マイクロプロ-ブ・オ-ジェ電子回折法による金属-半導体初期界面の研究

1.マイクロプロ-ブ・オ-ジェ電子回折(μ-probe AED)装置μ-probe AED装置とは次のような装置である。電子ビ-ムは、電界放射型走査電子顕微鏡(日立S-800)の走査電子ビ-ムを用いている。分析室は2x10-^<-10>torrの超高真空で、UHV-SEMとしての空間分解能は100Åである。RHEEDスポット強度を画像の入力信号とした暗視野像も見ることができる。これらの分析は、「その場」で行える。準備した表面の特定微小領域にprobeビ-ムを固定して、特定極角方向に励起されるオ-ジェ電子強度の方位角分布(オ-ジェ電子回折の方位角パタ-ン)を、特殊な電子分光器(一次元素示型電子分光器)で測定することによつて、μ-probeAEDパタ-ンが得られる。2.Si(111)4×1-In表面のμ-probeAEDパタ-ン測定Si(111)4×1-In表面は必然的にdomain(分域)構造を持つ。単分域の4×1領域を捜すことは、μ-probeAED装置を用いれば容易である。このような単分域4×1表面からのIn MNN AEDパタ-ンを測定することができた。現在、これらのAEDパタ-ンの解析を進めている。

1.マイクロプロ-ブ・オ-ジェ電子回折(μ-probe AED)装置μ-probe AED装置とは次のような装置である。電子ビ-ムは、電界放射型走査電子顕微鏡(日立S-800)の走査電子ビ-ムを用いている。分析室は2x10-^<-10>torrの超高真空で、UHV-SEMとしての空間分解能は100Åである。RHEEDスポット強度を画像の入力信号とした暗視野像も見ることができる。これらの分析は、「その場」で行える。準備した表面の特定微小領域にprobeビ-ムを固定して、特定極角方向に励起されるオ-ジェ電子強度の方位角分布(オ-ジェ電子回折の方位角パタ-ン)を、特殊な電子分光器(一次元素示型電子分光器)で測定することによつて、μ-probeAEDパタ-ンが得られる。2.Si(111)4×1-In表面のμ-probeAEDパタ-ン測定Si(111)4×1-In表面は必然的にdomain(分域)構造を持つ。単分域の4×1領域を捜すことは、μ-probeAED装置を用いれば容易である。このような単分域4×1表面からのIn MNN AEDパタ-ンを測定することができた。現在、これらのAEDパタ-ンの解析を進めている。