Entwurf und Realisierung hochfrequenter, miniaturisierter chemischer Quartz-Crystal-Microbalance / (QCM)-Sensoren sowie eines QCM-Sensorarrays für die Gas- und Flüssigkeitsanalytik

设计和实现高频、小型化化学石英晶体微天平/(QCM) 传感器以及用于气体和液体分析的 QCM 传感器阵列

• 批准号: 5110241
• 负责人: Professor Dr. Peter Hauptmann
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Mikrotechnik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 1998
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1997-12-31 至 2002-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5110241?language=en
• 关键词: Entwurf; und; Realisierung; hochfrequenter; miniaturisierter

Zentrale Fragestellung dieses Projektes ist, welche Vor- und Nachteile sich aus der Erhöhung der Resonanzfrequenz auf die Eigenschaften von Quarzresonatoren als chemische Sensoren ergeben. In den ersten Monaten der Projektbearbeitung wurde ein Prozess entwickelt, der die Herstellung von Quarzresonatoren mit hohen Frequenzen, ausreichender Güte und guter Trennung der Nebenresonanzen erlaubt. Im zweiten Projektjahr sollen sich die Arbeiten auf die reproduzierbare Herstellung von sensitiven Schichten und die Charakterisierung dieser als chemische Sensoren arbeitenden Einzelquarzresonatoren konzentrieren. Sie sollen zunächst in der Gas- und Flüssigkeitsanalytik eingesetzt werden. Durch die Erhöhung der Resonanzfrequenz wird insbesondere eine Steigerung der Empfindlichkeit und eine Reduzierung der Nachweisgrenze angestrebt. Im dritten Jahr sollen schließlich die gewonnenen Erkenntnisse zur Möglichkeit der Verkleinerung der Resonatoren und ihre monolithische Integration auf einem Substrat genutzt werden. So wird sich beispielsweise das erforderliche Analysevolumen verringern lassen. Neue Anwendungsfelder, z.B. in der Mikrosystemtechnik oder der Mikroreaktionstechnik werden ermöglicht, und miniaturisierte QCM-Module können preiswert hergestellt werden.

德国科学与工程研究中心（Zentrale Fragestellung diesesprojektes ist）， welche - and - Nachteile (welche - and - Nachteile),（德国），（德国），（德国），（德国），（德国），（德国），（德国），（德国）。在此基础上，我们将进一步研究如何开发新技术，研究如何开发新技术，研究如何开发新技术，研究如何开发新技术。在此基础上，研究人员提出了一种新的方法，即：在化学上，研究人员提出了一种新的方法：在化学上，研究人员提出了一种新的方法。天然气与天然气分析：天然气与天然气分析：天然气与天然气分析：天然气与天然气分析：天然气与天然气分析：天然气与天然气。Durch die Erhöhung der resonanzfrequency wind（谐振频率风）与derch（谐振频率风）、dersch（谐振频率风）、dersch（谐振频率风）、dersch（谐振频率风）、dersch（谐振频率风）。我写了一篇论文，题目是：< < < < < > > > < < < < > > > < < < > > < < < > > < < < > > > < < < > > > < < < > > < < < > > >。因此，这是一种非常明智的方法，可以用于分析体积。新anwendungsfeld， z.B. in der der microsystemtechnik der der der microreaktionstechnik werden ermöglicht, and miniaturisierte QCM-Module können preiswert hergestellt werden。