Development and sophistication of new microfabrication technique of polyimide using supercritical carbon dioxide
Development and sophistication of new microfabrication technique of polyimide using supercritical carbon dioxide
使用超临界二氧化碳的聚酰亚胺新型微加工技术的开发和完善
批准号：
26420765
负责人：
Haruki Masashi
金额：
$3.24万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2014
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-04-01 至 2017-03-31
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超臨界二酸化炭素を利用したフッ素系ポリイミドの蒸着重合
使用超临界二氧化碳气相沉积聚合氟基聚酰亚胺
使用超临界二氧化碳气相沉积聚合氟基聚酰亚胺
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[春木将司, 小田明日香, 和佐田温彦, 木原伸一, 滝嶌繁樹]
通讯作者：
滝嶌繁樹
Deposition of PMDA-TFDB type polyimide onto microscale trenches patterned on silicon wafer using supercritical carbon dioxide
使用超临界二氧化碳将 PMDA-TFDB 型聚酰亚胺沉积到硅片上图案化的微型沟槽上
使用超临界二氧化碳将 PMDA-TFDB 型聚酰亚胺沉积到硅片上图案化的微型沟槽上
DOI：
10.1016/j.supflu.2017.03.008
发表时间：
2017
期刊：
The Journal of Supercritical Fluids
影响因子：
--
作者：
[Masashi Haruki, Atsuhiko Wasada, Yuki Hosokawa, Shin-ichi Kihara, Shigeki Takishima]
通讯作者：
Shigeki Takishima
DOI：
10.1002/app.43334
发表时间：
2016-05
期刊：
Journal of Applied Polymer Science
影响因子：
3
作者：
[Masashi Haruki;A. Oda;Atsuhiko Wasada;Y. Hasegawa;S. Kihara;Shigeki Takishima]
通讯作者：
Masashi Haruki;A. Oda;Atsuhiko Wasada;Y. Hasegawa;S. Kihara;Shigeki Takishima
超臨界二酸化炭素を利用したポリイミドの蒸着
使用超临界二氧化碳气相沉积聚酰亚胺
使用超临界二氧化碳气相沉积聚酰亚胺
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
[和佐田温彦, 小田明日香, 春木将司, 木原伸一, 滝嶌繁樹]
通讯作者：
滝嶌繁樹
管型反応器を用いたポリイミドの高圧蒸着重合
使用管式反应器进行聚酰亚胺的高压气相沉积聚合
使用管式反应器进行聚酰亚胺的高压气相沉积聚合
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[細川裕貴, 和佐田温彦, 小田明日香, 春木将司, 木原伸一, 滝嶌繁樹]
通讯作者：
滝嶌繁樹
共 8 条
Development of continuous process for producing high thermal conductive filler / polyimide composite film using techniques of filler modification
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批准号：17K06887
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$3.08万
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财政年份：2017
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负责人：Haruki Masashi
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依托单位：
海外基金