Surface atomic structure of compound semiconductors treated with active nitrogen species

活性氮物质处理的化合物半导体的表面原子结构

• 批准号: 22510117
• 负责人: OHTAKE Akihiro
• 金额: $ 2.83万
• 依托单位: National Institute for Materials Science
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22510117/
• 关键词: ナノ表面・界面; 化合物半導体; 表面構造; 希薄窒化半導体; 表面再配列; 分子線エピタキシー; ガリウムヒ素

The initial nitridation processes of GaAs(001) have been systematically studied. The structure and composition of the nitrided surface strongly depends on the preparation condition. When the GaAs(001)-(2x4) surfaces were exposed to the active N species under the As4 flux, N atoms are initially incorporated into the As lattice site at the third atomic layer in the β2(2x4) structure. On the other hand, for the nitridation without the As4 flux, the N-induced (3x3) reconstructions are formed.

本文系统地研究了GaAs（001）的初始氮化过程。氮化层的结构和成分与制备条件密切相关。当GaAs（001）-（2x 4）表面在As 4助熔剂下暴露于活性N物种时，N原子最初并入β2（2x 4）结构中第三原子层的As晶格位置。另一方面，对于没有As 4助熔剂的氮化，形成N诱导的（3x 3）重构。

项目成果

Atomic-scale characterization of the N incorporation on GaAs(001)

GaAs(001) 上 N 掺入的原子尺度表征

• 发表时间: 2011
• 期刊: Journal of Applied Physics
• 影响因子: 3.2
• 作者: Tsuji T;Ueno K;Yokota Y;Tsuji M;Misawa H;A. Ohtake
• 通讯作者: A. Ohtake

Atomic scale characterization of the N incorporation in GaAs (001)

GaAs (001) 中氮掺入的原子尺度表征

• DOI: 10.1063/1.3609066
• 发表时间: 2011
• 期刊: Journal of Applied Physics
• 影响因子: 3.2
• 作者: Mary Clare Escano;Tien Quang Nguyen;Hideaki Kasai;辻 剛志;A.Ohtake
• 通讯作者: A.Ohtake

Initial nitridation processes of GaAs(001)

GaAs(001)的初始氮化过程

• 发表时间: 2012
• 作者: 吉田岳人;梅津郁朗;杉村陽;辻剛志;A. Ohtake
• 通讯作者: A. Ohtake

活性窒素種を照射したGaAs(001)表面構造

活性氮物种辐照的 GaAs(001) 表面结构

• 发表时间: 2011
• 作者: 角本宗一郎;梅津郁朗;杉村陽;吉田岳人;東 優磨; 辻 剛志; 辻 正治; 藤原 英樹; 石川 善恵; 越崎 直人;大竹晃浩
• 通讯作者: 大竹晃浩

Initial stage of heteroepitaxy on GaAs(001): adsorbate-induced surface reconstructions

GaAs(001) 异质外延的初始阶段：吸附物诱导的表面重建

• 发表时间: 2012
• 作者: 真田雄介;坂本俊介;坂下瑞葉;仁科孝一;中井啓太;遊佐真一;櫻井和朗;Akihiro Ohtake
• 通讯作者: Akihiro Ohtake