プラズマ環境AFMの関発とそのプラズマ薄膜プロセスナノスケール制御への応

等离子体环境AFM及其在等离子体薄膜纳米级控制中的应用

• 批准号: 10875140
• 负责人: 寺嶋 和夫
• 金额: $ 1.34万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Exploratory Research
• 财政年份: 1998
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1998 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-10875140/
• 关键词: プラズマ環境; SPM; AFM; プラズマプロセス

本研究では、世界に先駆け、(1) プラズマ環境中で作動する原子間力顕微鏡(AFM)の開発。(2) 上記装置を用い、シリコン(Si)およびSrTiO_3のプラズマ・エッチング/ポリッシングナノスケールその観察および制御を通じて、固体-プラズマ界面構造の原子オーダー制御への応用。を試み、従来,成しえなかった"固体-プラズマ界面構造の原子オーダー計測/制御"を目指したものである。今年度の研究経過は以下のようである。(A) プラズマ環境中で作動する原子間力顕微鏡(AFM)の開発世界初のプラズマ環境中で作動する原子間力顕微鏡(プラズマAFM)の開発を試みた。主な要素技術のうち、(1)AFMプローブ部。(2)プラズマ発生部。の完成はみたものの、(3)AFM本体のアセンブリーは今年度中には終了しなかった。(B) プラズマエッチング/ポリシングのナノスケールその観察/制御装置開発は完成には至らなかったため、ex-situでプラズマスパッタリングで作製したcBN膜のAFMによる微細組織蜆察、微小領域での力学測定を行った。測定法の標準化に計る提案を行った。

This study is the first of its kind in the world.(1) The development of atomic force microscopy (AFM) operating in a high temperature environment. (2)The above mentioned devices are used for the detection and control of atomic particles in the structure of solid-state interface. "Solid-state interface structure and atomic measurement/control" This year's research has been conducted in the following ways. (A)The development of atomic force microscopy (AFM) in the active environment was tested at the beginning of the world Main element technology,(1)AFM. (2)Department of Health. (3) The AFM body has been completely destroyed in the middle of this year. (B)The micro-structure observation and micro-field mechanical measurement of cBN film are carried out during the development of the inspection/control device. A proposal for standardization of the assay was made.

项目成果

K.Terashima: "Scanning tunneling microscopy operating under a plasma environme" Thin Solid Films. (印刷中). (1999)

K.Terashima：“在等离子体环境下运行的扫描隧道显微镜”薄固体薄膜（1999 年出版）。