酸化ガリウムの表面および界面処理技術の研究

氧化镓表面及界面处理技术研究

• 批准号: 22K04047
• 负责人: 新海 聡子
• 金额: $ 2.66万
• 依托单位: Kyushu Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2022
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2022-04-01 至 2025-03-31
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22K04047/
• 关键词: 酸化ガリウム; ドライエッチング; ウエットエッチング; トレンチ; コーナー

2022年度はドライエッチング後の酸化ガリウム（Ga2O3）試料に水酸化テトラメチルアンモニウム（TMAH）を用いてウエットエッチングを施し，表面平坦化に効果があるか走査電子顕微鏡（SEM）および走査プローブ顕微鏡（SPM）を用いて調べることを予定していた．しかしながら，走査プローブ顕微鏡（SPM）の故障により表面平坦性効果を評価することができなくなってしまったため，2023年度に実施予定であったトレンチ構造の作製を前倒しして行った．はじめに，プラズマCVD（P-CVD）法で酸化ガリウム上にSiO2膜を堆積した．そして，リソグラフィーによるパターニングを施し，ドライエッチングを施すことでSiO2マスクを作製した．次に，Cl2ガスおよびBCl3ガスを用いた誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング（ICP-RIE）にて酸化ガリウムにトレンチ構造を作製した．ドライエッチング条件はガス種，ICP電力，そしてBias電力を変化させた．その結果，酸化ガリウムはICP電力に大きく影響を受け，いずれのガスにおいても高いICP電力値ではサブトレンチ（マイクロトレンチ）が形成されることが明らかになった．サブトレンチが形成したトレンチではトレンチ底部で電解集中が発生する．そのため，ドライエッチングにてトレンチ構造を作製する段階で，ドライエッチングの条件を最適化させる必要があることがわかった．また，Cl2ガスはエッチングレートが遅く，選択比も悪いため，Cl2ガスで深いトレンチ構造を作製することは困難であることが明らかとなった．今年度は走査プローブ顕微鏡（SPM）の使用が可能となったため，昨年度実施する予定であった表面平坦性効果を明らかにしながら，トレンチ形状の変化に及ぼすウエットエッチングの効果を明らかにする予定である．

In the year 2022, the raw materials were used to acidify the raw materials (Ga2O3). The water was acidified, and the TMAH was used. The surface was flattened. As a result, the computer micro-meter (SEM) was used to determine the temperature. The SPM was used to predict the temperature of the device. In the year of 2023, the performance of the SiO2 film was determined by the method of CVD (P-CVD) acidification of the SiO2 film. In the second time, Cl2 was used to use the combination of SiO2 devices with the combination of chemical guidance and guidance. (ICP-RIE) the chemical reaction equipment (ICP-RIE) was used to make the equipment, and the ICP electric power was used to make the equipment. The results show that the acidified Bias power plant is affected by the impact of the ICP power plant, and the high-level ICP power plant is formed as a result of the failure of the ICP power plant. The accident is caused by the formation of a thermal cycle. Please do not know if it is necessary to optimize the conditions. Please do not know if it is necessary to do so. If you want to do so, please do not know if it is necessary to do so. If you do not need to do so, please do not know if it is necessary to do so. If you want to do so, then select Cl2. Cl2 said that it is possible to use a micro-meter (SPM) for this year. Last year, it was predicted that the surface flatness would be smooth. The shape is changed and the shape is changed. The results show that the shape is determined.