Entwurf und Realisierung hochfrequenter, miniaturisierter chemischer Quartz-Crystal-Microbalance / (QCM)-Sensoren sowie eines QCM-Sensorarrays für die Gas- und Flüssigkeitsanalytik

该项目的碎片中心是由石英谐振器的谐振频率和化学传感器的本征值组成的。在第一个月的项目中，我们开始了一个过程，通过高频率的石英谐振器的加热，以及对Nebenresonanzen的加热和加热。在第二个项目中，我们将研究如何重现Schichten敏感性和化学传感器的特性。您需要对气体和流体进行韦尔登。因此，共振频率的变化将导致对经验的把握和对后验焦虑的减少。In dritten Jahr sollen schließlich die gewonnenen Erkennnisse zur Möglichkeit der Verkleinerung der Resonatoren und ihre monolithische Integration auf einem Substrat genutzt韦尔登.因此，我们将继续努力，使分析卷的内容更加丰富。Neue Anwendungsfelder，z.B.在Mikrosystemtechnik或Mikroreaktionstechnik韦尔登ermöglicht中，QCM-Module模块可以被精确地韦尔登。

Zentrale Fragestellung dieses Projektes ist, welche Vor- und Nachteile sich aus der Erhöhung der Resonanzfrequenz auf die Eigenschaften von Quarzresonatoren als chemische Sensoren ergeben. In den ersten Monaten der Projektbearbeitung wurde ein Prozess entwickelt, der die Herstellung von Quarzresonatoren mit hohen Frequenzen, ausreichender Güte und guter Trennung der Nebenresonanzen erlaubt. Im zweiten Projektjahr sollen sich die Arbeiten auf die reproduzierbare Herstellung von sensitiven Schichten und die Charakterisierung dieser als chemische Sensoren arbeitenden Einzelquarzresonatoren konzentrieren. Sie sollen zunächst in der Gas- und Flüssigkeitsanalytik eingesetzt werden. Durch die Erhöhung der Resonanzfrequenz wird insbesondere eine Steigerung der Empfindlichkeit und eine Reduzierung der Nachweisgrenze angestrebt. Im dritten Jahr sollen schließlich die gewonnenen Erkenntnisse zur Möglichkeit der Verkleinerung der Resonatoren und ihre monolithische Integration auf einem Substrat genutzt werden. So wird sich beispielsweise das erforderliche Analysevolumen verringern lassen. Neue Anwendungsfelder, z.B. in der Mikrosystemtechnik oder der Mikroreaktionstechnik werden ermöglicht, und miniaturisierte QCM-Module können preiswert hergestellt werden.