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単分子膜リングラフィに基づくナノオブジェクトの化学マニュピュレーション

基于单层磷光技术的纳米物体化学操控

基本信息

批准号：
06F06372
负责人：
杉村博之
金额：
$ 1.54万
依托单位：
Kyoto University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2006
资助国家：
日本
起止时间：
2006 至 2008
项目状态：
已结题

项目摘要

本年度は、昨年度の研究に引き続き、ナノオブジェクトを固定化・配列化する実験を継続し、以下の研究成果を得た。また、最終年度であるため、研究成果のとりまとめをおこなった。1)光透過性基板への金ナノ粒子配列構造の形成透明導電膜(ITO)基板へ、アミノ基修飾マイクロテンプレートを形成し、テンプレート上に金ナノ粒子の配列構造を構築するプロセスを確立した。2)金ナノ粒子、アミノ基単分子膜のゼータ電位を測定し、金ナノ粒子固定化が静電引力作用であることを確認した。3)平坦性の高いシリコン基板でのVUV露光条件の最適化を行い、0.5μm程度のサブミクロンSAM膜パターンを形成できるようになった。さらに、このVUVマイクロパターンをアミノ化し、同じサブミクロンスケールでの、金ナノ粒子配置実験に成功した。4)原子レベルで平滑なSAMレジストを用い、AFMプローブによる高解像度パターニングを実施した。プローブ描画条件の最適化を行い、15nm前後の微細ラインを描画できるようになった。このプローブ描画パターンをテンプレートに、金ナノ粒子固定化実験を行った。描画線幅を金ナノ粒子直径と同等程度まで細くすることで、金ナノ粒子1次元配列を作製することに成功した。5)金・銀ナノ粒子とシリコン基板を共有結合により連結する実験を行い、一応の成果を得ている。これらの研究成果は、3報が論文として出版され、残り2報が現在投稿中である。

This year, the following research results were obtained from the previous year's research on immobilization and alignment. Final year 1)A transparent conductive film (ITO) is formed on a light-transmitting substrate by forming a metal particle arrangement structure on a substrate, and a metal group modification is formed on the substrate. 2)Determination of the potential of gold particles and gold based molecular films and confirmation of the electrostatic attraction of gold particles 3)Optimization of VUV exposure conditions for high flatness substrates, and formation of SAM films at 0.5μm This time, the VUV particle configuration was successfully implemented. 4)Atomic and Atomic Smoothness: High Resolution Resolution: High Resolution: High Resolution Optimization of the drawing conditions of the film, fine lines before and after 15nm This is the first time I've seen a picture of you. Draw line width, particle diameter, particle size, particle size. 5)The gold and silver particles are combined into a single substrate, and the results are obtained. The results of this research are published in 3 newspapers and 2 newspapers are now being submitted.