Nanomechanical resonators

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In diesem Vorhaben sollen mechanische Resonatoren auf der Nanometerskala realisiert und deren Hochfrequenzeigenschaften bestimmt werden. Die Zielsetzung ist dabei die Herstellung und Charakterisierung von komplexen drei-dimensionalen Nanostrukturen mit mechanischen Schaltfrequenzen im GHz-Bereich. Dazu wollen wir Methoden der Halbleiterstrukturierung verwenden und unser Verständnis im Bereich der Hochfrequenzakustik vertiefen.Ausgangspunkt sollen dabei zunächst einfache mechanische Resonatoren mit Eigenfrequenzen bis zu einigen GHz sein. Ein weiteres Ziel sind dann komplexere gekoppelte Nano-Resonatoren mit denen wir die Gesetzmäßigkeiten der Mechanik auf dieser Größenskala studieren wollen.