衝撃波によるサブミクロン粒子の舞い上りに関する研究

冲击波扬升亚微米颗粒的研究

• 批准号: 61550119
• 负责人: 高山 和喜
• 金额: $ 1.15万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• 财政年份: 1986
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1986 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-61550119/
• 关键词: 衝撃波; 二相流れ; サブミロンダスト; 超LSIチップの製造

超LSIチップの製造工程では、基板に付着したサブミロン粒子の除去が重要となる。ここに、固体面に付着したサブミクロ粒子を衝撃波により空中に舞い上げ除去する方法に関し、基礎研究を行った。衝撃波管を用い,管壁においた微粒子と衝撃波の干渉を、ホログラフィ干渉計およびスペックルホログラフィ法により観察した。研究項目は以下の如く、(1) 微粒子の運動観察のために、スペックルホログラフィ法の開発。(2) 衝撃波と物体との干渉、特に非定常抗力の効果の解明(3) 衝撃波管内の微粒子を含む気体中におかれた円柱まわりの流れを、ホログラフィ干渉計法で観測し、微粒子の効果を解明(4) 数値計算法の開発。以上の研究項目について得た結果を要約すれば、(1) スペックルホログラフィ法およびホログラフィ干渉計法は微粒子ないし微粒化液滴の観察に特に有効である。(2) 平面衝撃波によって舞い上がる微粒子の運動に、非定常抗力の作用が強く影響している。(3) 円柱まわりの微粒子を含む衝撃波流れでは、微粒子を含まない空白領域があらわれ、気体のみの流れと様相を著しく異にする。その原因は、円柱まわりの衝撃波伝播の非定常性に依る。(4) 衝撃波を含む流れのシミュレーションに適したTVD法差分計算を開発し、今後、粘性を含む流れの数値解法と微粒子を含む場合の数値解法への応用をはかる。

The manufacturing process of the ultra-lsi チップ <s:1> で で and the substrate に are responsible for the <s:1> たサブ ロ ロ <s:1> particles <e:1> to remove が important となる. こ こ に, solid surface に pay the し た サ ブ ミ ク ロ particle を blunt shock wave に よ り airborne dance に い げ eliminate す る method に masato し, basic research を っ た. Blunt shock wave tube を い, wall に お い た と blunt shock wave の dry particles involved を, ホ ロ グ ラ フ ィ dry involved meter お よ び ス ペ ッ ク ル ホ ロ グ ラ フ ィ method に よ り 観 examine し た. The research project is carried out in the following ways: く, (1) the motion of micro-particle <e:1> 観 observation of <s:1> ために, スペッ ホログラフィ ホログラフィ ホログラフィ method <e:1>. Objects (2) the impact shock wave と と の dry involved, に unsteady force majeure の unseen fruit の interpret (3) the blunt shock wave tube の を particles containing む 気 body に お か れ た has drifted back towards &yen; column ま わ り の flow れ を, ホ ロ グ ラ フ ィ dry involved meter method で 観 し, particles の unseen fruit を interpret (4) the numerical calculation method の 発 open. Above の research project に つ い て have を た results offer す れ ば, (1) ス ペ ッ ク ル ホ ロ グ ラ フ ィ method お よ び ホ ロ グ ラ フ ィ dry involved meter method は particles な い し particles in the liquid の 観 examine に に had sharper で あ る. (2) The によって dance of planar impact waves, the に motion of がる micro-particles <e:1> on the <s:1> dance, and the effect of unsteady resistance <e:1> have a が strong く influence on て て る る. Has drifted back towards &yen; (3) column ま わ り の を particles containing む blunt shock wave flow れ で は, micro particle を ま な い blank areas が あ ら わ れ, 気 の み の flow れ と を with others in phase し く different に す る. Youdaoplaceholder0 the cause of そ, the yen column まわ そ the <s:1> impact wave 伝 broadcast the に unsteadiness る depends on る. (4) rush flow shock wave を contain む れ の シ ミ ュ レ ー シ ョ ン に optimum し た TVD method difference calculation を open 発 し, in the future, viscous を contain む flow れ の と micro particle を the numerical solution containing の む occasions the numerical solution へ の 応 with を は か る.

项目成果

高山和喜: 日本機械学会論文集.

Kazuyoshi Takayama：日本机械工程师学会会议录。