Active Controlled Type Ultra-precision Table System Using Electro-Rheological Liquid

采用电流变液体的主动控制型超精密工作台系统

• 批准号: 05555041
• 负责人: ITO Yoshimi
• 金额: $ 7.94万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
• 财政年份: 1993
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1993 至 1994
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-05555041/
• 关键词: Machine Tool; Table System; Structural design; Active control; Damping capacity; Simulation; Design methodolgy; Ultraprecsion; 能動形テーブル

Development of advanced ultra-precision table system has recently become the most important problem to materialize an ultra-precision machine tool of the future, a high-performance scanning probe measuring system, etc.However, there is no effective ultra-precision table system to realize the high performances, i.e., static and dynamic rigidities, ultra-precision movement function, compactness, ease of operation, active control function, etc.In this research project, therefore, to develop a design methodology of advanced table system, actual aerostatic table systems based on a new design concept have been proposed and investigated. The proposed table system using Electro-reological liquid can be actively controlled by operation the electric field under the actual moving conditions. Validity of the proposed table structures have also been verified through experimental investigations under various constraints.

先进的超精密工作台系统的开发近年来已成为实现未来超精密机床、高性能扫描探针测量系统等的最重要的问题。然而，没有有效的超精密工作台系统来实现高性能，即，静态和动态刚度，超精密运动功能，紧凑，易于操作，主动控制功能等。因此，在本研究项目中，为了开发先进工作台系统的设计方法，提出并研究了基于新设计概念的实际空气静力工作台系统。所提出的使用电流变液的工作台系统可以在实际运动条件下通过操作电场来主动控制。所提出的表结构的有效性也已通过实验研究在各种约束条件下进行了验证。

项目成果

Hitoshi HASHIZUME,Hidenori SHINNO,Yoshimi ITO and Chuichi SATO: Transactions of the JSME. Vol.61, (to be published). (1995)

Hitoshi HASHIZUME、Hidenori Shinno、Yoshimi ITO 和 Chuichi SATO：JSME 交易。

橋詰等,菊地英晴,新野秀憲,伊東諠,島耕司: "電気粘性流体によるテーブルシステムの特性制御" 日本機械学会第71期全国大会講演論文集. F. 401-403 (1993)

Hashizume 等人、Hideharu Kikuchi、Hidenori Niino、Satoshi Ito、Koji Shima：“使用电流变液体的工作台系统的特性控制”日本机械工程师学会第 71 届全国会议论文集 F. 401-403 (1993)。

橋詰等,新野秀憲,伊東誼,佐藤忠一: "電気粘性流体によるテーブルシステムの特性制御" 日本機械学会論文集(C編). 61. (1995)

Hashizume 等人，Hidenori Niino，Yoshi Ito，Chuichi Sato：“使用电流变液的工作台系统的特性控制”日本机械工程师学会汇刊（ed.C）61。（1995 年）。