半導体生産プロセスのフッ素完全除去と水循環利用

半导体生产过程中的完整除氟和水回收

• 批准号: 10141232
• 负责人: 伊永 隆史
• 金额: $ 1.79万
• 依托单位: The University of Tokushima
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
• 财政年份: 1998
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1998 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-10141232/
• 关键词: フッ素; 処理技術; 廃棄物; 半導体製造; 排水処理; ゼロエミッション; エコテクノロジー; 先端産業

(1) 歯石が付着したり、歯や骨フッ素が高含有量で蓄積できる生体反応を模倣し、従来にないバイオミメテイックな視点に基づくエコテクノロジー研究としても興味深い。(2) セラミック材料の表面にフッ素アパタイトのみがエピタキシャルに成長して析出するため、共沈現象の利用と異なり、汚染廃棄物の生成を最小限に抑制できる。(3) バッチ法で評価したセラミックスについて、カラム法で評価を行うため、ポンプを用いて向流または下降流で接触可能なカラム接触装置を作製する。(4) フッ素物イオン分析は、現有設備の島津イオンクロマトグラフィーとキャピラリー電気泳動を用いれば可能であるが、実際の複雑混合計フッ素排水は分析困難なので、JISKO102に基づく蒸留フッ素測定の公定法でチェックする必要がある。カルシウムは購入予定の原子吸光光度計で測定する。(5) CaF沈殿反応系へリン酸態リンを共存させることによって、難溶性のフッ素アパタイトが容易に生成しフッ素アパタイト含有セラミック上に、エピタキシャルに新しいアパタイトが成長する。この反応は、歯の表面に歯石が蓄積するせいた反応を模倣したものである。類似の結晶成長現象がセラミック表面で起こるので、充填カラムを用いたフッ素排水の通液実験では、破過が起こるのか否か検察も含め、破過に至るまでの塚液実験とセラミックの再生実験を長期実施する。

(1) pay the し 歯 stone が た り, 歯 や bone フ が ッ element contains high amount of accumulation of で で き る raw body against 応 を に by imitating し, 従 な い バ イ オ ミ メ テ イ ッ ク な viewpoints に base づ く エ コ テ ク ノ ロ ジ ー research と し て も tumblers deep い. (2) セ ラ ミ ッ の ク material surface に フ ッ element ア パ タ イ ト の み が エ ピ タ キ シ ャ ル に growth し て precipitation す る た め, shen phenomenon の using と different な り, pollution 廃 outcast の を minimum limit に inhibition of で き る. (3) バ ッ チ method で review 価 し た セ ラ ミ ッ ク ス に つ い て, カ ラ ム method で review 価 を line う た め, ポ ン プ を with い て to flow ま た は may drop flow で contact な カ ラ ム contact device を cropping す る. (4) フ ッ element content イ オ は ン analysis, existing equipment の island ferry イ オ ン ク ロ マ ト グ ラ フ ィ ー と キ ャ ピ ラ リ ー electricity 気 swimming を use い れ ば may で あ る が after the event, be の 雑 mixed meter フ drainage は ッ element analysis difficult な の で, JISKO102 に base づ く distillation フ ッ element determination の public optional で チ ェ ッ ク す る necessary が あ る. Youdaoplaceholder0 シウム シウム カ purchase a pre-ordered <s:1> atomic absorbance photometer で to determine する. (5) CaF Shen Dian anti 応 へ リ ン acid state リ ン を coexistence さ せ る こ と に よ っ て and difficult to soluble の フ ッ element ア パ タ イ ト が に easily generate し フ ッ element ア パ タ イ ト contains セ ラ ミ ッ ク に, エ ピ タ キ シ ャ ル に new し い ア パ タ イ ト が growth す る. こ の anti 応 は, 歯 の surface に 歯 stone が accumulation す る せ い た anti 応 を imitate し た も の で あ る. Similar の crystal growth phenomenon が セ ラ ミ ッ ク surface で up こ る の で, filling カ ラ ム を with い た フ ッ element drainage の tong liquid be 験 で は, broken が since こ る の か no か 検 examine も め, break through に to る ま で の burial fluid be 験 と セ ラ ミ ッ ク の regeneration be 験 を long-term be shi す る.

项目成果

伊永隆史: "室内外環境汚染とモニタリング" 日本学術会議環境工学連合講演会講演論文集. 14. 25〜32 (1998)

Takashi Inaga：《室内外环境污染与监测》日本科学会议环境工程会议论文集。14. 25-32 (1998)。

伊永隆史: "土壌中の多環芳香族炭化水素の動態解析" 1998機器分析東京討論会講演要旨集. 1998. 11〜14 (1998)

Takashi Inaga：“土壤中多环芳烃的动态分析”1998年东京仪器分析研讨会摘要1998年。11-14（1998）。

檜山為次郎、澤田嗣郎、伊永隆史: "日本化学会季刊化学総説No36,ラタンノイドを利用する有機合成" 学会出版センター, 208 (1998)

Tamejiro Hiyama、Tsuguro Sawada、Takashi Inaga：“日本化学会季刊化学评论第 36 期，使用藤类化合物的有机合成”学会出版中心，208（1998）

Korenaga,T., Yang,Yi., Shibata,K., Motonaka,J., Ikeda,S.: "Determination of Sulfate in Environmental Water by Spectrophotometric Flow Injection Analysis" Japanese Journal of Toxicology and Environmental Health. 44(1). 49〜53 (1998)

Korenaga, T.、Yang, Yi.、Shibata, K.、Motonaka, J.、Ikeda, S.：“通过分光光度流动注射分析测定环境水中的硫酸盐”《日本毒理学与环境健康杂志》44(1)。 .49-53 (1998)

伊永隆史,梶原俊之,築山容子: "土壌・植物体中の多環芳香族炭化水素の分離定量と動態解析" エコテクノロジー研究. 5(1). 60〜61 (1999)

Takashi Inaga、Toshiyuki Kajiwara、Yoko Tsukiyama：“土壤和植物中多环芳烃的分离定量和动态分析”生态技术研究 5(1) (1999)。