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INTERCONNECTION OF FUNCTIONAL MATERIALS BY MEANS OF A SURFACE ACTIVATION METHOD IN ULTRAHIGH VACUUM

INTERCONNECTION OF FUNCTIONAL MATERIALS BY MEANS OF A SURFACE ACTIVATION METHOD IN ULTRAHIGH VACUUM
通过超高真空表面活化方法实现功能材料的互连
批准号：
01044040
负责人：
SUGA Tadatomo
金额：
$2.24万
依托单位：
University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for international Scientific Research
财政年份：
1989
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1989 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-01044040/
关键词：
Room Temperture BondingUltrahigh VacuumSurface Activationmicrostructure of InterfaceDirect Bonding

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Bonding experiments were made both in an ultrahigh vacuum bonding apparatus of Max-Planck Institute and in a regular high vacuum apparatus of the University of Tokyo. Transmission electron microscopy showed that microstructure of the Al-Al interfaces was affected by the presence of residual gases in the bonding apparatus and that an atomic direct bonding between two solids was really achieved in a clean atomosphere by the surface activation method.
期刊论文(2)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Tadatomo, Suga: "TEM Observation of the Al/Al Interfaces Prepared in an Ultrahigh Vacuum at Room Temperture" Journal of the Japan Institute of Metals.
Tadatomo, Suga：“室温超高真空中制备的 Al/Al 界面的 TEM 观察”日本金属研究所杂志。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Tadatomo, Suga: "Ceramic-Metal Bonding at Room Temperture" Proc. the Japan Institute of Metals (1989) Sep.104-105 (1989)
Tadatomo, Suga：“室温下的陶瓷金属接合”Proc。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
New Method for Room Temperature Bonding at Ambient Gas
  • 批准号：
    23246125
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 资助金额：
    $30.45万
  • 财政年份：
    2011
  • 负责人：
    SUGA Tadatomo
  • 依托单位：
    The University of Tokyo
Wafer-scale MEMS Package by means of room temperature bonding
  • 批准号：
    16201028
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 资助金额：
    $32.28万
  • 财政年份：
    2004
  • 负责人：
    SUGA Tadatomo
  • 依托单位：
    The University of Tokyo
reversible interconnection
  • 批准号：
    07455285
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $4.35万
  • 财政年份：
    1995
  • 负责人：
    SUGA Tadatomo
  • 依托单位：
    The University of Tokyo
Atomic and Electronic Design ob Ceramic/Metal Interfaces
  • 批准号：
    06044059
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for international Scientific Research
  • 资助金额：
    $2.37万
  • 财政年份：
    1994
  • 负责人：
    SUGA Tadatomo
  • 依托单位：
    University of Tokyo
海外基金