课题基金 / 基金详情

力発生部を複数集積化した大出力・大変位静電アクチュエ-タ

力発生部を複数集積化した大出力・大変位静電アクチュエ-タ
具有多个集成力产生部件的高输出/大位移静电执行器
批准号：
02650196
负责人：
藤田 博之
金额：
$1.47万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份：
1990
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1990 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-02650196/
关键词：
マイクロアクチュエ-タ静電アクチュエ-タマイクロマシ-ニングシリコンプロセス

项目摘要

项目成果

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英文摘要
本研究では、複数の微細な力の発生要素を同一プロセスで集積化することにより、全体としてより大きな力や変位の取り出しが可能な、静電マイクロアクチュエ-タを開発することを目的とする。半導体微細加工プロセスにより、μmオ-ダの機械部品やモ-タを作る研究が注目を集めているが、最大の研究課題はプロセスと適合性が良く、また十分な出力を持つマイクロアクチュエ-タである。これを可能にするには、一つ一つでは小さな動きや力しか発生しない駆動要素を複数個、直並列に組み合わせて用いる必要がある。しかし従来は、基板と垂直な方向の動きしか出来なかったため、いくつもの駆動部を直列に重ねることは不可能だった。本研究では、基板と平行な方向の動きが可能で、しかも一つ一つの要素が比較的大きな力が発生できるような構造を工夫し、それを基板上に複数配列することでこの問題を解決する。今回製作したアクチュエ-タは、厚さ4μmの多結晶シリコンをフォトリソグラフィとエッチングで加工したもので、幅3μmの梁からなる可動部分と基板に固定した駆動電極と2.5μmのギャップで相対する長さ200μmの駆動部、2つの駆動部を向い合った頂点に付けたひし形の弾性変形部(パンタグラフ)、パンタグラフの複数つなげた両端を支える弾性支持部からなっている。パンタグラフは、一辺300μm程度の大きさで、直列に3連つなげたアクチュエ-タを試作した。駆動部に電圧を加え、パンタグラフを左右に引張ると、他の頂点が5μm変位することを確かめた。
期刊论文(5)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
N.Takeshima,H.Fujita: "Systems with Microactuator Array" 電気学会システム制御研究会. SCー90ー1〜11. 53-60 (1990)
N.Takeshima、H.Fujita：“具有微执行器阵列的系统”日本电气工程师学会系统控制研究小组 SC-90-1-11 (1990)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
竹島 尚弘,藤田 博之: "分散型マイクロ運動システムによる材料表面のインテイジェント化" 第1回インテリジェント材料シンポジウム. (1991)
Naohiro Takeshima、Hiroyuki Fujita：“利用分布式微运动系统实现材料表面的智能化”第一届智能材料研讨会（1991 年）。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
竹島 尚弘,小林 大,藤田 博之: "分散型マイクロ運動システムの提案" 平成3年電気学会全国大会. (1991)
Naohiro Takeshima、Dai Kobayashi、Hiroyuki Fujita：“分布式微运动系统的提案”1991 年日本电气工程师学会全国会议（1991 年）。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
N.Takeshima,M.Ozaki,K.J.Gabriel,H.Fujita,J.Takahashi,H.Horiguchi: "Electrostatic Parallelogram ActuatorsーA Transforming Mechanism of normal Electrostatic Forceー" 6th Interntl Conf.on SolidーState Sensors and Actuators. B1.5 (1991)
N.Takeshima、M.Ozaki、K.J.Gabriel、H.Fujita、J.Takahashi、H.Horiguchi：“静电平行四边形致动器－正常静电力的转换机制－”第六届固态传感器和致动器国际会议B1。 .5（1991）
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Basic research on living displays that show biological information through genetic modification of the skin
  • 批准号：
    22H00284
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 资助金额：
    $27.29万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    藤田 博之
  • 依托单位：
    Tokyo City University
細胞骨格の病変や化学物質が筋肉の機械特性に及ぼす効果の研究
  • 批准号：
    13F03799
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $1.47万
  • 财政年份：
    2013
  • 负责人：
    藤田 博之
  • 依托单位：
    The University of Tokyo
生体モータ分子の直接操作による細胞内搬送機構の再構成
  • 批准号：
    21241036
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 资助金额：
    $11.4万
  • 财政年份：
    2009
  • 负责人：
    藤田 博之
  • 依托单位：
    The University of Tokyo
微小液滴の形成、移動、混合等をおこなうマイクロシステムの研究
  • 批准号：
    09F09802
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $1.34万
  • 财政年份：
    2009
  • 负责人：
    藤田 博之
  • 依托单位：
    The University of Tokyo