レ-ザ共鳴電離法によるイオン誘起原子脱離過程の研究

激光共振电离法研究离子诱导原子解吸过程

• 批准号: 02650011
• 负责人: 井上 雅彦
• 金额: $ 1.28万
• 依托单位: Nagoya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• 财政年份: 1990
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1990 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-02650011/
• 关键词: レ-ザ共鳴電離; イオン誘起脱離; シリコン; 銀; 金; 表面超格子; 表面結合エネルギ-

イオンビ-ムによるスパッタリングにおいて、固体表面より放出される粒子の運動エネルギ-、荷電状態などは表面第一層の幾何形状、結合エネルギ-、電子状態などの物性を反映している。本研究では、このことを積極的に手法として利用し、単結晶表面構造の解析、特に表面結合エネルギ-を決定することを目的としている。試料としてSi(111)ー√<3>×√<3>ーAg及びAu超格子構造を用いた。これらの系にAr^+イオンを照射すると金属原子は表面から脱離するだけでなく、その一部はSi基盤内部に反跳注入される。この反跳注入の断面積をラザフォ-ド後方散乱法を用いて求め、その解析から表面結合エネルギ-を決定したところ、√<3>ーAgの結合エネルギ-として0.6eV,√<3>ーAuについては2.7eVという値がそれぞれ得られ、約4.5倍の差異が見られた。これは他の研究者によるX線回折や光電子分光の測定結果とよく対応している。√<3>ーAuについては、さらに等温焼鈍法による測定も行い、ほぼ同様の値が得られた。次に、以上の測定とは逆に表面から脱離する金属原子に着目し、そのエネルギ-分布から表面結合エネルギ-を求めることを目的として、中性粒子の高感度検出法であるレ-ザ共鳴電離法の測定システムの拡充整備を行った。用いたレ-ザシステムはXeClエキシマレ-ザ励起の色素レ-ザと、今回新しく購入した2次高調波発生用結晶を組み合わせたものである。実験を遂行する上での技術的な要点は、レ-ザの光軸とAr^+イオンビ-ムの光軸,放出粒子検出器の光軸を正確に一点に合わせることである。このためAr^+イオン照射系の静電レンズ,偏向器及びそれらのコントロ-ラを作成した。これにより光軸の調整は容易に行えるようになった。現在電離容易なFe試料を用いてシステム全体の調整を行っているが、エキシマレ-ザ故障のため共鳴電離実験は中断している状態である。なお、レ-ザの修理は4月中旬に完了する予定である。

The temperature, the temperature, the temperature and the temperature. The purpose of this study is to determine the purpose of this study. In this study, the active techniques are used, the crystal surface is analyzed, and the special surface is used to determine the purpose of the experiment. We use the Si (111l) square square & lt;3> × square & lt;3> Ag and the Au super lattice to make the superlattice. The surface of the metal atom is detached from the metal atom, and the internal part of the Si base is called rebound injection. The back-to-back injection method is used to calculate and analyze the data on the surface of the cross-section to determine the size of the 0.6eV, and the Ag of the lt;3> is used to determine the error of the 0.6eV, and the difference is about 4.5 times that of the Au. Other researchers analyzed the X-ray refraction and the results of photoelectron spectroscopy. Lt;3>, Au, temperature, temperature and temperature. The above measurement results show that the reverse surface is separated from the metal atom, the distribution surface is combined with the surface, the neutral particle is highly sensitive to the target, and the neutral particle is highly sensitive to the temperature. This time, the pigmented XeCl was used to stimulate the pigments. This time, the new device was added to the second high-voltage wave, and the results were combined. In order to make sure that the key points of the technology, the laser, the light, the light. The radiation system is quiet, the deflector and the deflector are made. Please tell me that it is easy to make sure that it is easy to do so. At present, it is easy for Fe quarterers to use all the equipment to make sure that they are in a state of emergency, failure and failure. The repairs have been completed by the middle of April.

项目成果

Masahiko Inoue: "Ion Impact Desorption of Metal Atoms from Si(111)ー√<3>×√<3>ーMetal Surfaces" Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. (1991)

井上正彦：“Si(111)－√<3>×√<3>－金属表面金属原子的离子撞击解吸”核物理研究仪器和方法（1991）。