Development and sophistication of new microfabrication technique of polyimide using supercritical carbon dioxide

使用超临界二氧化碳的聚酰亚胺新型微加工技术的开发和完善

基本信息

项目摘要

项目成果

期刊论文数量(8)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
超臨界二酸化炭素を利用したフッ素系ポリイミドの蒸着重合
使用超临界二氧化碳气相沉积聚合氟基聚酰亚胺
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    春木将司;小田明日香;和佐田温彦;木原伸一;滝嶌繁樹
  • 通讯作者:
    滝嶌繁樹
Deposition of PMDA-TFDB type polyimide onto microscale trenches patterned on silicon wafer using supercritical carbon dioxide
使用超临界二氧化碳将 PMDA-TFDB 型聚酰亚胺沉积到硅片上图案化的微型沟槽上
  • DOI:
    10.1016/j.supflu.2017.03.008
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Masashi Haruki;Atsuhiko Wasada;Yuki Hosokawa;Shin-ichi Kihara;Shigeki Takishima
  • 通讯作者:
    Shigeki Takishima
Phase appearance during polymerization of fluorinated polyimide monomers and deposition into the microscopic‐scale trenches in supercritical carbon dioxide
  • DOI:
    10.1002/app.43334
  • 发表时间:
    2016-05
  • 期刊:
  • 影响因子:
    3
  • 作者:
    Masashi Haruki;A. Oda;Atsuhiko Wasada;Y. Hasegawa;S. Kihara;Shigeki Takishima
  • 通讯作者:
    Masashi Haruki;A. Oda;Atsuhiko Wasada;Y. Hasegawa;S. Kihara;Shigeki Takishima
超臨界二酸化炭素を利用したポリイミドの蒸着
使用超临界二氧化碳气相沉积聚酰亚胺
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    和佐田温彦;小田明日香;春木将司;木原伸一;滝嶌繁樹
  • 通讯作者:
    滝嶌繁樹
管型反応器を用いたポリイミドの高圧蒸着重合
使用管式反应器进行聚酰亚胺的高压气相沉积聚合
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    細川裕貴;和佐田温彦;小田明日香;春木将司;木原伸一;滝嶌繁樹
  • 通讯作者:
    滝嶌繁樹
{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

Haruki Masashi其他文献

Haruki Masashi的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

{{ truncateString('Haruki Masashi', 18)}}的其他基金

Development of continuous process for producing high thermal conductive filler / polyimide composite film using techniques of filler modification
利用填料改性技术开发连续生产高导热填料/聚酰亚胺复合膜的工艺
  • 批准号:
    17K06887
  • 财政年份:
    2017
  • 资助金额:
    $ 3.24万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

相似海外基金

次世代発電サイクル創成のための超臨界二酸化炭素流動の解明と数理モデル構築
阐明超临界二氧化碳流动并构建数学模型以创建下一代发电循环
  • 批准号:
    23K22666
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 3.24万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
次世代発電サイクル創成のための超臨界二酸化炭素流動の解明と数理モデル構築
阐明超临界二氧化碳流动并构建数学模型以创建下一代发电循环
  • 批准号:
    22H01395
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    $ 3.24万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
高圧・低粘度領域の超臨界二酸化炭素中における溶質の拡散現象の解明と推算モデル
超临界二氧化碳高压低粘区溶质扩散现象的阐明和估计模型
  • 批准号:
    20K15078
  • 财政年份:
    2020
  • 资助金额:
    $ 3.24万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
キラルイオン液体-超臨界二酸化炭素光学分割システム実現に向けた3点相互作用の解明
手性离子液体-阐明三点相互作用以实现超临界二氧化碳光学分离系统
  • 批准号:
    13J04392
  • 财政年份:
    2013
  • 资助金额:
    $ 3.24万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
超臨界二酸化炭素中におけるサブナノ秒パルス放電プラズマの生成と環境応用
超临界二氧化碳中亚纳秒脉冲放电等离子体的产生及环境应用
  • 批准号:
    13J00466
  • 财政年份:
    2013
  • 资助金额:
    $ 3.24万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
イオン液体と超臨界二酸化炭素を併用した放射性廃棄物処理法の研究
离子液体与超临界二氧化碳处理放射性废物方法研究
  • 批准号:
    10F00085
  • 财政年份:
    2010
  • 资助金额:
    $ 3.24万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
金星表層を模擬した高温超臨界二酸化炭素中でのパイライト分解実験
模拟金星表层高温超临界二氧化碳中黄铁矿分解实验
  • 批准号:
    21654076
  • 财政年份:
    2009
  • 资助金额:
    $ 3.24万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
超臨界二酸化炭素を原料としたダイヤモンド合成法の開発
以超临界二氧化碳为原料的金刚石合成方法的开发
  • 批准号:
    20651024
  • 财政年份:
    2008
  • 资助金额:
    $ 3.24万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
超臨界二酸化炭素抽出法を用いた廃棄物からの貴金属リサイクルシステムの開発
利用超临界二氧化碳萃取法开发废物贵金属回收系统
  • 批准号:
    07F07139
  • 财政年份:
    2007
  • 资助金额:
    $ 3.24万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
不均一系触媒による超臨界二酸化炭素中の高効率化学品合成の開発
使用多相催化剂开发超临界二氧化碳高效化学合成
  • 批准号:
    07J01147
  • 财政年份:
    2007
  • 资助金额:
    $ 3.24万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
{{ showInfoDetail.title }}

作者:{{ showInfoDetail.author }}

知道了