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Physical Design Technology Development for Advanced Lithography

Physical Design Technology Development for Advanced Lithography
先进光刻物理设计技术开发
批准号：
25280013
负责人：
Takahashi Atsushi
金额：
$8.49万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2013
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-04-01 至 2016-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-25280013/
关键词：
計算機システム設計技術設計工学製造容易化リソグラフィ

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作者： [Ahmed Awad, Atsushi Takahashi, Chikaaki Kodama]
通讯作者： Chikaaki Kodama
共 36 条
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    • 批准号：
      19K12934
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
    • 资助金额：
      $2.41万
    • 财政年份：
      2019
    • 负责人：
      Takahashi Atsushi
    • 依托单位：
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    • 批准号：
      19K10458
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.83万
    • 财政年份：
      2019
    • 负责人：
      Takahashi Atsushi
    • 依托单位：
      Tohoku University
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    • 批准号：
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    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.75万
    • 财政年份：
      2019
    • 负责人：
      Takahashi Atsushi
    • 依托单位：
      Osaka University
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    • 批准号：
      18K07978
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.5万
    • 财政年份：
      2018
    • 负责人：
      Takahashi Atsushi
    • 依托单位：
      Fukushima Medical University
    海外基金