半導体生産プロセスのフッ素完全除去と水循環利用

半导体生产过程中的完整除氟和水回收

基本信息

  • 批准号:
    09247227
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 1.34万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 财政年份:
    1997
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    1997 至 无数据
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

半導体生産関連プロセスのフッ化水素系洗浄排水のフッ素完全除去に適用可能なカラム処理技術の開発を目指し、CaF_2,フッ素アパタイト等をセラミック焼結時に含有させ、フッ素完全除去機能を持つセラミック焼結体を十数種類合成した。CaF_2含有セラミックの作製は、市販ホタル石(CaF_2)を粉砕紛糾したものとシリカ粉末(SiO_2)をそれぞれ組成を変えて結合した後、多孔質化材としてスチロール樹脂粉末、バインダーとしてサンサルを加える。ペレット状に抽出成形したり、球状に丸めたりした後、約1200℃で焼成して、均一形状のセラミック材料が得られた。フッ素アパタイト・骨粉等を混入した。同様に焼成したセラミック材料も加え、フッ素含有排水との反応特性の実験解析と特性評価を実施した。Caf_2沈殿反応系ヘリン酸態を共存させることによって、難溶性のフッ素アパタイトが容易に生成しフッ素アパタイト含有セラミック上に、エピタキシャルに新しいアパタイトが成長する。この反応は、歯の表面に歯石が蓄積する生体反応を模倣したものである。類似の結晶成長現象がセラミック表面で起こるので、充填カラムを用いたフッ素排水の通液実験では、破過が起こるのか否かの観察も含め、破過に至るまでの通液実験とセラミックの再生実験を種々実施する必要があることを認めた。また、今回行った実験結果から、カラム法の方がバッチ法に比べフッ素除去に効果的に働くことが明らかになったが、その理由は接触効率が良いことがあげられる。
The semiconductor production related to the development of chemical elements such as CaF_2, CaF_2, CaF_ CaF_2 contains CaF_2, SiO_2, SiO_2, SiO_2, After being extracted and shaped in a spherical shape, the material is sintered at about 1200℃ and has a uniform shape. The white powder is mixed in. In the same way, the material is added to the surface of the material, and the surface of the material is analyzed and evaluated. Caf_2 is a new type of organic solvent that can be easily formed in the acidic state of the organic solvent. The surface of the tooth is covered by the surface of the tooth. Similar crystal growth phenomena such as the formation of crystals on the surface, the filling of crystals, the use of pristine drainage, the passage of liquids, the detection of impurities, the passage of liquids through the surface, and the regeneration of crystals are necessary. The result of this process is that the method is better than the method of removing the effect.

项目成果

期刊论文数量(8)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Zhang,X., Yang,Y., Korenaga,T.: "Determination of Polynuclear Aromatic Hydrocarbons (PAHs) in Environmental Samples by Capillary Electrophoresis" Analytical Sciences. 13-13. 235-238 (1997)
张X.、杨Y.、Korenaga,T.:“通过毛细管电泳测定环境样品中的多核芳烃(PAH)”分析科学。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
Levy,J., Lee,K., Spengler,D,J., Korenaga,T., et al.,: "Impact of Residential Nitrogen Dioxide Exposure on Personal Exposure" An International Study. Air and Waste Management. 48(印刷中). (1998)
Levy, J.、Lee, K.、Spengler, D, J.、Korenaga, T. 等人:“住宅二氧化氮暴露对个人暴露的影响”48(印刷版)。 )(1998)
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
伊永隆史: "環境分析" 日立製作所計測器事業部, 18 (1997)
稻永隆:《环境分析》日立制作所测量仪器部,18(1997)
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
Yang,Y., Lu,Q., Cao,J., Wang,G., Men,R., Korenaga,T.: "Determination of Iron (III) with Methylene Blue by Stopped-flow Photochemical Analysis" Analytical Sciences. 13. 63-66 (1997)
Yang,Y.、Lu,Q.、Cao,J.、Wang,G.、Men,R.、Korenaga,T.:“通过停流光化学分析用亚甲蓝测定铁 (III)”分析科学。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
伊永隆史: "ぶんせき" 日本分析化学会, 317 (1997)
Takashi Inaga:“Bunseki”日本分析化学学会,317(1997)
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知道了