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Formation and characterization of La2O3 gate dielectrics formed using by metalorganic CVD

Formation and characterization of La2O3 gate dielectrics formed using by metalorganic CVD
使用金属有机 CVD 形成 La2O3 栅极电介质的形成和表征
批准号：
19760219
负责人：
MURAKAMI Hideki
金额：
$2.27万
依托单位：
Hiroshima University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19760219/
关键词：
有機金属錯体ゲート絶縁膜高誘電率絶縁膜ALCVD高誘電率ゲート絶縁膜MOCVD

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项目成果

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La(TMOD)3を用いて、Pt層上にLa酸化膜を堆積し、XPSを用いて化学構造を評価した。La(TMOD)3とO2を同時供給した場合(O2分圧:〜60Pa)、La酸化膜厚は、基板温度の上昇および堆積時間の増加に伴い、増大する。O2の同時供給を行わず基板温度200℃でLa酸化膜を堆積した場合、供給時間に依らず、La酸化膜厚は一定であり、前駆体の飽和吸着が確認された。また、飽和吸着後、150℃以上のO2アニールにより、La酸化膜表面を終端しているCOxHyおよび膜中残留炭素の除去に有効であることが分かった。La(TMOD)3による飽和吸着とO2アニールを交互に繰り返すことで、原子層レベルでの膜厚制御が可能であることが示唆された。
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会议论文
La-Oxide Thin Films Formed by MOCVD Using La(TMOD)3
使用 La(TMOD)3 通过 MOCVD 形成 La-氧化物薄膜
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [R. Yougauchi, A. Ohta, H. Murakami, S. Higashi, S. Miyazaki]
通讯作者： S. Miyazaki
La(TMOD)3を用いたMOCVDによるLa酸化薄膜の形成
使用 La(TMOD)3 通过 MOCVD 形成 La 氧化物薄膜
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [大野宗一, 松浦清隆, 大野宗一, 大野宗一, 要垣内亮,大田晃生,村上秀樹,東清一郎,宮崎誠一]
通讯作者： 要垣内亮,大田晃生,村上秀樹,東清一郎,宮崎誠一
The Impact of Post Deposition NH_3-Anneal on La Oxide Films Formed by MOCVD Using La(DPM)3
沉积后NH_3退火对La(DPM)3 MOCVD形成La氧化膜的影响
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [R, Yougauchi, K. Makihara, 大田 晃生, 門島 勝, 三浦 真嗣, 奥山 一樹, 大田 晃生, 大田 晃生, 大田 晃生, A. Ohta, Akio Ohta, A. Ohta, S. Miyazaki, 三浦 真嗣, 吉永 博路, H. Yoshinaga, 要垣内 亮, R. Yougauchi]
通讯作者： R. Yougauchi
La-Oxide Thin Films Formed by MOCVD Using La(TMOD)_3
使用 La(TMOD)_3 通过 MOCVD 形成 La-氧化物薄膜
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [R. Yougauchi, A. Ohta, H. Murakami, S. Higashi, S. Miyazaki]
通讯作者： S. Miyazaki
共 7 条
    The biological roles of YAP in malignant mesothelioma proliferation and invasion
    An econometric research on market conduct and performance of Us and Japanese low-cost carriers
    • 批准号：
      21530219
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.83万
    • 财政年份：
      2009
    • 负责人：
      MURAKAMI Hideki
    • 依托单位：
      Kobe University
    Molecular analysis of the NF2 tumor suppressor gene in malignant mesothelioma
    • 批准号：
      19590421
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.91万
    • 财政年份：
      2007
    • 负责人：
      MURAKAMI Hideki
    • 依托单位：
      Aichi Cancer Center Research Institute
    An empirical analysis of the market behavior and performance international logistics providers
    • 批准号：
      19530384
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.66万
    • 财政年份：
      2007
    • 负责人：
      MURAKAMI Hideki
    • 依托单位：
      Kobe University
    海外基金