Highly sensitive infra-red sensor using non-linear vibration

使用非线性振动的高灵敏度红外传感器

• 批准号: 21656105
• 负责人: SASAKI Minoru
• 金额: $ 1.72万
• 依托单位: Toyota Technological Institute
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2011
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21656105/
• 关键词: 計測工学; マイクロ・ナノデバイス; 赤外線センサ; 振動型; 非線形効果; 非線形バネ; 張力; 薄膜トーションバー; 多結晶シリコン; 感度; Q値; 温度特性

A new infra-red sensor is proposed using the non-linear vibration, which can be observed in the tense thin film MEMS twisting resonator under the influence of the thermal stress generating the bending. The basic performance is confirmed by designing and fabricating the devices. The shift of the resonant frequency indicates the detection of the infra-red. From the results operated under the vacuum condition, 0.04℃change of the resonator temperature is estimated to be resolved.

提出了一种利用非线性振动的红外传感器，该传感器可以在张力薄膜MEMS扭转谐振腔中观察到热应力产生弯曲的影响。通过设计和制造，确定了器件的基本性能。谐振频率的移位表示探测到红外线。根据在真空条件下运行的结果，估计可以解决谐振腔温度变化0.04℃的问题。

项目成果

張力を持つ薄膜MEMSねじり振動子を利用したセンサ

采用带张力的薄膜 MEMS 扭转振荡器的传感器

• 发表时间: 2012
• 作者: 山崎辰也;佐々木実;熊谷慎也
• 通讯作者: 熊谷慎也

Nonlinear spring characteristics analyzed by a macro model of an electrostatically driven micromirror device

通过静电驱动微镜器件的宏观模型分析非线性弹簧特性

• 发表时间: 2011
• 作者: Shinya Kumagai;Gyu II Shim;Ryoichi Mimoto;Minoru Sasaki
• 通讯作者: Minoru Sasaki

Microactuator Using Tensile Thin Film

使用拉伸薄膜的微致动器

• 发表时间: 2009
• 作者: 小澤哲也;谷地館藍;山田洋;佐藤弘二;小島健;薮上信;小林伸聖;中居倫夫;Hon Fai Lau and Shigeru Yamamoto;Minoru Sasaki
• 通讯作者: Minoru Sasaki

Simultaneous Realization of Stabilized Temperature Characteristics and LowVoltage Drivingof Micromirror Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si

利用拉伸多晶硅薄膜扭杆同时实现微镜的稳定温度特性和低压驱动

• 发表时间: 2009
• 期刊: IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics
• 影响因子: 4.9
• 作者: M. Sasaki;M. Fujishima;K. Hane;H. Miura
• 通讯作者: H. Miura

マイクロミラー用簿膜トーションバーにおけるハードスプリング効果の評価

微镜膜扭杆硬弹簧效果评价

• 发表时间: 2012
• 作者: 小川翔平;熊谷慎
• 通讯作者: 熊谷慎