课题基金 / 基金详情

Diagnostics of debris from laser-produced plasma with tin droplet target for EUV light source

Diagnostics of debris from laser-produced plasma with tin droplet target for EUV light source
使用 EUV 光源锡滴目标诊断激光产生的等离子体碎片
批准号：
20760025
负责人：
NAKAMURA Daisuke
金额：
$2.75万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2008
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2008 至 2009
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20760025/
关键词：
EUVレーザー生成プラズマドロップレットLIF

项目摘要

项目成果

NAKAMURA Daisuke的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
The ablation dynamics of tin micro-droplet target irradiated by double pulses was investigated for extreme ultraviolet lithography source. Debris from Sn droplet target was visualized by the laser-induced fluorescence imaging and shadowgraph imaging.
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
錫ターゲットを用いたレーザー生成プラズマEUV光源からのデブリ放出特性
使用锡靶的激光产生的等离子体 EUV 光源的碎片发射特性
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： レーザー研究 36
影响因子： --
作者： [中村大輔, 秋山智哉, 高橋昭彦, 岡田龍雄]
通讯作者： 岡田龍雄
Diagnostics of Ablation Dynamics of Tin micro-Droplet for EUV Lithography Light Source
EUV 光刻光源锡微滴烧蚀动力学诊断
DOI： --
发表时间： 2009
期刊： Proc.CLEO Pacific Rim 2009
影响因子： --
作者： [D.Nakamura, K.Okazaki, T.Akiyama, K.Toya, A.Takahashi, T.Okada, T.Yanagida, Y.Ueno, Y.Sasaki, T.Suganuma, M.Nakano, H.Komori, A.Sumitani, A.Endo]
通讯作者： A.Endo
スズドロップレットを用いたレーザー生成プラズマEUV光源のデブリ挙動計測
使用锡滴测量激光产生的等离子体 EUV 光源的碎片行为
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [中村大輔, 秋山智哉, 岡崎巧太, 高橋昭彦, 岡田龍雄]
通讯作者： 岡田龍雄
スズドロップレットを用いたレーザー生成プラズマEUV光源からのデブリ放出特性イメージング
使用锡滴对激光产生的等离子体 EUV 光源的碎片发射特性进行成像
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [中村大輔, 秋山智哉, 遠矢和勇騎, 岡崎功太, 高橋昭彦, 岡田龍雄]
通讯作者： 岡田龍雄
共 17 条
    For elucidation of some religious backgrounds of the contemporary French philosophy: relations between the mathematical philosophy and the religious thought in Jean Cavailles' work
    • 批准号：
      17K02253
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.66万
    • 财政年份：
      2017
    • 负责人：
      NAKAMURA Daisuke
    • 依托单位：
      Toyohashi University of Technology
    Comprehensive research on the trade network and technology transfer of ironware and ornaments during the Lelang commandery period
    • 批准号：
      15K02972
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.08万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      NAKAMURA Daisuke
    • 依托单位：
      Saitama University
    Comparative study of apearance and diffusion of iron implements between Japan and Korea
    • 批准号：
      24720351
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.5万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      NAKAMURA Daisuke
    • 依托单位：
      Saitama University
    Elucidation of evolutional path of ultrahigh-pressure metamorphic rocks
    • 批准号：
      23540557
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.33万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      NAKAMURA Daisuke
    • 依托单位：
      Okayama University
    海外基金