Numerische Simulation zum statischen und dynamischen Verhalten des Monolithischen Bidirektionalen Schalters, MBS

Die Arbeiten am Projekt“Hochsperrende Zweirichtungsventile”im ersten Förderabschnitt des Schwerpunktprogramms haben zur Erfindung einer neuen Bauelementstruktur geführt，die zur Patentanmeldung eingereicht wurde. MOS制造的双向Schalter，MBS，可以通过一个韦尔登制成单片。在上表面上形成的亚微米层中有一个很小的结构，但在最好的接触面上，元件只在最大的硅中存在。如果要获得更好的结果，那么通过一个真正的韦尔登来获得更大的灵活性，就需要更好地利用MBS的电气数据。本文通过数值模拟的方法解决了工程设计中结构参数的确定问题，并对结构设计和施工韦尔登进行了数值模拟。Zusätzlich soll untersucht韦尔登，wie weit durch Steuerung der Ladungsträgerkonzentrationen auf beiden Seiten die dynamischen Vorgänge beim Ein- und Ausschalten optilt韦尔登können.福尔斯是一个合作伙伴，以确保在韦尔登期间为MBS提供担保。

Die Arbeiten am Projekt "Hochsperrende Zweirichtungsventile" im ersten Förderabschnitt des Schwerpunktprogramms haben zur Erfindung einer neuen Bauelementstruktur geführt, die zur Patentanmeldung eingereicht wurde. Dieser MOS-gesteuerte bidirektionale Schalter, MBS, kann monolithisch aus einer Siliziumscheibe hergestellt werden. Dafür sind zwar feine Strukturen im Sub-µm-Bereich auf beiden Oberflächen erforderlich, bis auf die Kontaktbereiche besteht das Bauelement sonst aber nur aus möglichst reinem Silizium. Neben der überraschenden Erkenntnis, daß ein Zweirichtungsventil durch eine so einfache Struktur realisiert werden kann, wird weiter erwartet, daß der MBS hervorragende elektrische Daten aufweist. Mittels numerischer Simulation sollen im hier beantragten Projekt die Anforderungen an die Strukturparameter und die damit realisierbaren Durchlaß- und Sperreigenschaften berechnet werden. Zusätzlich soll untersucht werden, wie weit durch Steuerung der Ladungsträgerkonzentrationen auf beiden Seiten die dynamischen Vorgänge beim Ein- und Ausschalten optimiert werden können. Falls ein Partner für die Herstellung der Bauelemente gefunden wird, sollen alternativ Rechnungen zur Gestaltung verschiedener Ausführungsformen der MBS durchgeführt werden.