Applications of carbon nanotube films to contact materials of RF-MEMS switch

碳纳米管薄膜在RF-MEMS开关接触材料中的应用

基本信息

项目摘要

Radio-frequency microelectromechanical systems (RF MEMS) switches have potentially superior electrical properties. There are problems with the electrical contacts: The mechanical relay switches in RF MEMS switches are microsized, and so the contact electrodes must be considerably smaller (less than 100 μm2) . In order to solve the problem, we used carbon nanotube (CNT) films as contact materials under micro loads. Although CNT films have high contact resistances, Au film depositions on CNT films and horizontal alignment of CNTs decrease contact resistances.
射频微机电系统 (RF MEMS) 开关具有潜在的卓越电气特性。电接触存在问题：RF MEMS 开关中的机械继电器开关尺寸微小，因此接触电极必须相当小（小于 100 μm2）。为了解决这个问题，我们使用碳纳米管（CNT）薄膜作为微负载下的接触材料。尽管CNT膜具有高接触电阻，但是在CNT膜上沉积Au膜以及CNT的水平排列可以降低接触电阻。

项目成果

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Reducing the High Frictions on Carbon Nanotube Films by Applying Oscillating Motions under Micronewton Loads
通过在微牛顿载荷下施加振荡运动来减少碳纳米管薄膜上的高摩擦
  • DOI：
  • 发表时间：
    2012
  • 期刊：
    Tribology Online
  • 影响因子：
    1
  • 作者：
    Hiroshi Kinoshita;Masatoshi Kageyama;Aidil Azli Alias;Masahiro Fujii
  • 通讯作者：
    Masahiro Fujii
マイクロ荷重領域におけるカーボンナノチューブ薄膜と金チップとの接触電気抵抗
微负载区碳纳米管薄膜与金片之间的接触电阻
  • DOI：
  • 发表时间：
    2010
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Hiroshi Kinoshita;Naganori Koda;Masanori Seki;Masahiro Fujii;Yoshitada Isono;Nobuo Ohmae;木之下博・大前伸夫
  • 通讯作者：
    木之下博・大前伸夫
CNT 薄膜を集積したマイクロ接点電極の摩耗耐久性評価
碳纳米管薄膜集成微接触电极的磨损耐久性评估
  • DOI：
  • 发表时间：
    2012
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    末國 啓輔;香田 永徳;木之下 博;花崎 逸雄,磯野 吉正
  • 通讯作者：
    花崎 逸雄,磯野 吉正
振動印加によるカーボンナノチューブ薄膜の摩擦係数の０から１以上までのコントロール
通过施加振动控制碳纳米管薄膜的摩擦系数从0到1或更高
  • DOI：
  • 发表时间：
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    木之下博;蔭山正敏;アイディル アズリ エイリアス;藤井正浩
  • 通讯作者：
    藤井正浩
Bonding of a Carbon Nanotube Film to a Au Film at Low Temperature and Contact Resistance of the Film under Micronewton Loads
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  • DOI：
    10.2474/trol.6.189
  • 发表时间：
    2011
  • 期刊：
    Tribology Online
  • 影响因子：
    1
  • 作者：
    H. Kinoshita;Y. Isonoand N. Ohmae
  • 通讯作者：
    Y. Isonoand N. Ohmae
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    KINOSHITA Hiroshi;INADA Yoichi;MATSUMOTO Naohiro;Yoko Tomo
  • 通讯作者：
    Yoko Tomo
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  • 期刊：
  • 影响因子：
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  • 作者：
    KINOSHITA Hiroshi;INADA Yoichi;MATSUMOTO Naohiro;Yoko Tomo;Angela Faragasso
  • 通讯作者：
    Angela Faragasso
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