Synthesis of Cyclic Oligomers by the Dynamic Covalent Chemistry Mechanism and their Application for Resist Materials

动态共价化学机理合成环状低聚物及其在光刻胶材料中的应用

• 批准号: 22350088
• 负责人: KUDO Hiroto
• 金额: $ 12.65万
• 依托单位: Kansai University (2012)Kanagawa University (2010-2011)
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22350088/
• 关键词: レジスト; 極端紫外線; 環状オリゴマー; ノーリア; 化学増幅型レジスト; 分子レジスト; 動的共有結合化学; 電子線; 光機能性材料

A new dynamic covalent chemistry (DCC) system in the reaction of resorcinol and 1,5-pentanedial could be achieved, yielding a only soluble oligomer noria (noria means water wheel in Latin) in high yield, resembling a water-wheel in appearance. Application of the noria derivatives with pendant photo-reactive groups were examined for UV-curing materials and photo-resist materials. The obtained noria derivatives had good solubility, good film-forming ability, high thermal stability, and high photo-chemical reactivity. Furthermore, certain new ladder cyclic oligomers could be synthesized using a similar approach to that employed for the synthesis of noria and their application as next generation resist materials was also investigated

在间苯二酚和1，5-戊二醛的反应中可以实现一种新的动态共价化学（DCC）体系，高产率地产生一种唯一可溶的低聚物noria（noria在拉丁语中是水轮的意思），其外观类似于水轮。考察了含光活性侧基的诺丽亚衍生物在紫外光固化材料和光致抗蚀剂材料中的应用。合成的诺丽亚衍生物具有良好的溶解性、成膜性、热稳定性和光化学活性。此外，可以使用与合成诺里亚类似的方法合成某些新的梯状环状低聚物，并研究了它们作为下一代抗蚀剂材料的应用

项目成果

ビシクロオルトエステル基を有するカゴ型シルセスキオキサンの合成と性質、および屈折率特性変化

具有双环原酸酯基团的笼型倍半硅氧烷的合成、性能及折射率特性的变化

• 发表时间: 2011
• 作者: 岸川圭希,佐藤来,高橋正洋,幸本重男;武士由希・島茂記・工藤宏人・西久保忠臣;山田容子・及川悦誠・清田達郎・大橋知佳・青竹達也・勝田修平・中山健一;幸本重男,井上翔太,高橋正洋,岸川圭希;鈴木穰次・工藤宏人・西久保忠臣
• 通讯作者: 鈴木穰次・工藤宏人・西久保忠臣

Extreme Ultraviolet (EUV)-Resist Materials based on Water Wheel-like Cyclic Oligomer (Noria)

基于水轮状环状低聚物（Noria）的极紫外（EUV）抗蚀材料

• 发表时间: 2011
• 作者: 岸川圭希,佐藤来,高橋正洋,幸本重男;武士由希・島茂記・工藤宏人・西久保忠臣;山田容子・及川悦誠・清田達郎・大橋知佳・青竹達也・勝田修平・中山健一;幸本重男,井上翔太,高橋正洋,岸川圭希;鈴木穰次・工藤宏人・西久保忠臣;森山和樹・西久保忠臣・工藤宏人・老泉博昭・井谷俊郎・丸山研・木村徹・下川努;岸川圭希,小林孝弘,高橋正洋,幸本重男;Yoshihide Fukaya;山田容子;佐藤友治・荒井義明・工藤宏人・西久保忠臣・井谷俊郎・老泉博昭;岸川圭希,井上尭大,高橋正洋,幸本重男;工藤 宏人・西久保忠臣;山田容子;Shuji Watanabe;工藤宏人・西久保忠臣;山田容子;Fumio Sasaki;岸川圭希,杉山崇明,高橋正洋,幸本重男;幸本重男,名雪涼,高橋正洋,岸川圭希;Takeshi Yamao;山田容子;工藤宏人・西久保忠臣;工藤宏人・西久保忠臣
• 通讯作者: 工藤宏人・西久保忠臣

動的共有結合化学を利用したレゾルシノール類とm-ベンゼンジカルボアルデヒドとの縮合反応によるラダー型オリゴマーの合成

利用动态共价化学通过间苯二酚和间苯二甲醛缩合反应合成梯型低聚物

• 发表时间: 2011
• 作者: T. Urata;K. Fukami;T. Sakka;Y.H. Ogata;森吉千佳子,帆足宏一,松岡良樹,黒岩芳弘,佐藤宏亮,笹井亮;関浩之・工藤宏人・西久保忠臣
• 通讯作者: 関浩之・工藤宏人・西久保忠臣

Extreme Ultraviolet (EUV)-Resist Material Based on Noria (Water Wheel-like Macrocycle) Derivatives with Pendant Alkoxyl and Adamantyl Ester Groups

基于带有烷氧基和金刚酯侧基的 Noria（水轮状大环）衍生物的极紫外 (EUV) 抗蚀剂材料

• 发表时间: 2012
• 期刊: J. Photopolym. Sci. Technol.
• 作者: Hiroto Kudo;Nobumitsu Niina;Tomoharu Sato;Hiroaki Oizumi;Toshiro Itani;Takuro Miura;Takeo Watanabe;Hiroo Kinoshita
• 通讯作者: Hiroo Kinoshita

Novel Molecular Resist Materials based on Cyclic Oligomers

基于环状低聚物的新型分子抗蚀剂材料

• 发表时间: 2013
• 作者: 藤永浩輝,小和田俊行;大江浩一;岸川圭希;Hiroto Kudo
• 通讯作者: Hiroto Kudo