MOVPE von Gruppe-III-Nitriden mit intramolekular koordinierten Prekursoren. Mechanistische Studien und Modellierung der Prozesse.

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Das gemeinsame Projektziel der Antragsteller ist es ein tiefgreifendes Verständnis der Chemischen Dampfphasenabscheidung von Gruppe-III-Nitriden zu erarbeiten. Dies soll durch interdisziplinäre Zusammenarbeit von Partnern aus den Bereichen Materialwissenschaft, Metallorganische Synthesechemie, Gasphasenanalytik, Strömungsmechanik und Theoretische Chemie erreicht werden. Dabei wird der Gesamtprozess sowohl von theoretischer als auch experimenteller Seite aus mikroskopischer und makrokopischer Sicht durchleuchtet. Das Gesamtprojekt zerfällt in die zwei Teilbereiche MOVPE von Gruppe-III-Nitridschichten und CVD von Gruppe-III-Nanostrukturen. Im ersten Teilbereich wird der grundsätzlichen Fragen nach der Rolle der Adduktbildung nachgegangen, im zweiten Teilbereich wird eine Prozessoptimierung angestrebt.