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Development of Compact Plasma Reactors Constructed by Piezoelectric Transformer

Development of Compact Plasma Reactors Constructed by Piezoelectric Transformer
压电变压器构造的紧凑型等离子体反应器的研制
批准号：
18360140
负责人：
ITOH Haruo
金额：
$9.95万
依托单位：
Chiba Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2006 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18360140/
关键词：
自己組織化プラズマリアクタ電子放出圧電トランス誘電体バリア放電

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
本研究では、小型高電圧発生素子である圧電トランス(PT)を用いたプラズマリアクタの実用化を目的とし、PTにより発生する誘電体バリア放電(DBD)の放電現象を明らかにしながら、実用器機への応用を検討した。PTにより開発したオゾン発生器の内部に使用する誘電体電極の材料効果について検討し、高効率でのオゾン生成が可能な誘電体材料を見出した。各種希ガス中でPTによりDBDを生成し、172 nmと126 nmの真空紫外光を放射する小型エキシマランプを開発した。DBD中で発光輝点が規則正しく整列する自己組織化現象の発生条件と誘電体表面の蓄積電荷の存在を明らかにした。
英文摘要
本研究では、小型高電圧発生素子である圧電トランス(PT)を用いたプラズマリアクタの実用化を目的とし、PTにより発生する誘電体バリア放電(DBD)の放電現象を明らかにしながら、実用器機への応用を検討した。PTにより開発したオゾン発生器の内部に使用する誘電体電極の材料効果について検討し、高効率でのオゾン生成が可能な誘電体材料を見出した。各種希ガス中でPTによりDBDを生成し、172 nmと126 nmの真空紫外光を放射する小型エキシマランプを開発した。DBD中で発光輝点が規則正しく整列する自己組織化現象の発生条件と誘電体表面の蓄積電荷の存在を明らかにした。
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会议论文
Observation of VUV emission spectra from DC positive corona discharge
直流正电晕放电真空紫外发射光谱的观察
DOI： --
发表时间： 2007
期刊： IEEJ Trans. FM 127
影响因子： --
作者： [K. Teranishi, D. Inada, N. Shimomura, S. Suzuki and H. Itoh, Kenji Teranishi, Yasuhide Kashiwagi]
通讯作者： Yasuhide Kashiwagi
Townsend's Secondary Ionization Coefficient of Mgo Film in Ar and Electron Reflection at the Surface
氧化镁薄膜在氩气中的汤森二次电离系数和表面电子反射
DOI： --
发表时间： 2007
期刊： Japanese Journal of Applied Physics Vol.46・No.3A
影响因子： --
作者： [S.Suzuki, H.Itoh]
通讯作者： H.Itoh
Electron Collision Cross Sections of Mercury
水星的电子碰撞截面
DOI： --
发表时间： 2006
期刊： Journal of Plasma and Fusion Reserch Series Vol.7
影响因子： --
作者： [S.Suzuki, K.Kazuma, H.Itoh]
通讯作者： H.Itoh
圧電トランス型オソナイザの電極温度がオゾン生成に及ぼす影響
压电变压器声波发生器电极温度对臭氧产生的影响
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [K.Teranishi, S.Suzuki, H.Itoh, 小林和人, 寺西研二, 寺西研二]
通讯作者： 寺西研二
共 54 条
    Analysis of Penning Ionization Process by Dynamic Measurement
    • 批准号：
      01550230
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $0.96万
    • 财政年份：
      1989
    • 负责人：
      ITOH Haruo
    • 依托单位：
      Chiba Institute of Technology
    海外基金