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Compound Nanoimprint Processes and Their Applications for Functional Nanodevices

Compound Nanoimprint Processes and Their Applications for Functional Nanodevices
复合纳米压印工艺及其在功能纳米器件中的应用
批准号：
18560350
负责人：
MIZUNO Jun
金额：
$2.62万
依托单位：
Waseda University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2006 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18560350/
关键词：
ナノデバイス造形MEMSマイクロファブリケーションナノ構造化学電気化学ナノインプリントナノメッキ

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
高分子材料を基板として、ナノインプリント技術で溝構造の作製、ナノメッキ技術で樹脂上に配線パターンを形成し、そして最終的にプラズマ、エキシマUVによる表面親水化技術によって、溝構造と配線パターンをもつ基板同士を、流路変形の無い低温接合技術で、3次元構造を持つ流路デバイスとして作製することに成功した。本研究の成果は医療・化学分析チップ作製に必要な基礎技術を確立することができたと言える。
英文摘要
高分子材料を基板として、ナノインプリント技術で溝構造の作製、ナノメッキ技術で樹脂上に配線パターンを形成し、そして最終的にプラズマ、エキシマUVによる表面親水化技術によって、溝構造と配線パターンをもつ基板同士を、流路変形の無い低温接合技術で、3次元構造を持つ流路デバイスとして作製することに成功した。本研究の成果は医療・化学分析チップ作製に必要な基礎技術を確立することができたと言える。
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会议论文
Seamless Pattern stitched UV Nanoimprint Process For Large Area Nano Mold Fabrication
用于大面积纳米模具制造的无缝图案缝合 UV 纳米压印工艺
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [S. Kataza, K. Ishibashi, M. Kokubo, S. Sho ji, H. Goto, J. Mizuno]
通讯作者： J. Mizuno
SURFACE HYDROPHILIC POLYUREA FILM FOR PMMA BLOOD ANALYSIS CHIP REALIZED BY VACUUM ULTRAVIOLET LIGHT IRRADIATION
真空紫外光照射实现PMMA血液分析芯片表面亲水聚脲薄膜
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [H. Shinohara, Y. Takahashi, T. Nishi, K. Uemura, C.Takahashi, J. Mizuno and S. Shoji]
通讯作者： J. Mizuno and S. Shoji
O puls E「デュアルダマシン銅配線へのナノインプリント技術の応用」(vol. 31 No. 2)
O puls E《纳米压印技术在双镶嵌铜布线中的应用》（第31卷第2期）
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [K. Noguchi, S. Komiyama and T. Honda, 水野 潤]
通讯作者： 水野 潤
Application of cycloolefin polymer chip directly integrated with an electronanospray tip to electrophoretic separation and mass spectrometric detection
环烯烃聚合物芯片直接集成电喷雾头在电泳分离和质谱检测中的应用
DOI： --
发表时间： 2007
期刊： 11th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences(uTAS 2007)
影响因子： --
作者： [Fumihiko Kitagawa, Hidetoshi Shinohara, Jun Mizuno, Koji Otsuka]
通讯作者： Koji Otsuka
共 64 条
    The study of treatment method of hydrophilic polyurea thin film for medical and biotechnologies.
    • 批准号：
      22560730
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.83万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      MIZUNO Jun
    • 依托单位：
      Waseda University
    国内基金
    海外基金
    导航级MEMS陀螺能量损耗及其失配机理研究
    • 批准号：
      2026JJ50499
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      樊波
    • 依托单位：
      南华大学
    基于MEMS惯性传感器的工业机器人标定与校正方法技术开发
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      王捍兵
    • 依托单位：
      常州机电职业技术学院
    面向MEMS重力仪的低频噪声抑制关键技术研究
    • 批准号：
      JCZRQNB202600477
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
    • 依托单位：
      湖北光谷实验室
    用于凝血和血小板功能检测的谐振式MEMS智能传感器研发
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      蔡先法
    • 依托单位：
      南京邮电大学