CND-diamond based microwave switch

CND金刚石基微波开关

• 批准号: 5277050
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Erhard Kohn
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Elektronische Bauelemente und Schaltungen (EBS)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2001
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2000-12-31 至 2006-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5277050?language=en
• 关键词: CND; diamond; based; microwave; switch

Thema dieses Vorhabens ist der Entwurf, die Herstellung und die Charakterisierung von mikromechanischen Schaltern für Mikrowellenanwendung auf der Basis von polykristallinen Diamantschichten. Als Schalter für Mikroweellen kommen bisher hauptsächlich Halbleiterbauelemente wie Transistoren oder pin-Dioden zum Einsatz, die jedoch neben der hohen Schaltgeschwindigkeit ausch einen hohen Durchlaßwiderstand und Fehlströme durch Ladungsspeicherung aufweisen. Dies führt zu unzureichender Isolation im ausgeschalteten Zustand und Dämpfung im eingeschalteten Zustand. Diese und andere Nachteile lassen sich durch den Einsatz von mikromechanischen Schaltern umgehen, welche konventionell zumeist aus Metall auf einem Halbleitersubstrat realisiert werden. Diamant ist aufgrund seine außergewöhnlichen Eigenschaften ein ideales Material für mikromechanische Komponenten. Daher soll im Rahmen dieses Projektes ein vollständig aus polykristallinem Diamant bestehender Mikroschalter entworfen und realisiert werden, um die Vorteile dieser Technologie demonstrieren zu können. Dabei muß das Bauelement sowohl in Hinsicht auf die Hochfrequenzeigenschaften als auch auf das mechanische Schaltverhalten untersucht und optimiert werden. Zur Demonstration der Funktion sollen für einige typische Mikrowellenanwendungen Schalter dieser Art entworfen und getestet werden. Der Schalter soll in integrierter Form aufgebaut werden. Die für diese Anwendung entwickelte Technologie kann auch als Basis für die Realisierung weiterer aktiver oder passiver Bauelemente dienen.

Thema dieses Vorhabens ist der Entwurf，die Herstellung und die Charakterisierung von mikromechanischen Schaltern für Mikrowellenanwendung auf der Basis von polykristallinen Diamantschichten.由于Schalter für Mikroweellen公司的主要半导体元件是晶体管或二极管，因此，该半导体器件的设计需要一个更高的Durchlaßwiderstand和Fehlströme durch speicherung aufweisen。Dies führt zu unzureichender Isolation im ausgescharteten Zustand und Dämpfung im eingescharteten Zustand.这些和其他的Nachteile通过微机械Schaltern umgehen的一种方法，从金属到一个半导体衬底的传统方法实现了韦尔登。Diamant ist aufgrund seine außergewöhnlichen Eigenschaften ein ideales Material für mikromechanische Komponenten. Daher soll im Rahmen dieses Projektes en vollständig aus polykristallinem Diamant bestehender Mikroschalter entworfen and realisiert韦尔登，um vorteile dieser Technologie demonstrieren zu knnen.在高频环境下，大部分元件都是由高频元件驱动的，因此也可以对机械振动进行优化和韦尔登。Zur Demonstration der Funktion sollen für einige typische Mikrowellenanwendungen Schalter dieser Art entworfen und getestet韦尔登.这位国王以完整的形式建造了韦尔登。Die für diese Anwendung entwickelte Technologie kann auch als Basis für die Realisierung weiterer aktiver or der passiver Bauelemente dienen.