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Highly sensitive infra-red sensor using non-linear vibration

Highly sensitive infra-red sensor using non-linear vibration
使用非线性振动的高灵敏度红外传感器
批准号：
21656105
负责人：
SASAKI Minoru
金额：
$1.72万
依托单位：
Toyota Technological Institute
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2009
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2009 至 2011
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21656105/
关键词：
計測工学マイクロ・ナノデバイス赤外線センサ振動型非線形効果非線形バネ張力薄膜トーションバー多結晶シリコン感度Q値温度特性

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项目成果

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A new infra-red sensor is proposed using the non-linear vibration, which can be observed in the tense thin film MEMS twisting resonator under the influence of the thermal stress generating the bending. The basic performance is confirmed by designing and fabricating the devices. The shift of the resonant frequency indicates the detection of the infra-red. From the results operated under the vacuum condition, 0.04℃change of the resonator temperature is estimated to be resolved.
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会议论文
張力を持つ薄膜MEMSねじり振動子を利用したセンサ
采用带张力的薄膜 MEMS 扭转振荡器的传感器
DOI： --
发表时间： 2012
期刊：
影响因子： --
作者： [山崎辰也, 佐々木実, 熊谷慎也]
通讯作者： 熊谷慎也
Nonlinear spring characteristics analyzed by a macro model of an electrostatically driven micromirror device
通过静电驱动微镜器件的宏观模型分析非线性弹簧特性
DOI： --
发表时间： 2011
期刊：
影响因子： --
作者： [Shinya Kumagai, Gyu II Shim, Ryoichi Mimoto, Minoru Sasaki]
通讯作者： Minoru Sasaki
Microactuator Using Tensile Thin Film
使用拉伸薄膜的微致动器
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [小澤哲也, 谷地館藍, 山田洋, 佐藤弘二, 小島健, 薮上信, 小林伸聖, 中居倫夫, Hon Fai Lau and Shigeru Yamamoto, Minoru Sasaki]
通讯作者： Minoru Sasaki
Simultaneous Realization of Stabilized Temperature Characteristics and LowVoltage Drivingof Micromirror Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si
利用拉伸多晶硅薄膜扭杆同时实现微镜的稳定温度特性和低压驱动
DOI： --
发表时间： 2009
期刊： IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics
影响因子： 4.9
作者： [M. Sasaki, M. Fujishima, K. Hane, H. Miura]
通讯作者： H. Miura
共 33 条
    Research on method of extracting collocation for each word sense and its application for word sense disambiguation
    • 批准号：
      24700131
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $1.33万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      SASAKI Minoru
    • 依托单位：
      Ibaraki University
    Development of Wearable Respiratory Sensor and Practical Application
    • 批准号：
      24650397
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.41万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      SASAKI Minoru
    • 依托单位：
      Toyota Technological Institute
    The identification of cell surface antigen of oral streptococcus for development of vaccine for oral cancer
    • 批准号：
      22592046
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.24万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      SASAKI Minoru
    • 依托单位：
      Iwate Medical University
    A study of self-sensing control of hydrophilic electrolytic polymer actuator
    • 批准号：
      20560235
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.0万
    • 财政年份：
      2008
    • 负责人：
      SASAKI Minoru
    • 依托单位：
      Gifu University
    海外基金