Entwurf und integriert-optische Realisierung eines abstimmbaren Ti:Saphir-lasers

可调谐钛宝石激光器的设计和集成光学实现

• 批准号: 5170036
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Jörg Müller
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Mikrosystemtechnik E-7
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 1999
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1998-12-31 至 2001-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5170036?language=en
• 关键词: Entwurf; und; integriert; optische; Realisierung

Ziel des Vorhabens ist der Entwurf, die Realisierung und Untersuchung eines integriert-optischen Ti:Saphir-Lasers als Mikrosystem. Dieser Lasertyp, bisher aufgebaut aus makroskopischen Elementen, kann in einem Wellenlängenbereich von 600 bis 1000 nm betrieben werden. In diesem Vorhaben soll auf der Basis von bereits erprobten Strukturen und technologischen Verfahren ein miniaturisiertes, integriert-optisches System entstehen. Dazu werden in thermisch oxidierten durch Plasmaätzverfahren in Silizium erzeugten Gräben aus metallorganischen Verbindungen in einem PEVCD-Prozeß titandotierten Aluminiumoxid Wulst-Wellenleiter abgeschieden. Dieser Wellenleitertyp zeichnet sich durch besonders niedrige Dämpfung, verlustarme Führung auch in Strukturen mit engen Krümmungsradien aus und vermeidet geätzte Strukturkanten im lichtführenden Bereich. Zur Ankopplung von Fasern für Pump- und Laserlicht sind Übergangs- und Taperstrukturen zwischen Wulst- und streifenbelasteten Wellenleitern mit Hilfe lokaler Abschattungen bei der Beschichtung zu realisieren. Die Abstimmung der Laserwellenlänge kann sowohl thermisch wie elastooptisch erfolgen.

这是一种新型的集成光学钛宝石激光器及其微系统的实现和研究。这种激光器，更好地利用了激光元件，可以在600到1000 nm之间进行韦尔登的测试。在这一前提下，集成光学系统将建立在可靠的结构和技术基础之上。大足韦尔登在热氧化durch Plasmaätzverfahren在硅erzeugten Gräben从金属有机Verbindungen在一个PEVCD-prozetrizetitidotierten微型氧化物Wulst-Wellenleiter abgeschieden。Dieser Wellenleitertyp zeichnet sich durch besonders niedrige Dämpfung，verlustarme Führung auch in Strukturen mit engen Krümmungsradien aus und vermeidet geätzte Strukturkanten im lichtfüschden Bereich. Zur Ankopplung von Fasern für Pump- und Laserlicht sind Übergangs- und Taperstrukturen zwischen Wulst- und streifenbelasteten Wellenleitern mit Hilfe lokaler Abschattungen bei der Beschichtung zu realisieren.激光辐射的衰减可以像弹性光学效应那样产生热效应。