Development of Compact Plasma Reactors Constructed by Piezoelectric Transformer

压电变压器构造的紧凑型等离子体反应器的研制

• 批准号: 18360140
• 负责人: ITOH Haruo
• 金额: $ 9.95万
• 依托单位: Chiba Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2006 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18360140/
• 关键词: 自己組織化; プラズマリアクタ; 電子放出; 圧電トランス; 誘電体バリア放電

本研究では、小型高電圧発生素子である圧電トランス(PT)を用いたプラズマリアクタの実用化を目的とし、PTにより発生する誘電体バリア放電(DBD)の放電現象を明らかにしながら、実用器機への応用を検討した。PTにより開発したオゾン発生器の内部に使用する誘電体電極の材料効果について検討し、高効率でのオゾン生成が可能な誘電体材料を見出した。各種希ガス中でPTによりDBDを生成し、172 nmと126 nmの真空紫外光を放射する小型エキシマランプを開発した。DBD中で発光輝点が規則正しく整列する自己組織化現象の発生条件と誘電体表面の蓄積電荷の存在を明らかにした。

In this study, the purpose of this study was to use a small high-voltage high-voltage biosensor (PT). PT により発生するDielectric バリアdischarge (DBD) のdischarge phenomenon を明らかにしながら, 実用器机への応用 を検した. The material effect of using the する dielectric electrode inside the PT により开発したオゾン発 generator It is possible to generate high-efficiency dielectric materials using high-efficiency materials. Various types of PT によりDBD を are generated, 172 nm and 126 nm のvacuum ultraviolet radiation する small エキシマランプをopen 発した. In DBD, the rules of the shining point are the conditions for the formation of the phenomenon of self-organization and the existence of the accumulated charge on the surface of the dielectric body.

项目成果

Observation of VUV emission spectra from DC positive corona discharge

直流正电晕放电真空紫外发射光谱的观察

• 发表时间: 2007
• 期刊: IEEJ Trans. FM 127
• 作者: K. Teranishi;D. Inada;N. Shimomura;S. Suzuki and H. Itoh;Kenji Teranishi;Yasuhide Kashiwagi
• 通讯作者: Yasuhide Kashiwagi

Townsend's Secondary Ionization Coefficient of Mgo Film in Ar and Electron Reflection at the Surface

氧化镁薄膜在氩气中的汤森二次电离系数和表面电子反射

• 发表时间: 2007
• 期刊: Japanese Journal of Applied Physics Vol.46・No.3A
• 作者: S.Suzuki;H.Itoh
• 通讯作者: H.Itoh

Electron Collision Cross Sections of Mercury

水星的电子碰撞截面

• 发表时间: 2006
• 期刊: Journal of Plasma and Fusion Reserch Series Vol.7
• 作者: S.Suzuki;K.Kazuma;H.Itoh
• 通讯作者: H.Itoh

圧電トランス型オソナイザの電極温度がオゾン生成に及ぼす影響

压电变压器声波发生器电极温度对臭氧产生的影响

• 发表时间: 2009
• 作者: K.Teranishi;S.Suzuki;H.Itoh;小林和人;寺西研二;寺西研二
• 通讯作者: 寺西研二

Discharge Plasmas Generated by Piezoelectric Transformer and Their Applications:VUV Emission from Xe and Ar Excimers

压电变压器产生的放电等离子体及其应用：Xe和Ar准分子的VUV发射

• 发表时间: 2007
• 作者: 飯田芳久;森 竜雄;Haruo Itoh
• 通讯作者: Haruo Itoh