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Tailoring the dierectric-SiC Interface using a new oxidation procedure with precursors and its application to MOSFETs

Tailoring the dierectric-SiC Interface using a new oxidation procedure with precursors and its application to MOSFETs
使用新的前驱体氧化程序定制介电-SiC 界面及其在 MOSFET 中的应用
批准号:
17K14653
负责人:
Okamoto Dai
金额:
$2.75万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份:
2017
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2017-04-01 至 2020-03-31

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通讯作者: 岩室 憲幸
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    Development of SiC MOSFETs with High Channel Mobility by Incorporation of New Interface Passivation Elements
    海外基金