Sub-10nm hard X-ray focusing and application to nanoscopy/spectroscopy

亚10nm硬X射线聚焦及其在纳米显微镜/光谱学中的应用

• 批准号: 18002009
• 负责人: YAMAUCHI Kazuto
• 金额: $ 168.23万
• 依托单位: Osaka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Specially Promoted Research
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2006 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18002009/
• 关键词: 超精密加工; X線光学; 波面光学; ナノ集光; X線ミラー; X線集光; X線顕微鏡; X線自由電子レーザー; X線自由電子レーザ; X 線光学

In order to further improve the spatial resolution in X-ray microscopy, a sub-10nm hard X-ray focusing system was developed. In situ hard X-ray wavefront error measurement and error compensation methods were completed, following wave-optical theory. The world-first sub-10nm beam was realized at SPring-8. Then, the focusing system was upgraded to X-ray nanoscopy/spectroscopy. A nanometer-thickness films made of Pt was successfully observed with better than 10nm spatial resolution.

为了进一步提高X射线显微镜的空间分辨率，开发了亚10nm硬X射线聚焦系统。根据波光理论，完成了原位硬X射线波前误差测量和误差补偿方法。世界上第一个亚 10 纳米光束在 SPring-8 上实现。然后，聚焦系统升级为X射线纳米/光谱。成功观察到由 Pt 制成的纳米厚度薄膜，其空间分辨率优于 10 nm。

项目成果

KBミラー集光システムを備えた高分解能コヒーレントX線回折顕微法装置の開発

开发配备KB镜聚焦系统的高分辨率相干X射线衍射显微镜装置

• 发表时间: 2009
• 作者: 久保英人;高橋幸生;堤良輔;榊茂之;西野吉則;石川哲也;山内和人
• 通讯作者: 山内和人

High-resolution diffraction microscopy using the plane-wave field of a nearly diffraction limited focused x-ray beam

使用近衍射极限聚焦 X 射线束的平面波场的高分辨率衍射显微镜

• 发表时间: 2009
• 作者: Y.Takahashi;Y.Nishino;R.Tsutsumi;H.Kubo;H.Furukawa;H.Mimura;S.Matsuyama;N.Zettsu;T.Ishikawa;K.Yamauchi
• 通讯作者: K.Yamauchi

KBミラー集光放射光X線を用いた高分解能回折顕微法の実現可能性の検討

KB镜聚焦同步辐射X射线高分辨率衍射显微镜的可行性研究

• 发表时间: 2009
• 作者: 堤良輔;高橋幸生;西野吉則;三村秀和;久保英人;石川哲也;山内和人
• 通讯作者: 山内和人

色収差のない結像型硬X線顕微鏡構築のためのAdvanced Kirkpatrick-Baezミラー光学系の開発

开发先进的 Kirkpatrick-Baez 镜面光学系统，用于构建无色差成像硬 X 射线显微镜

• 发表时间: 2011
• 作者: 木谷直隆;他
• 通讯作者: 他

2次元硬X線Sub-10nm集光システムの構築

二维硬X射线亚10nm聚焦系统的构建

• 发表时间: 2011
• 作者: 横山光;他
• 通讯作者: 他