分子組織体と電子素子とのインターフェース構築のためのナノファブリケーション

用于构建分子组织和电子设备之间接口的纳米加工

• 批准号: 11167244
• 负责人: 杉村 博之
• 金额: $ 2.37万
• 依托单位: Nagoya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
• 财政年份: 1999
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1999 至 2000
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-11167244/
• 关键词: 有機薄膜; 自己組織化単分子膜; 有機シラン; 真空紫外光; 微細加工; リソグラフィ; レジスト; 原子間力顕微鏡

本年度は下記の2つの研究項目について研究を行った。(1)分子組織体微細構造の作製とその電気的性質の評価初年度に開発した真空紫外リソグラフィと選択分子吸着法により、シリコン基板表面に、複数の有機分子組織体からなるマイクロ構造を作製した。走査型プローブ顕微鏡による表面電位測定によって、有機分子組織体のもつ双極子モーメントを局所的に評価した、その結果、モーメントの向きと大きさを、分子組織体を表面修飾することで、μmレベルの空間精度で制御することができることがわかった、(2)ナノ構造化分子組織体微細構造の作製と評価初年度および本年度前半の研究成果に基づいて、ナノメートルでの分子組織体構築の研究を行った。既に基礎研究の終えているAFMリソグラフィ技術を用いてナノメートルレベルの微細パターンを形成し、その上に、(1)によって条件等の確立している選択分子吸着法によって、分子組織体のナノ構造体を構築した、最小20nmの微細構造を構築できた。以上の研究結果により、マイクロメートル〜なのメートルのスケールでの分子組織体の微細構造を作製できるようになった。

The next two research projects will be completed this year. (1) Molecular mass microfabrication is used in the beginning of the year to launch vacuum ultraviolet spectroscopy (VUV). The selection of molecular adsorption method, the surface of the substrate, and the complex number of organic molecular groups are used in the first year. The mobile phone microphone is used to determine the surface electric potential of the machine, the mechanical molecular group is used to determine the temperature, the results of the test, the results of the test, the accuracy of the computer, the surface of the molecular group, the surface of the machine, the precision of the space of the machine, the accuracy of the machine, the results of the test, the surface repair of the machine, the accuracy of the space precision of the machine, the (2) in the first half of this year, the results of the research in the first half of this year are based on the basis of the results of the study. Both the basic research system and the AFM technology are used to determine the molecular absorption method, the molecular composition, the structure structure, and the minimum 20nm micrometer. The results of the above study show that there are significant differences in the results of the above study. in this paper, the results of the above study show that the results of the above study show that the molecular structure of the molecular group is very important.

项目成果

H. Sugimura: "Micropatterning of alkyl and fluoroalkylsilane self-assembled monolayers using vacuum ultra-violet light"Langmuir. 16(3). 885-888 (2000)

H. Sugimura：“使用真空紫外光对烷基和氟烷基硅烷自组装单层进行微图案化”Langmuir。

H.Sugimura 他: "Surface Potential Images of Microstructured Organosilane Self-Assembled Monolayers Acquired by Kelvin Probe Force Microscopy"Jpn.J.Appl.Phys.. 40(2). L174-L176 (2001)

H.Sugimura 等人：“通过开尔文探针力显微镜获得的微结构有机硅烷自组装单分子层的表面电势图像”Jpn.J.Appl.Phys.40(2) (2001)。

H. Sugimura: "Fabrication of coplaner microstructures composed of multiple organosilane self-assembled monolayers"電気通信情報学会英文誌. (印刷中). (2000)

H. Sugimura：“由多个有机硅烷自组装单层组成的共面微结构的制造”，电信和信息工程师学会英文期刊（出版中）（2000 年）。

H.Sugimura 他: "Photo and scanning probe lithography using alkylsilane self-assembled monolayers"Materials Issues and Modeling fro Device Nanofabrication,Materials Research Soceiy Peoceedings. 584. 163-168 (2000)

H.Sugimura 等人：“使用烷基硅烷自组装单层的照片和扫描探针光刻”来自器件纳米制造的材料问题和建模，材料研究协会 584. 163-168 (2000)。

H.Sugimura 他: "Fabrication of coplaner microstrutures compsed of multiple organosilane self-assembled monolayers"IEICE Trans.Electron.. Vol.E83-C,No.7. 1099-1103 (2000)

H.Sugimura 等人：“由多个有机硅烷自组装单层组成的共面微结构的制造”IEICE Trans.Electron.. Vol.E83-C，No.7 (2000)。