Development and sophistication of new microfabrication technique of polyimide using supercritical carbon dioxide

使用超临界二氧化碳的聚酰亚胺新型微加工技术的开发和完善

• 批准号: 26420765
• 负责人: Haruki Masashi
• 金额: $ 3.24万
• 依托单位: Kanazawa University (2016)Hiroshima University (2014-2015)
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2014
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2014-04-01 至 2017-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-26420765/
• 关键词: ポリイミド; 超臨界二酸化炭素; 微細加工; 重合速度; 高圧蒸着重合; 蒸着重合; 薄膜

项目成果

超臨界二酸化炭素を利用したフッ素系ポリイミドの蒸着重合

使用超临界二氧化碳气相沉积聚合氟基聚酰亚胺

• 发表时间: 2016
• 作者: 春木将司;小田明日香;和佐田温彦;木原伸一;滝嶌繁樹
• 通讯作者: 滝嶌繁樹

Deposition of PMDA-TFDB type polyimide onto microscale trenches patterned on silicon wafer using supercritical carbon dioxide

使用超临界二氧化碳将 PMDA-TFDB 型聚酰亚胺沉积到硅片上图案化的微型沟槽上

• DOI: 10.1016/j.supflu.2017.03.008
• 发表时间: 2017
• 期刊: The Journal of Supercritical Fluids
• 作者: Masashi Haruki;Atsuhiko Wasada;Yuki Hosokawa;Shin-ichi Kihara;Shigeki Takishima
• 通讯作者: Shigeki Takishima

Phase appearance during polymerization of fluorinated polyimide monomers and deposition into the microscopic‐scale trenches in supercritical carbon dioxide

• DOI: 10.1002/app.43334
• 发表时间: 2016-05
• 期刊: Journal of Applied Polymer Science
• 影响因子: 3
• 作者: Masashi Haruki;A. Oda;Atsuhiko Wasada;Y. Hasegawa;S. Kihara;Shigeki Takishima

超臨界二酸化炭素を利用したポリイミドの蒸着

使用超临界二氧化碳气相沉积聚酰亚胺

• 发表时间: 2015
• 作者: 和佐田温彦;小田明日香;春木将司;木原伸一;滝嶌繁樹
• 通讯作者: 滝嶌繁樹

管型反応器を用いたポリイミドの高圧蒸着重合

使用管式反应器进行聚酰亚胺的高压气相沉积聚合

• 发表时间: 2016
• 作者: 細川裕貴;和佐田温彦;小田明日香;春木将司;木原伸一;滝嶌繁樹
• 通讯作者: 滝嶌繁樹