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ミクロ構造化フレキシブル光反応セルを用いた空間制御分子接合

使用微结构柔性光反应细胞空间控制分子连接

基本信息

批准号：
20656116
负责人：
杉村博之
金额：
$ 2.37万
依托单位：
Kyoto University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2008
资助国家：
日本
起止时间：
2008 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

有機分子-シリコン共有結合界面とこの分子接合シリコンを電子集積回路の機能要素とするには、その微細パターン化が要求される。しかしながら、被加工材料が機能性有機分子であり、プラズマや劇薬を使用する従来の微細加工技術は、有機分子の種類によってはダメージを与えてしまう可能性が有り、最適な手法とは言い難い。そこで、本研究では、『フレキシブルマイクロリアクター』を使い『局所的に光反応誘起』し、『分子接合空間を2次元的に制御』する分子接合と微細パターニングを同時に行なう手法を開発を提案した。本研究の目標は『マイクロ光反応セルを用いたシリコン表面への局所的分子接合』というアイデアの有効性を、具体的に実証することにある。実際に、本研究では、・PDMSマイクロ反応セルを水素終端化シリコン基板を密着させ、・反応セル内部に反応溶液を封入し、試料環境を窒素置換、・PDMSマイクロ反応セル越しに水素終端化シリコン/反応溶液を可視光照射する反応器を設計試作し、実験を行った。反応溶媒によってはPDMSセルが膨潤し封止ができないなどの困難があったが、低膨潤性溶媒の探索,セル表面にコーティングを施すなどPDMSの膨潤防止策等の工夫によって、接合実験を行うことができた。まだ、改善の余地は多いにあるものの、有機分子を光化学反応によってシリコン表面に局所的に接合するというアイデアの有効性と、PDMSセルの可視光励起反応セルへの適応可能性を、確認することに成功した。

Organic molecules - シリコン share the bonding interface and the functional elements of the molecular joint シリコンをelectronic integration circuit とするには and the そのmicron パターンが requirements される.しかしながら、Functional organic molecules であり and プラズマや片薬を used in the processed materials are する従来's micro-machining technology Techniques, types of organic molecules are possible, and there are possibilities, and the most suitable techniques are difficult to explain.そこで, This study is based on では, 『フレキシブルマイクロリアクター』を　　　　　　　　　　　　　　The joint space is a 2-dimensional control, and the molecular joint is a fine control method and a simultaneous technique is proposed. The purpose of this study is to use the surface of the light-reflecting light-reflecting surface of the Molecular conjugationというアイデアのeffectivenessを、Concrete proofすることにある. The purpose of this study, ・PDMS マイクロイクロセルをhydrogen-terminated substrate シリコン substrate をclose contact させ・・The マセセル internal にreaction solution を sealed し, sample ring Environmental sulfide replacement, PDMS マイクロ reaction セル日しにhydrogen terminalization シリコン/reaction solution を visible light irradiation するするを design trial production し, 実験を行った. Exploration of anti-swelling solvents such as PDMS and low-swelling solvents.にコーティングを时すなどPDMS Swelling Prevention Measures, etc. によって, jointing 実験を行うことができた.まだ、Room for improvement は多いにあるものの、Photochemical reaction of organic molecules によってシリコン Surface にJointing するというアイデアのeffectivenessと、PDMSセルのvisible light stimulation reaction possibilityセルへのsuitabilityを、confirmationすることにsuccessした.