Studie zur Funktion und technologischen Realisierbarkeit von dielektrischen Ladungsfallen bei Leistungsbauelementen

功率器件介质电荷陷阱的作用及技术可行性研究

• 批准号: 5189158
• 负责人: Professor Dr. Dieter Hans Silber
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Elektrische Antriebe, Leistungselektronik und Bauelemente (IALB)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 1999
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1998-12-31 至 2002-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5189158?language=en
• 关键词: Studie; zur; Funktion; und; technologischen

Für den Einsatz bei hohen Schaltfrequenzen werden seit etwa einem Jahr MOS-Leistungsschaltelemente mit fein strukturierter alternierender Dotierungskonzentration vorgestellt. In diesen Bauelementen wird die Begrenzung, die sich aus der Sperrspannungsanforderung für den Durchlaßwiderstand ergibt, überwunden. Die bisher vorgestellten Konzepte beruhen auf einer periodischen Fortsetzung von "Double Resurf"-Strukturen. Wir schlagen ein unseres Wissens völlig neuartiges Funktionsprinzip vor, mit dem ebenfalls wesentlich bessere Durchlaßeigenschaften bei hoher Sperrfähigkeit erzielt werden. Es werden dielektrische Einfangstrukturen für Elektronen eingeführt, die durch negative Aufladung im Sperrzustand die positive Raumladung im Mittel kompensieren. Statische Simulationen bestätigen die Wirkung. Im vorliegenden Forschungsvorhaben wird die Struktur eines möglichen Bauelementes durch Simulation untersucht, und zwar das dynamische Verhalten, die Schaltverluste sowie die Strukturoptimierung unter den Gesichtspunkten einer möglichen Herstellung durch Sauerstoffimplantationen und folgenden Epitaxischritten. Dabei sollten auch ggfs. weitere Anwendungsmöglichkeiten ("Dynamischer Buffer") berücksichtigt werden.

他说：“这是一件非常重要的事情，因为这是一件非常重要的事情。在Bauelementen和Sperrspannungsanforderung für den DurchlaúWiderstand ergibt，überwunden。您的位置：我也知道>教育/科学>教育/科学>科学与技术>。我们在Wissens völlig neuartiges Funktionspirinzip vor，MIT Dem ebenfall weslere Bessere Durchlaüeigenschaften be Hoher Sperrfähigkeit erzielt Wir schlgen ein in wissens völlig neuarties Funktionspirinzip vor，MIT DEM ebenfall Wessere Durchlaüeigenschaften be Hoher Sperrfähigkeit erzielt Wir schlgen ein in wissens völlig neuartiges Funktionspirinzip vor，MIT DEM ebenfall wesslere Bessere Durchlaüeigenschaften be Hoher S这些都是我们所不能接受的，即使是负的，也不会有好的结果。统计模拟是最好的方法。我是在模拟的情况下，和Zwar das Dynamische Verhalten，De Schaltverluste Sowie die Strukturoptimierung Under den Gesichtspoppukten einer möglichen Herstellung dch Sauerstof Plantationen and Figgenen Epiaxischritten的基础上进行模拟的。大北十多年来都是这样。Weitere Anwendungsmöglichkeiten(“Dynamischer Buffer”)berück sichtigt。