozens of types of synthetic した. CaF_2 contains セラミックのは, commercially available ホタル石 (CaF_2), and をたものとシリカ powder (SiO_2) The combination of をそれぞれを変えて and した, porous material としてスTetra resin powder and Tetra resin powder. The ペレット-shaped ににしたり and the spherical にpellet めたりした are then baked into して at about 1200℃, and the uniform shape of the のセラミック material is obtained into られた. Fiber ingredients, bone meal, etc. are mixed into it. The same material as the したセラミック material of the same 様に焼 is added and the フッ element contains the drainage and reaction properties of the の実験analytical and characteristic evaluation価を実士した. Caf_2 Shen Dian reaction system ヘリン acidic を coexistence させることによって, insoluble のフッprime アパタイトが easyに生しフッ素アパタイト contains セラミック上に, エピタキシャルに新しいアパタイトが GROWTH する.この Reflection は, 歯のsurface に歯石が accumulates するbiotic reaction をimitates したものである. Similar to the crystal growth phenomenon, the surface of the material is raised, the filling is made of water, the liquid is drained, the liquid is broken, and the water is broken.のか不かの観看とセめ、breaking through に到るまでの通流殟験とセラミックの regeneration 実験を kind 々実 Shi する neccessary があることを cognize めた.また, 下行った実験RESULTS から, カラム法の方がバッチ法に比べフッ素出にeffect The contact efficiency of に働くことが明らかになったが and そのreason is good and good.