Entwicklung eines Mikroschalters auf Basis keramischer Dünnschichten als krafterzeugende aktorische Materialien

Der vorliegende Antrag Beschäftigt Sich MIT Grundlagenuntersusuhungen zur Entwickung von Technologien zur Herstellung eans Mikroschalters in Silizium-Volumenmikromachik MIT Engrierten keramischen Dünschichten ALS S krafterzeugende Werkstoffe.BleizirkonatTiatat(PZT)和BleImagnesiumniobat-Bleititanat(PMN-PT)Sollen in DünschichtTechnik Präpariert and auf ihre Eignung ALS Actorisisks Hin in UnternschichtTechnik Präpariert and auf ihre Eignung ALS Actorisisks Hin in UnternschichtTechnik Präpariert and auf ihre Eignung ALS Actorisisks Hin Unterisk等。他说：“这是一件非常重要的事情。”用有限元方法对结构进行了有限元模拟。对材料进行了实验估算，并进行了验证。Zur演示和项目在功能中的墨色眼线-基础上的Ansteuerschaltung entwickelt。这是一种新的技术和技术，在世界各地的宏观经济机制中都是如此。

Der vorliegende Antrag beschäftigt sich mit Grundlagenuntersuchungen zur Entwicklung von Technologien zur Herstellung eines Mikroschalters in Silizium-Volumenmikromechanik mit integrierten keramischen Dünnschichten als krafterzeugende Werkstoffe. Bleizirkonattitanat (PZT) und Bleimagnesiumniobat-Bleititanat (PMN-PT) sollen in Dünnschichttechnik präpariert und auf ihre Eignung als aktorisches Material hin untersucht werden. Um den krafterzeugenden Effekt der Keramik zu erhöhen, soll eine Technologie zur Deposition und Kontaktierung von mehreren aufeinanderliegenden Schichten entwickelt werden. Die Mikroschalterstrukturen werden mit Finite-Elemente-Methoden in ihrem mechanischen Verhalten simuliert. Die Modellbildung soll anhand von experimentell bestimmten Materialkennwerten verifiziert werden. Zur Demonstration der Projektergebnisse wird ein Funktionsmuster inklusive einer CMOS-basierenden Ansteuerschaltung entwickelt. Neben der hohen praktischen Relevanz des Projektes bezüglich der galvanischen Trennung schneller elektrischer Schaltvorgänge werden die gezielten technologischen Prozeßergebnisse später auch in anderen mikromechanischen Bauelementen weitere Verwendung finden.