Development Study on Ultra Precision Lapping Technique of Large Sized Workpiece by Oscillation Controlled Method

振动控制法大型工件超精密研磨技术的开发研究

• 批准号: 20760090
• 负责人: UNEDA Michio
• 金额: $ 2.25万
• 依托单位: Kanazawa Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20760090/
• 关键词: 超精密加工; ラッピング; 揺動制御; 大口径ワーク; 高平坦化; 研磨; 形状創成; 最適化; 遺伝的アルゴリズム

This study aims to develop and propose an oscillation controlled lapping method, which uses a small diameter lap tool and is classed in the single wafer lapping system, as an effective method to achieve high precision controlled lapping of large sized workpiece. As the results, it is clear that the relations among the slurry flow, pressure distribution with tool overhanging and lapping characteristics of the proposed method based on a series of experiments and theoretical results using finite element analysis. Moreover, it is founded that the slurry flow mechanism is changed greatly with an offset between the tool and the workpiece. Furthermore, the controlled lapping within under 1um is achieved by the proposed method

本研究旨在发展并提出一种振荡控制研磨方法，该方法使用小直径研磨工具，并归类于单晶片研磨系统中，作为实现大尺寸工件高精度受控研磨的有效方法。通过一系列的实验和有限元分析的理论结果，明确了该方法的研磨液流动、压力分布与刀具悬伸量和研磨特性之间的关系。研究发现，随着刀具与工件之间的偏移量的增加，浆料的流动机理发生了很大的变化。此外，该方法还实现了小于1 μ m的可控研磨

项目成果

デジタル画像相関法を用いたスラリーフローの定量評価研究-揺動制御ラッピング方式におけるスラリーフローと研磨特性の相関関係-

利用数字图像相关法定量评价浆料流动性的研究-摇摆控制研磨法中浆料流动性与抛光特性的相关性-

• 发表时间: 2010
• 作者: 畝田道雄;村田慎太郎;石川憲一
• 通讯作者: 石川憲一

デジタル画像相関法を用いた揺動制御ラッピング方式におけるスラリーフローの定量評価研究

数字图像相关法对摇摆控制包裹法泥浆流动的定量评价研究

• 发表时间: 2010
• 作者: 村田慎太郎;後閑一洋;畝田道雄;石川憲一
• 通讯作者: 石川憲一

小径工具を用いた揺動制御ラッピングに関する研究-オーバーラップを考慮したウェーハ全面研磨の基礎検討-

小直径刀具摆动控制研磨研究-考虑重叠的晶片表面抛光基础研究-

• 发表时间: 2008
• 作者: 畝田道雄;成瀬尚;石川憲一;諏訪部仁
• 通讯作者: 諏訪部仁

小径工具を用いた揺動制御ラッピングの研究

小直径刀具摆动控制精研研究

• 发表时间: 2009
• 作者: 畝田道雄;成瀬尚;石川憲一;諏訪部仁
• 通讯作者: 諏訪部仁

ホームページ等。

主页等