权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

エピタキシャル磁性金属薄膜の面方位・積層構造制御による磁気光学効果増大の研究

控制外延磁性金属薄膜面取向和层状结构增强磁光效应的研究

基本信息

批准号：
14750001
负责人：
中島伸夫
金额：
$ 2.56万
依托单位：
Hirosaki University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2002
资助国家：
日本
起止时间：
2002 至 2003
项目状态：
已结题

项目摘要

超高真空中で通電加熱処理により清浄面を出したp-Si(100)基板上に、Feを数100Å程度蒸着した。但し、FeはSiとは容易に固溶体(シリサイド)を形成することが知られており、これを防ぐためにバリア層としてAlを1000Å程度蒸着した。Feの蒸着はevapolatorで、Alの蒸着はe-gunでそれぞれ行い、水晶振動子により蒸着量を見積もった。チェンバーのベース圧は〜10^<-8>Pa、蒸着中の真空度はどちらの場合も<〜10^<-6>Pa、蒸着レートは〜1Å/秒であった。Al蒸着後、通電過熱により200〜300℃程度で数秒アニール処理することにより、良好なRHEEDパターンが再現し、この段階で取り出した試料のXRD測定では、[100]方向に成長した良好なAl蒸着膜が確認された。この上にFeを蒸着したが、蒸着量が少なかったこともあり、若干RHEEDスポットがぼやけた程度で、比較的良好な結晶性が期待された。これは、XRDの結果からも同様である。(歪んだbcc-Fe(100)が期待された。)磁気光学効果の測定に関しては、チェンバーに組み込んだin situ磁気光学効果測定用の電磁石が弱く(〜100Oe)、明瞭な磁気カーループは測定されなかったが、Fe蒸着量の増加に従って、カー回転角の最大値が増大していく傾向にあることは確かめられた。膜厚が薄い場合の蒸着膜の結晶面は、基板に用いるSiのそれに対応して変化するものと考えられる。Si基板の結晶面を変え、かつ電磁石の増強により当初の目的である面方位に依存した磁気光学効果について最終的な知見が得られるものと予想する。

In the ultra-high vacuum, the surface of the film is exposed to the p-Si(100) substrate, and the Fe content is evaporated to the extent of 100 ℃. However, Fe and Si are easy to form solid solution. Fe is evaporating, Al is evaporating, e-gun is evaporating, crystal oscillator is evaporating. The pressure of steam is ~ 10 ^<-8>Pa, the vacuum degree of steam is ~ 10 ^<-6>Pa, and the steam is ~ 1/s. After Al evaporation, it was confirmed that the Al evaporation film was grown in the [100] direction after several seconds of treatment at 200 ~ 300℃. The amount of Fe evaporated is less than that of Fe. The crystallinity is better than that of Fe. The result of XRD is the same. (bcc-Fe(100).) Magneto-optical effect measurement is related to weak (~ 100Oe), bright magneto-optical effect measurement is related to weak (~ 100Oe), increase in Fe evaporation amount is related to increase in maximum value of return angle. When the film thickness is thin, the crystal surface of the evaporated film is opposite to that of the substrate. Si substrate crystal surface change, increase the strength of the electromagnet, the original purpose, the surface orientation, the magnetic optical effect, the final knowledge, and the future.