Joint project FORMEDIAN

联合项目 FORMEDIAN

• 批准号: 5236042
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Erhard Kohn
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Elektronische Bauelemente und Schaltungen (EBS)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2000
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1999-12-31 至 2002-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5236042?language=en
• 关键词: Joint; project; FORMEDIAN

Im Rahmen des bisherigen DFG-Schwerpunktes "Synthese superharter Materialien" sind viele grundlegende Untersuchungen zur Herstellung von CVD-Diamantschichten auf Si-Substraten und zu deren physikalisch/chemischer und elektrisch/optischer Charakterisierung durchgeführt worden. Dabei wurde ein Wissensstand erarbeitet, der weitgehend den Stand der Technik bestimmt. Das Hauptziel dieses Verbundantrages besteht daher darin, dieses umfangreiche Grundlagenwissen, dieses umfangreiche Grundlagenwissen, für die Entwicklung neuartiger industrieller Anwendungen einzusetzen, d.h. Demonstratoren zu realisieren, die letztendlich zu neuen Produkten führen sollen. Das Projekt hat drei Teilziele:(A) Aufbau eines Hybridprozesses zur Herstellung von großflächigen hochorientierten Diamantfilmen (HOD) mit hoher mechanischer Stabilität, geringer Netto-Verspannung und guten elektrischen und optischen Halbleiter-Eigenschaften.(B) Realisierung von n-Dotierung mit P, S etc. und pn-Diodenstrukturen.(C) Herstellung von Demonstratoren, insbesondere mikromechanischer Strukturen für die Medizintechnik (GFD), Elektrosonden für die Elektrochemie und UV-Sensoren mit spezifischem Absorptionsspektrum unterhalb der Bandkante.

在DFG-Schwerpunktes“Synthese superharter Materialien”的研究中，对CVD金刚石在硅衬底上的生长以及在加工过程中的物理/化学和电学/光学特性进行了大量的研究。大北需要一个科学家站出来，让他的科学家站在技术的立场上。Das Hauptestern dieses Versatian trages besteht daher darin，dieses umfangreiche Grundlagenwissen，dieses umfangreiche Grundlagenwissen，für die Entwicklung neuartiger industrieller Anwendungen einzusetzen，d.h.演示以实现对新产品的需求。该项目有三个特点：（A）研制一种混合工艺，用于大直径金刚石薄膜（HOD）的成型，具有更高的稳定性、更好的网络连接和更好的电气和光学特性。(B)用P、S等和pn-Diodenstrukturen实现n-Dotierung。(C)Herstellung von Demonstratoren，insbesondere mikromechanischer Strukturen für die Medizintechnik（GFD），Elektrosonden für die Elektrochemie und UV-Sensoren mit spezifischem Absorptionsspektrum unterhalb der Bandkante.