Direct patterningof oxide films by coplanar type surface discharge

共面型表面放电氧化膜直接图案化

• 批准号: 22560719
• 负责人: OKUYA Masayuki
• 金额: $ 2.83万
• 依托单位: Shizuoka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22560719/
• 关键词: 沿面放電; プラズマ; 薄膜; 酸化亜鉛; 製膜; 酸化スズ; 平面プラズマ; ダイレクトパターニング

Various techniques to prepare thin films have been reported during the decades. However, most of them basically require a high substrate temperature and/or a vacuum process. A novel thin film synthesis technique at low substrate temperature under ambient pressure should be developed. We focused on a coplanar surface discharge technique to meet the demand. Coplanar surface discharge is categorized to a dielectric barrier discharge in which high-energy plasma runs on the surface of an insulating substrate. In this study, we developed a coplanar surface discharge technique to prepare zinc oxide films.

在过去的几十年里，人们报道了各种制备薄膜的技术。然而，它们中的大多数基本上需要较高的衬底温度和/或真空工艺。开发一种新的常压低衬底温度薄膜合成技术。为了满足这一要求，我们重点研究了一种共面表面放电技术。共面表面放电被归类为介质阻挡放电，其中高能等离子体在绝缘衬底表面运行。在这项研究中，我们发展了一种共面表面放电技术来制备氧化锌薄膜。

项目成果

Preparation of Transparent Conductive Films by SPD Technique and their Application to Dye-Sensitized Solar Cells

SPD技术制备透明导电薄膜及其在染料敏化太阳能电池中的应用

• DOI: 10.4139/sfj.63.349
• 发表时间: 2012
• 期刊: Journal of The Surface Finishing Society of Japan
• 作者: 世利修美;蓑島創;奥谷昌之
• 通讯作者: 奥谷昌之

TNO透明導電膜を利用した色素増感太陽電池の高効率化

利用TNO透明导电薄膜提高染料敏化太阳能电池的效率

• 发表时间: 2012
• 作者: 竹村秀一郎;他
• 通讯作者: 他

TNO透明導電膜の導入と界面抵抗の解析による色素増感太陽電池の高効率化

引入TNO透明导电薄膜并分析界面电阻提高染料敏化太阳能电池的效率

• 发表时间: 2012
• 作者: 竹村秀一郎;村本亮祐;関根裕介;岡崎壮平;坂井延寿;山田直臣;一杉太郎;長谷川哲也;奥谷昌之
• 通讯作者: 奥谷昌之

真空含浸法の導入による固体型色素増感太陽電池の高効率化

引入真空浸渍法提高固态染料敏化太阳能电池效率

• 发表时间: 2012
• 作者: 岩城涼;藤井亮太;奥谷昌之
• 通讯作者: 奥谷昌之

スプレー熱分解(SPD)法による透明導電膜の作製と色素増感太陽電池への応用

喷雾热解（SPD）法制备透明导电薄膜及其在染料敏化太阳能电池中的应用

• 发表时间: 2012
• 期刊: 表面技術
• 作者: M. Hashida;M. Miyasaka;Y. Ikuta;T.Ogata;H. Sakagami;S. Tokita;and S.Sakabe;奥谷昌之
• 通讯作者: 奥谷昌之