AFMリソグラフィによる集積型超微小電極の作製とその分子修飾
AFM光刻技术制备集成超微电极及其分子修饰
基本信息
- 批准号:11118234
- 负责人:
- 金额:$ 1.02万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
- 财政年份:1999
- 资助国家:日本
- 起止时间:1999 至 无数据
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
本年度は下記の2つの研究項目について研究を行った。(1)選択無電解めっきによる金属微細構造の作製炭素数18個のアルキル基からなる単分子膜(octadecylsilyl,ODS,膜厚約2nm)をレジストに用いる単分子膜リソグラフィ技術による電極表面の微細構造化表面修飾について研究を行い、ODS膜上へ描画したパターンを、金属の微細構造へと転写するプロセスを開発した。本プロセスは、昨年度の研究によって開発されたプロセスを発展させたプロセスで、昨年度の研究では金の選択無電解めっきしかできなかったが、パラジウム触媒のマイクロパターンによって、金以外の金属マイクロパターンを無電解めっきによって作製することが可能になった。実際にニッケルの選択堆積を行った。(2)金微細構造電極の分子修飾単分子膜リソグラフィ〜選択無電解メッキによって作製した金微細構造を選択的に表面修飾する実験を行った。硫黄化合物有機分子を金表面だけに吸着させ、金表面に自己組織化単分子膜を形成できることを実証した。(3)半導体ナノ電極の作製ODS膜をレジストに、AFMリソグラフィ技術によってシリコンのナノ構造を作製した。SOI基板を微細加工することによって、絶縁体基板上に孤立したシリコンナノ構造を作製することに成功した。以上の研究結果により、単分子膜リソグラフィによってマイクロからナノメートルスケールの微細構造をもった電極を作製することができるようになった。
For the current year, the following に is recorded as <s:1> 2 research projects に に て て て research を lines った. (1) no electrolytic め sentaku っ き に よ の る metal micro structure for making carbon number 18 の ア ル キ ル base か ら な る 単 molecular membrane (octadecylsilyl, ODS, film thickness is about 2 nm) を レ ジ ス ト に with い る 単 molecular membrane リ ソ グ ラ フ ィ technology に よ る の imperceptible structured surface modified electrode surface に つ い を い, OD て research On the S membrane, へ is depicted as たパタ を を を を を を を, and the microstructure of the metal rod へと転 is written as するプロセスを development た た. This プ ロ セ ス は, yesterday's annual の に よ っ て open 発 さ れ た プ ロ セ ス を 発 exhibition さ せ た プ ロ セ ス で, yesterday's annual の で は gold の sentaku no electrolytic め っ き し か で き な か っ た が, パ ラ ジ ウ ム catalyst の マ イ ク ロ パ タ ー ン に よ っ て outside の, gold metal マ イ ク ロ パ タ ー ン を no electrolytic め っ き に よ っ て cropping す る こ と が can Can になった. In the real world, にニッケ にニッケ 択 択 stack を lines った. (2) gold fine structure modification of electrode の 単 molecular membrane リ ソ グ ラ フ ィ ~ sentaku no electrolytic メ ッ キ に よ っ て cropping し た gold fine structure を sentaku に surface modification す る be 験 を line っ た. Sulfur compounds in organic molecules を gold surface だ け に sorption さ せ, gold を に yourself organized 単 molecular membrane formation on the surface of で き る こ と を card be し た. (3) semiconductor ナ ノ の electrode for ODS coating を レ ジ ス ト に, AFM リ ソ グ ラ フ ィ technology に よ っ て シ リ コ ン の ナ ノ し the tectonic を cropping た. を SOI substrate microfabrication す る こ と に よ っ て, never try substrate に isolated し た シ リ コ ン ナ ノ す the tectonic を cropping る こ と に successful し た. Above の results に よ り, 単 molecular membrane リ ソ グ ラ フ ィ に よ っ て マ イ ク ロ か ら ナ ノ メ ー ト ル ス ケ ー ル の fine-structure を も っ た electrode を cropping す る こ と が で き る よ う に な っ た.
项目成果
期刊论文数量(3)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
H. Sugimura 他: "Scanning Probe Lithography for Electrode Surface Modification"J. Electroanal. Chem.. 473(1-2). 230-234 (1999)
H. Sugimura 等人:“用于电极表面修饰的扫描探针光刻”J. Electroanal。473(1-2) (1999)。
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
杉村博之 他: "単分子膜リソグラフィと選択無電解めっきによる金微細構造の作製"表面技術. 51(1). 101-102 (2000)
Hiroyuki Sugimura 等人:“通过单层光刻和选择性化学镀制备金微结构”表面技术 51(1)。
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
H.Sugimura 他: "Multilayer resist films for current-injecting scanning probe lithography applicable to nanopatterning of insurating substrates"J. Vac. Sci. Technol. B. 17(4). 1605-1608 (1999)
H.Sugimura 等人:“适用于绝缘基板纳米图案化的多层抗蚀剂薄膜”,Vac。17(4)。
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ patent.updateTime }}
杉村 博之其他文献
Mg‒Al‒Ho3元系状態図の熱力学的解析
Mg-Al-Ho三元体系相图的热力学分析
- DOI:
- 发表时间:
2012 - 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
浅井 貴宏;青山 将大;北田 敦;一井崇;杉村 博之;邑瀬 邦明;徳永 辰也,小湊裕允,飯久保智,大谷博司 - 通讯作者:
徳永 辰也,小湊裕允,飯久保智,大谷博司
イオン液体中におけるフェロセニルチオール SAM の特異的レドックス
二茂铁硫醇 SAM 在离子液体中的特异性氧化还原
- DOI:
- 发表时间:
2012 - 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
浅井 貴宏;青山 将大;北田 敦;一井崇;杉村 博之;邑瀬 邦明 - 通讯作者:
邑瀬 邦明
水素終端化シリコンへの酸化グラフェンの固定化による高潤滑表面の作製
通过将氧化石墨烯固定在氢封端硅上制造高度润滑的表面
- DOI:
- 发表时间:
2016 - 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
國府 翔;Harshal P. Mungse;宇都宮 徹;一井 崇;Om P. Khatri;杉村 博之 - 通讯作者:
杉村 博之
杉村 博之的其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
{{ truncateString('杉村 博之', 18)}}的其他基金
ナノ力学計測に基づくVUV光活性化高分子接合の原理解明
基于纳米力学测量阐明 VUV 光活化聚合物键合原理
- 批准号:
21H01635 - 财政年份:2021
- 资助金额:
$ 1.02万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
先進潤滑機能発現を目指すイオン液体/固体界面の分子配列構造制御と分子レベル解析
离子液体/固体界面的分子排列结构控制和分子水平分析,旨在实现先进的润滑功能
- 批准号:
16F16075 - 财政年份:2016
- 资助金额:
$ 1.02万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
金属ナノコロイドテンプレートを用いた有機単分子膜のシングルナノパターニング
使用金属纳米胶体模板对有机单层进行单一纳米图案化
- 批准号:
22656166 - 财政年份:2010
- 资助金额:
$ 1.02万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
ミクロ構造化フレキシブル光反応セルを用いた空間制御分子接合
使用微结构柔性光反应细胞空间控制分子连接
- 批准号:
20656116 - 财政年份:2008
- 资助金额:
$ 1.02万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Exploratory Research
単分子膜リングラフィに基づくナノオブジェクトの化学マニュピュレーション
基于单层磷光技术的纳米物体化学操控
- 批准号:
06F06372 - 财政年份:2006
- 资助金额:
$ 1.02万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
分子メモリー機能要素としての半導体-有機分子接合界面の研究
半导体-有机分子结界面作为分子记忆功能元件的研究
- 批准号:
18656207 - 财政年份:2006
- 资助金额:
$ 1.02万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Exploratory Research
自己組織化ナノ分子膜による金属表面処理
使用自组装纳米分子薄膜进行金属表面处理
- 批准号:
13875138 - 财政年份:2001
- 资助金额:
$ 1.02万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Exploratory Research
分子組織体と電子素子とのインターフェース構築のためのナノファブリケーション
用于构建分子组织和电子设备之间接口的纳米加工
- 批准号:
11167244 - 财政年份:1999
- 资助金额:
$ 1.02万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
AFMリソグラフィによる集積型超微小電極の作製とその分子修飾
AFM光刻技术制备集成超微电极及其分子修饰
- 批准号:
10131233 - 财政年份:1998
- 资助金额:
$ 1.02万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
相似海外基金
表面加工を施した電極界面の電気化学特性と自己組織化単分子膜の反応性の評価
表面处理电极界面的电化学性能和自组装单分子层的反应性评估
- 批准号:
24K17713 - 财政年份:2024
- 资助金额:
$ 1.02万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
自己組織化単分子膜による固液界面への機能性分子固定化方法の開発
开发一种使用自组装单分子层将功能分子固定在固液界面上的方法
- 批准号:
20K05251 - 财政年份:2020
- 资助金额:
$ 1.02万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
シリコン上自己組織化単分子膜のバウンダリー制御と表面電位ゆらぎ
硅上自组装单分子层的边界控制和表面电位波动
- 批准号:
19026007 - 财政年份:2007
- 资助金额:
$ 1.02万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
末端に解離基をもつ自己組織化単分子膜上での電子移動反応の電気二重層による制御
使用双电层控制末端具有解离基团的自组装单分子层上的电子转移反应
- 批准号:
18033026 - 财政年份:2006
- 资助金额:
$ 1.02万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
カルボジイミド表面を有する自己組織化単分子膜の形成とDNAチップへの応用
碳二亚胺表面自组装单分子层的形成及其在DNA芯片上的应用
- 批准号:
18655032 - 财政年份:2006
- 资助金额:
$ 1.02万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Exploratory Research
自己組織化単分子膜を用いた無電解めっきによるsub-10nm薄膜の形成
利用自组装单层化学镀形成亚10nm薄膜
- 批准号:
18760034 - 财政年份:2006
- 资助金额:
$ 1.02万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
金属内包フラーレンと自己組織化単分子膜を用いた単一分子スイッチ素子の創製
使用内嵌金属富勒烯和自组装单分子层创建单分子开关器件
- 批准号:
06J05721 - 财政年份:2006
- 资助金额:
$ 1.02万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
自己組織化単分子膜を用いたデバイス基板上の液滴ダイナミクス
使用自组装单分子层的设备基底上的液滴动力学
- 批准号:
17760145 - 财政年份:2005
- 资助金额:
$ 1.02万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
強固な骨格を持つ分子三脚の自己組織化単分子膜上における反応と分子物性制御
强骨架分子三脚架自组装单分子层的反应与分子性质控制
- 批准号:
05J72805 - 财政年份:2005
- 资助金额:
$ 1.02万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
フォーカスマイクロ波を用いた超高密度自己組織化単分子膜(SAM)の新形成法
使用聚焦微波形成超致密自组装单层(SAM)的新方法
- 批准号:
17655053 - 财政年份:2005
- 资助金额:
$ 1.02万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Exploratory Research