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Diagnostics of debris from laser-produced plasma with tin droplet target for EUV light source

使用 EUV 光源锡滴目标诊断激光产生的等离子体碎片

基本信息

批准号：
20760025
负责人：
NAKAMURA Daisuke
金额：
$ 2.75万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2008
资助国家：
日本
起止时间：
2008 至 2009
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20760025/
关键词：
EUV レーザー生成プラズマドロップレット LIF

项目摘要

The ablation dynamics of tin micro-droplet target irradiated by double pulses was investigated for extreme ultraviolet lithography source. Debris from Sn droplet target was visualized by the laser-induced fluorescence imaging and shadowgraph imaging.

研究了极紫外光刻光源中锡微滴靶在双脉冲辐照下的烧蚀动力学。通过激光诱导荧光成像和阴影成像观察锡液滴靶的碎片。

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

錫ターゲットを用いたレーザー生成プラズマEUV光源からのデブリ放出特性

使用锡靶的激光产生的等离子体 EUV 光源的碎片发射特性

DOI：
发表时间：
2008
期刊：
レーザー研究 36
影响因子：
0
作者：
中村大輔;秋山智哉;高橋昭彦;岡田龍雄
通讯作者：
岡田龍雄

Diagnostics of Ablation Dynamics of Tin micro-Droplet for EUV Lithography Light Source

EUV 光刻光源锡微滴烧蚀动力学诊断

DOI：
发表时间：
2009
期刊：
Proc.CLEO Pacific Rim 2009
影响因子：
0
作者：
D.Nakamura;K.Okazaki;T.Akiyama;K.Toya;A.Takahashi;T.Okada;T.Yanagida;Y.Ueno;Y.Sasaki;T.Suganuma;M.Nakano;H.Komori;A.Sumitani;A.Endo
通讯作者：
A.Endo

スズドロップレットを用いたレーザー生成プラズマEUV光源のデブリ挙動計測

使用锡滴测量激光产生的等离子体 EUV 光源的碎片行为

DOI：
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
0
作者：
中村大輔;秋山智哉;岡崎巧太;高橋昭彦;岡田龍雄
通讯作者：
岡田龍雄

スズドロップレットを用いたレーザー生成プラズマEUV光源からのデブリ放出特性イメージング

使用锡滴对激光产生的等离子体 EUV 光源的碎片发射特性进行成像

DOI：
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
0
作者：
中村大輔;秋山智哉;遠矢和勇騎;岡崎功太;高橋昭彦;岡田龍雄
通讯作者：
岡田龍雄

Imaging diagnostics of debris from laser-produced tin plasma with droplet target for EUV light source

使用 EUV 光源的液滴目标对激光产生的锡等离子体碎片进行成像诊断

DOI：
10.2961/jlmn.2008.03.0012
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
0
作者：
D. Nakamura;T. Akiyama;A. Takahashi;T. Okada
通讯作者：
T. Okada

DOI：
{{ item.doi }}
发表时间：
{{ item.publish_year }}
期刊：
{{ item.journal_name }}
影响因子：
{{ item.factor }}
作者：
{{ item.authors }}
通讯作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}

作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}

作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}

作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ patent.updateTime }}

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