Study on high efficiency and large mechanical output surface acoustic wave actuator

高效率、大机械输出声表面波激励器的研究

• 批准号: 16310096
• 负责人: KUROSAWA Minoru
• 金额: $ 8.77万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2004
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2004 至 2006
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16310096/
• 关键词: actuator; ultrasonic motor; piezoelectric; surface acoustic wave; MEMS; micro actuator; ultrasonic; Rayleigh wave; 弾性表表面波

We have found that several tens degrees of phase shift in an energy circulation drive SAW motor IDT will cause decrease of the circulation energy. So that we improve an simulation equivalent circuit model for IDT and investigated the IDT allocation method. As a result, we decided to change the arrangement of exciation IDT, two driving IDTs were separately arranged at near both end circulation uni-directional IDTs. For this purpose, precise modeling parameters are required to fit the actual device.The Rayleigh wave propagating beneath the slider is scattered by the projections on the slider surface. This phenomenon was simulated by using the FEM analysis. Due to the contact and take off of the slider projection from the stator causes the secondary wave source, so that a flat slider surface will be effective to reduce the scattering. For this, a flat surface slider with some design to reduce the squeeze film should be considered.

我们发现，在能量循环驱动SAW电机IDT中，几十度的相移将导致循环能量的降低。为此，我们改进了叉指换能器的仿真等效电路模型，并对叉指换能器的配置方法进行了研究。因此，我们决定改变激励叉指换能器的布置，将两个驱动叉指换能器分别布置在循环单向叉指换能器的两端附近。为此，需要精确的建模参数来拟合实际器件。在滑块下方传播的瑞利波被滑块表面上的投影散射。通过有限元分析模拟了这一现象。由于滑块从定子上的接触和脱落引起了二次波源，因此平坦的滑块表面将有效地减少散射。为此，应考虑具有某种设计以减少挤压膜的平坦表面滑块。

项目成果

弾性表面波モータ

表面声波电机

• 发表时间: 2007
• 期刊: 電気学会誌 127(5)
• 作者: K. McElroy;Jinho Lee;J.A. Slezak. D. -H. Lee;H. Eisaki;S. Uchida;J.C. Davis;黒澤実
• 通讯作者: 黒澤実

有限要素法によるレイリー波とスライダ突起の接触解析について

使用有限元法进行瑞利波和滑块突起的接触分析

• 发表时间: 2004
• 期刊: 日本音響学会講演論文集 II
• 作者: 宮崎義人;重松隆史;黒澤実
• 通讯作者: 黒澤実

駆動電極にDIDTを用いた環流型弾性表面波モータ

使用DIDT作为驱动电极的循环表面声波电机

• 发表时间: 2004
• 期刊: 日本音響学会講演論文集 II
• 作者: 鈴木貴也;黒澤実;浅井勝彦
• 通讯作者: 浅井勝彦