ミクロ構造化フレキシブル光反応セルを用いた空間制御分子接合

使用微结构柔性光反应细胞空间控制分子连接

基本信息

批准号：
20656116
负责人：
杉村博之
金额：
$ 2.37万
依托单位：
Kyoto University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2008
资助国家：
日本
起止时间：
2008 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

有機分子-シリコン共有結合界面とこの分子接合シリコンを電子集積回路の機能要素とするには、その微細パターン化が要求される。しかしながら、被加工材料が機能性有機分子であり、プラズマや劇薬を使用する従来の微細加工技術は、有機分子の種類によってはダメージを与えてしまう可能性が有り、最適な手法とは言い難い。そこで、本研究では、『フレキシブルマイクロリアクター』を使い『局所的に光反応誘起』し、『分子接合空間を2次元的に制御』する分子接合と微細パターニングを同時に行なう手法を開発を提案した。本研究の目標は『マイクロ光反応セルを用いたシリコン表面への局所的分子接合』というアイデアの有効性を、具体的に実証することにある。実際に、本研究では、・PDMSマイクロ反応セルを水素終端化シリコン基板を密着させ、・反応セル内部に反応溶液を封入し、試料環境を窒素置換、・PDMSマイクロ反応セル越しに水素終端化シリコン/反応溶液を可視光照射する反応器を設計試作し、実験を行った。反応溶媒によってはPDMSセルが膨潤し封止ができないなどの困難があったが、低膨潤性溶媒の探索,セル表面にコーティングを施すなどPDMSの膨潤防止策等の工夫によって、接合実験を行うことができた。まだ、改善の余地は多いにあるものの、有機分子を光化学反応によってシリコン表面に局所的に接合するというアイデアの有効性と、PDMSセルの可視光励起反応セルへの適応可能性を、確認することに成功した。

要将有机分子 - 硅离子键界面和该分子键硅作为电子整合电路的功能元素，则需要精细图案。但是，要处理的材料是功能性有机分子，并且使用血浆或原油药物的常规微生物化技术可能会根据有机分子的类型造成损害，从而使这是最佳方法。因此，在这项研究中，我们提出了一种使用柔性微反应器来“诱导局部光反应”的方法，同时执行分子连接和精细图案，该方法“二维控制分子连接空间”。这项研究的目的是特异性地证明“使用微孔隙性细胞局部分子连接到硅表面的概念”的有效性。 In fact, in this study, we designed a reactor that: - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - Depending on the reaction solvent, the PDMS cell swells and the sealing was difficult, but bonding experiments were possible by exploring low-swellable solvents and by applying coating to the cell surface, such as measures to prevent swelling of PDMS.尽管仍然有很大的改进空间，但我们成功地证实了通过光化学反应局部粘结有机分子到硅表面的有效性，以及PDMS细胞对可见光激发细胞的适应性。