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アモルファスシリコン-水素合金薄膜中の水素および不純物の分布分析

アモルファスシリコン-水素合金薄膜中の水素および不純物の分布分析
非晶硅氢合金薄膜中氢及杂质的分布分析
批准号：
56211038
负责人：
平木 昭夫
金额：
$4.48万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份：
1981
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1981 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-56211038/
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ダイヤモンド気相合成におけるラジカルの計測と制御
  • 批准号：
    07217214
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $0.51万
  • 财政年份：
    1995
  • 负责人：
    平木 昭夫
  • 依托单位：
    Osaka University
ダイヤモンド薄膜気相合成における活性種の測定
  • 批准号：
    06228221
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $1.28万
  • 财政年份：
    1994
  • 负责人：
    平木 昭夫
  • 依托单位：
    Osaka University
金属-半導体界面:マイクロエレクトロニクス発展への基礎研究
  • 批准号：
    04299107
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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    $1.92万
  • 财政年份：
    1992
  • 负责人：
    平木 昭夫
  • 依托单位：
    Osaka University
金属ー半道体積層界面の基礎
  • 批准号：
    03216103
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $25.47万
  • 财政年份：
    1991
  • 负责人：
    平木 昭夫
  • 依托单位：
    Osaka University