Physical Design Technology Development for Advanced Lithography

先进光刻物理设计技术开发

基本信息

  • 批准号:
    25280013
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 8.49万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 财政年份:
    2013
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2013-04-01 至 2016-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量(66)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Effective Routing Pattern Generation for Self-Aligned Quadruple Patterning
用于自对准四重图案化的有效布线图案生成
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Takeshi Ihara;Atsushi Takahashi;Chikaaki Kodama
  • 通讯作者:
    Chikaaki Kodama
A Fast Manufacturability Aware Optical Proximity Correction (OPC) Algorithm with Adaptive Wafer Image Estimation
具有自适应晶圆图像估计的快速可制造性感知光学邻近校正 (OPC) 算法
Multi Patterning Techniques for Manufacturability Enhancement in Optical Lithography
用于增强光学光刻可制造性的多重图案化技术
A Process Variability Band Area Reduction Algorithm For Optical Lithography
光学光刻工艺变异带面积缩减算法
A Fast Lithographic Mask Manufacturing Cost Aware Optical Proximity Correction (OPC) Algorithm With Process Variability Consideration
一种考虑工艺变异性的快速光刻掩模制造成本感知光学邻近校正 (OPC) 算法
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Ahmed Awad;Atsushi Takahashi;Chikaaki Kodama
  • 通讯作者:
    Chikaaki Kodama
{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

Takahashi Atsushi其他文献

Molecular Dynamics Simulation on Hydrogen Isotope Molecules Emitted from Amorphous Carbon
无定形碳释放氢同位素分子的分子动力学模拟
  • DOI:
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Sakai Kensuke;Tanikawa Chizu;Hirasawa Akira;Terao Chikashi;Kamatani Yoichiro;Takahashi Atsushi;Momozawa Yukihide;Hirata Makoto;Kubo Michiaki;Matsuda Koichi;Hiroaki Nakamura
  • 通讯作者:
    Hiroaki Nakamura
$q$-stability conditions and C^*-equivariant quantum cohomology for the local P^1
$q$-稳定性条件和 C^*-局部 P^1 的等变量子上同调
  • DOI:
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Ikeda Akishi;Otani Takumi;Shiraishi Yuuki;Takahashi Atsushi;Kanako Oshiro;Akishi Ikeda;Akishi Ikeda;Kanako Oshiro;池田曉志;大城佳奈子;大城佳奈子;池田曉志;大城佳奈子;池田曉志;Kanako Oshiro;池田曉志;Kanako Oshiro;池田曉志;大城佳奈子;大城佳奈子;池田曉志
  • 通讯作者:
    池田曉志
Frobenius structures on Hurwitz spaces and confluent KZ equations
Hurwitz 空间上的 Frobenius 结构和汇合 KZ 方程
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Ikeda Akishi;Otani Takumi;Shiraishi Yuuki;Takahashi Atsushi;Kanako Oshiro;Akishi Ikeda;Akishi Ikeda;Kanako Oshiro;池田曉志;大城佳奈子;大城佳奈子;池田曉志;大城佳奈子;池田曉志;Kanako Oshiro;池田曉志;Kanako Oshiro;池田曉志;大城佳奈子;大城佳奈子;池田曉志;池田曉志;池田曉志;池田曉志;Kanako Oshiro;池田曉志;大城佳奈子;池田曉志;池田曉志;大城佳奈子;池田曉志
  • 通讯作者:
    池田曉志
Application of Scanning Acoustic Microscopy for Detection of Dental Caries Lesion
扫描声学显微镜在龋齿病变检测中的应用
  • DOI:
    10.4236/ojst.2023.131002
  • 发表时间:
    2023
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Naganuma Yukihiro;Hatori Kouki;Iikubo Masahiro;Takahashi Masatoshi;Hagiwara Yoshihiro;Kobayashi Kazuto;Takahashi Atsushi;Hoshi Kumi;Saijo Yoshifumi;Sasaki Keiichi
  • 通讯作者:
    Sasaki Keiichi
Graded matrix factorizations of size two and reduction
大小为 2 的分级矩阵分解和缩减
  • DOI:
    10.1007/s00229-022-01372-4
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0.6
  • 作者:
    Ebeling Wolfgang;Takahashi Atsushi
  • 通讯作者:
    Takahashi Atsushi

Takahashi Atsushi的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

{{ truncateString('Takahashi Atsushi', 18)}}的其他基金

Study about Islamic philosophy's impact on the development of the Medieval natural philosophy
伊斯兰哲学对中世纪自然哲学发展的影响研究
  • 批准号:
    19K12934
  • 财政年份:
    2019
  • 资助金额:
    $ 8.49万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
Screening for individual internal exposure using teeth formed after the accident of Fukushima daiichi nuclear power plants.
使用福岛第一核电站事故后形成的牙齿筛查个人内照射。
  • 批准号:
    19K10458
  • 财政年份:
    2019
  • 资助金额:
    $ 8.49万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Lipophagy in AKI: the role and clinical application
脂肪自噬在 AKI 中的作用和临床应用
  • 批准号:
    19K08677
  • 财政年份:
    2019
  • 资助金额:
    $ 8.49万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Is equol the key to the onset and treatment of non-alcoholic fatty liver disease?
雌马酚是非酒精性脂肪肝发病和治疗的关键吗?
  • 批准号:
    18K07978
  • 财政年份:
    2018
  • 资助金额:
    $ 8.49万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Early detection and secondary prevention of cancers using a molecular target
使用分子靶标对癌症进行早期检测和二级预防
  • 批准号:
    16K07141
  • 财政年份:
    2016
  • 资助金额:
    $ 8.49万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Autophagic inhibitor Rubicon in proximal tubules can be a therapeutic target for metabolic syndrome-related kidney disease.
近曲小管中的自噬抑制剂 Rubicon 可以成为代谢综合征相关肾脏疾病的治疗靶点。
  • 批准号:
    16K09614
  • 财政年份:
    2016
  • 资助金额:
    $ 8.49万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Study of noncommutative Hodge structures in mirror symmetry
镜像对称非交换Hodge结构的研究
  • 批准号:
    26610008
  • 财政年份:
    2014
  • 资助金额:
    $ 8.49万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
Autophagy guards against inflammasome in acute hyperuricemic nephropathy.
自噬可防止急性高尿酸血症肾病中的炎症小体。
  • 批准号:
    26860634
  • 财政年份:
    2014
  • 资助金额:
    $ 8.49万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)

相似海外基金

持続可能な建設工事を実現する完全無耐火被覆鉄骨造の耐火設計技術の開発
开发完全非防火涂层钢结构的防火设计技术,实现可持续建筑工作
  • 批准号:
    24K01025
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 8.49万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
高性能熱電半導体を実現する新奇なバンド構造設計技術の開発
开发新型能带结构设计技术以实现高性能热电半导体
  • 批准号:
    24K08079
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 8.49万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
照明の「演質感性」指標の確立 -感性再現に至適な照明設計技術へ向けて-
建立照明“性能敏感度”指标 - 致力于再现感受的最佳照明设计技术 -
  • 批准号:
    23K28174
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 8.49万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
トポロジー最適化を用いた縦型GaNパワーデバイスの構造設計技術
采用拓扑优化的垂直GaN功率器件结构设计技术
  • 批准号:
    24K07597
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 8.49万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
音響メタマテリアル吸音体による建築の音環境設計技術のバーチャルプロトタイピング
利用声学超材料吸声器的建筑声环境设计技术虚拟样机
  • 批准号:
    24K07780
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 8.49万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
環状ペプチドの複合体構造データベース構築と分子設計技術の開発
环肽复杂结构数据库构建及分子设计技术发展
  • 批准号:
    23K28186
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 8.49万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
医療グレードウェアラブル換気型発汗計の実現に向けた集積回路システム設計技術開発
开发集成电路系统设计技术以实现医疗级可穿戴通气汗液计
  • 批准号:
    23K11827
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 8.49万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
照明の「演質感性」指標の確立 -感性再現に至適な照明設計技術へ向けて-
建立照明“性能敏感度”指标 - 致力于再现感受的最佳照明设计技术 -
  • 批准号:
    23H03484
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 8.49万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
高効率かつ頑健なセキュアアビオニクス設計技術の開拓
开发高效、稳健的安全航空电子设计技术
  • 批准号:
    23K18457
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 8.49万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
MakeHub digital learning solutions for KS1-2 UK Design Technology education
MakeHub 针对 KS1-2 英国设计技术教育的数字学习解决方案
  • 批准号:
    10063726
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 8.49万
  • 项目类别:
    Collaborative R&D
{{ showInfoDetail.title }}

作者:{{ showInfoDetail.author }}

知道了