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半導体生産プロセスのフッ素完全除去と水循環利用

半导体生产过程中的完整除氟和水回收

基本信息

批准号：
10141232
负责人：
伊永隆史
金额：
$ 1.79万
依托单位：
The University of Tokushima
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
财政年份：
1998
资助国家：
日本
起止时间：
1998 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

(1) 歯石が付着したり、歯や骨フッ素が高含有量で蓄積できる生体反応を模倣し、従来にないバイオミメテイックな視点に基づくエコテクノロジー研究としても興味深い。(2) セラミック材料の表面にフッ素アパタイトのみがエピタキシャルに成長して析出するため、共沈現象の利用と異なり、汚染廃棄物の生成を最小限に抑制できる。(3) バッチ法で評価したセラミックスについて、カラム法で評価を行うため、ポンプを用いて向流または下降流で接触可能なカラム接触装置を作製する。(4) フッ素物イオン分析は、現有設備の島津イオンクロマトグラフィーとキャピラリー電気泳動を用いれば可能であるが、実際の複雑混合計フッ素排水は分析困難なので、JISKO102に基づく蒸留フッ素測定の公定法でチェックする必要がある。カルシウムは購入予定の原子吸光光度計で測定する。(5) CaF沈殿反応系へリン酸態リンを共存させることによって、難溶性のフッ素アパタイトが容易に生成しフッ素アパタイト含有セラミック上に、エピタキシャルに新しいアパタイトが成長する。この反応は、歯の表面に歯石が蓄積するせいた反応を模倣したものである。類似の結晶成長現象がセラミック表面で起こるので、充填カラムを用いたフッ素排水の通液実験では、破過が起こるのか否か検察も含め、破過に至るまでの塚液実験とセラミックの再生実験を長期実施する。

(1)The study on the biological reaction and the accumulation of the high content of the tooth and bone elements in the body is of great interest. (2)The growth and precipitation of the surface of the material, the utilization of the coprecipitation phenomenon, and the minimum suppression of the generation of pollutants (3)The method of evaluation is to evaluate the operation of the contact device, to control the downward flow, to control the contact possibility of the contact device. (4)The analysis of elemental substances is possible in the use of existing equipment, but it is difficult to analyze elemental water in the actual complex mixing system. JISKO102 is a common method for determining elemental evaporation. The atomic absorption spectrometer shall be purchased for the determination. (5)CaF is a kind of organic solvent which can be easily produced and can be used for the production of organic solvent. The surface of the glass is covered by a layer of glass. Similar crystal growth phenomena such as surface initiation, filling, drainage, liquid passage, breakthrough, initiation, detection, breakthrough, and liquid regeneration have been observed for a long time.