力発生部を複数集積化した大出力・大変位静電アクチュエ-タ

具有多个集成力产生部件的高输出/大位移静电执行器

基本信息

  • 批准号:
    02650196
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 1.47万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    1990
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    1990 至 无数据
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

本研究では、複数の微細な力の発生要素を同一プロセスで集積化することにより、全体としてより大きな力や変位の取り出しが可能な、静電マイクロアクチュエ-タを開発することを目的とする。半導体微細加工プロセスにより、μmオ-ダの機械部品やモ-タを作る研究が注目を集めているが、最大の研究課題はプロセスと適合性が良く、また十分な出力を持つマイクロアクチュエ-タである。これを可能にするには、一つ一つでは小さな動きや力しか発生しない駆動要素を複数個、直並列に組み合わせて用いる必要がある。しかし従来は、基板と垂直な方向の動きしか出来なかったため、いくつもの駆動部を直列に重ねることは不可能だった。本研究では、基板と平行な方向の動きが可能で、しかも一つ一つの要素が比較的大きな力が発生できるような構造を工夫し、それを基板上に複数配列することでこの問題を解決する。今回製作したアクチュエ-タは、厚さ4μmの多結晶シリコンをフォトリソグラフィとエッチングで加工したもので、幅3μmの梁からなる可動部分と基板に固定した駆動電極と2.5μmのギャップで相対する長さ200μmの駆動部、2つの駆動部を向い合った頂点に付けたひし形の弾性変形部(パンタグラフ)、パンタグラフの複数つなげた両端を支える弾性支持部からなっている。パンタグラフは、一辺300μm程度の大きさで、直列に3連つなげたアクチュエ-タを試作した。駆動部に電圧を加え、パンタグラフを左右に引張ると、他の頂点が5μm変位することを確かめた。
In this study, a plurality of micro-force generation factors are integrated into one and the same position, and the whole force generation factor is integrated into one and the same position. Research on semiconductor microfabrication of mechanical components and microfabrication of microfabrication of semiconductor is focused on, and the biggest research topic is the suitability of microfabrication of semiconductor components and microfabrication of semiconductor components. This may be the case if the elements of motion are combined in a number of ways. It is impossible to divide the vertical direction of the substrate into two parts. In this research, it is possible to move the substrate in parallel directions, and the large force generated by comparing the elements one by one can be used to construct the structure, and the multiple arrangements on the substrate can be used to solve this problem. Now, the manufacturing process of the movable part of the substrate, the fixed part of the movable electrode, the movable part, the movable part, the The support department of the company is responsible for the management of the company. For example, if you want to use a 300μm range, you can use a 300μm range. The voltage of the motor is increased, and the position of the motor is increased.

项目成果

期刊论文数量(5)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
N.Takeshima,H.Fujita: "Systems with Microactuator Array" 電気学会システム制御研究会. SCー90ー1〜11. 53-60 (1990)
N.Takeshima、H.Fujita:“具有微执行器阵列的系统”日本电气工程师学会系统控制研究小组 SC-90-1-11 (1990)。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
竹島 尚弘,藤田 博之: "分散型マイクロ運動システムによる材料表面のインテイジェント化" 第1回インテリジェント材料シンポジウム. (1991)
Naohiro Takeshima、Hiroyuki Fujita:“利用分布式微运动系统实现材料表面的智能化”第一届智能材料研讨会(1991 年)。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
竹島 尚弘,小林 大,藤田 博之: "分散型マイクロ運動システムの提案" 平成3年電気学会全国大会. (1991)
Naohiro Takeshima、Dai Kobayashi、Hiroyuki Fujita:“分布式微运动系统的提案”1991 年日本电气工程师学会全国会议(1991 年)。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
N.Takeshima,M.Ozaki,K.J.Gabriel,H.Fujita,J.Takahashi,H.Horiguchi: "Electrostatic Parallelogram ActuatorsーA Transforming Mechanism of normal Electrostatic Forceー" 6th Interntl Conf.on SolidーState Sensors and Actuators. B1.5 (1991)
N.Takeshima、M.Ozaki、K.J.Gabriel、H.Fujita、J.Takahashi、H.Horiguchi:“静电平行四边形致动器-正常静电力的转换机制-”第六届固态传感器和致动器国际会议B1。 .5(1991)
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
N.Takeshima,H.Fujita: "Microactuator Arrays for a Ciliary Motion System" 1991 ASME Winter Annual Meeting. (1991)
N.Takeshima、H.Fujita:“纤毛运动系统的微执行器阵列”1991 年 ASME 冬季年会。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

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{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
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    {{ item.doi }}
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    {{ item.publish_year }}
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    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
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    {{ item.author }}

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{{ showInfoDetail.title }}

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