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Wear Mechanism under Sliding in Air for Solid Lubricant Film

Wear Mechanism under Sliding in Air for Solid Lubricant Film
固体油膜在空气中滑动的磨损机理
批准号：
19360076
负责人：
MATSUDA Kenji
金额：
$10.23万
依托单位：
Kyushu Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19360076/
关键词：
トライボロジー固体潤滑膜二硫化モリブデンスパッタリング潤滑特性乾燥空気湿度転がり軸受大気中密着力摩擦熱

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半導体製造用真空ロボットの固体潤滑軸受に使用されている二硫化モリブデンスパッタ膜は真空中のみならず大気中でも優れた潤滑特性が要求される。しかし, 大気中では極端に潤滑特性の低下が生じる。本研究では, 摩擦試験と表面分析などによりこの原因が膜に浸入した水分であることを明らかにした。次に, 膜に水が浸入しにくい膜作製法を提案し, 効果があることを検証した。さらに, この考え方を発展させて膜の構造の適正化で格段の性能向上が図れることを実証した。
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膜形成後に真空チャンバ内へ乾燥ガスを導入して作製した二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中での潤滑特性(4)-アルゴン分圧の影響-
成膜后向真空室内导入干燥气体而形成的二硫化钼溅射膜在气氛中的润滑性(4) - 氩分压的影响 -
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [池田満昭, 小熊清典, 兼田〓宏, 松田健次]
通讯作者： 松田健次
Effect of Substrate and Friction on Vickers Indentation of Electroplated Coatings
基材和摩擦力对电镀层维氏压痕的影响
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： J. Phys. D: Appl. Phys Vol.41, No.7
影响因子： --
作者： [Kenji Matsuda]
通讯作者： Kenji Matsuda
膜形成後に真空チャンバ内へ乾燥ガスを導入して作製した二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中での潤滑特性(3)-潤滑特性向上メカニズムの検討-
成膜后向真空室内导入干燥气体而形成的二硫化钼溅射膜在气氛中的润滑性(3) - 润滑性改善机理的探讨 -
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [池田満昭, 小熊清典, 兼田〓宏, 松田健次]
通讯作者： 松田健次
SUS440C製ローラ上に形成した二硫化モリブデンスパッタ膜の摩擦寿命に及ぼす大気中保管の影響
空气中储存对SUS440C辊上二硫化钼溅射薄膜摩擦寿命的影响
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [小熊 清典, 池田 満昭, 松田 健次, 兼田 〓宏]
通讯作者： 兼田 〓宏
共 12 条
    Molecular Electronics of Open-Shell Molecule Based on Spin-Dependent Photoexcited State Dynamics
    • 批准号：
      19H02788
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $11.15万
    • 财政年份：
      2019
    • 负责人：
      MATSUDA Kenji
    • 依托单位：
      Kyoto University
    Rational design and synthesis of pi-conjugated wire which shows high efficiency and low attenuation of electron tunneling
    • 批准号：
      15H03794
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $10.98万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      MATSUDA Kenji
    • 依托单位：
      Kyoto University
    Photochromic electronic device using photoresponsive charge transport layer
    • 批准号：
      15K13669
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.5万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      MATSUDA Kenji
    • 依托单位：
      Kyoto University
    New Aspects of Rebound Hardness Testing Method
    • 批准号：
      25630039
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.58万
    • 财政年份：
      2013
    • 负责人：
      MATSUDA Kenji
    • 依托单位：
      Kyushu Institute of Technology
    海外基金