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High-performance MEMS devices realized by three-dimensional photolithography

High-performance MEMS devices realized by three-dimensional photolithography
三维光刻实现的高性能MEMS器件
批准号：
18681023
负责人：
SASAKI Minoru
金额：
$16.39万
依托单位：
Toyota Technological Institute (2007-2008)Tohoku University (2006)
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2006 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18681023/
关键词：
マイクロファブリケーションマイクロマシンデバイス設計・製造プロセス3次元フォトリソグラフィ3次元デバイス垂直壁3次元実装流体解析先端機能デバイス

项目摘要

项目成果

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3次元フォトリソグラフィの応用可能性をニーズのあるデバイスの形で示す試みは、ニーズを持つ外部研究グループと一緒に行った。関西大学の青柳教授らとの、自立カンチレバーと組み合わされたMOSFET容量センサ、香川大学の大平教授らとの、ICパッケージ側壁への配線パターン形成である。露光技術などの推敲と、成膜の基礎研究(評価法、気流解析)も平行して進めた。応用展開と、プロセス技術全般の推敲、学術的基礎の蓄積が進展した。
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会议论文
Effect of Angled Exposure Light for Three-Dimensional Lithography
成角度曝光光对三维光刻的影响
DOI： --
发表时间： 2006
期刊： Proceedings of the 23rd Sensor Symposium
影响因子： --
作者： [西 義則, 山内 進, 小林祐次, Vijay Kumar Singh]
通讯作者： Vijay Kumar Singh
スプレーコーティングしたレジスト膜の評価方法の検証
喷涂抗蚀膜评价方法的验证
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [T. Tokuda, et.al, 佐々木実]
通讯作者： 佐々木実
露光方法及び露光装置
曝光方法及曝光装置
DOI： --
发表时间： 2006
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Conductive pattern forming method on vertical wall using spray coating and angled exposure technologies
利用喷涂和成角度曝光技术在垂直壁上形成导电图案的方法
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [Hiroki Morii, Fumikazu Oohira, Minoru Sasaki, Toshihiko Ochi, Asumi Yuzuriha, Katsuhito Wani]
通讯作者： Katsuhito Wani
共 33 条
    Research on method of extracting collocation for each word sense and its application for word sense disambiguation
    • 批准号：
      24700131
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $1.33万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      SASAKI Minoru
    • 依托单位：
      Ibaraki University
    Development of Wearable Respiratory Sensor and Practical Application
    • 批准号：
      24650397
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.41万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      SASAKI Minoru
    • 依托单位：
      Toyota Technological Institute
    The identification of cell surface antigen of oral streptococcus for development of vaccine for oral cancer
    • 批准号：
      22592046
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.24万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      SASAKI Minoru
    • 依托单位：
      Iwate Medical University
    Highly sensitive infra-red sensor using non-linear vibration
    • 批准号：
      21656105
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $1.72万
    • 财政年份：
      2009
    • 负责人：
      SASAKI Minoru
    • 依托单位：
      Toyota Technological Institute
    海外基金