Resonant Grazing-Incidence Small-angle soft X-ray scattering method and its application to three-dimensional structure analysis of multylayer thin films

共振掠入射小角软X射线散射法及其在多层薄膜三维结构分析中的应用

• 批准号: 22651034
• 负责人: OKUDA Hiroshi
• 金额: $ 2.29万
• 依托单位: Kyoto University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22651034/
• 关键词: 表面界面ナノ構造; 共鳴軟X線散乱法; GISAS; コントラスト変調; GISAXS; GISANS; 共鳴散乱; 軟X線共鳴散乱; コントラスト変化; 高分子薄膜; ナノ粒子; 軟X線小角散乱; DWBA

Resonant and nonresonant Grazing-incidence small-angle Soft X-ray scattering (SX-GISAS) has been developed to investigate three dimensional structures and their dependence on the distance from the surface. It has been demonstrated that GISAXS analysis with hard X-rays and that with soft X-rays agree each other, with apparent difference arising just from the curvature of the Ewald sphare. As a typical application of resonant GISAXS, contrast matching between the substrate an d the multilayers has been demonstrated.

共振和非共振掠入射小角度软X射线散射（SX-GISAS）已被开发用于研究三维结构及其与表面距离的依赖关系。已经证明，GISAXS分析与硬X射线和软X射线是一致的，与明显的差异所产生的只是从埃瓦尔德曲率。作为共振GISAXS的一个典型应用，我们研究了衬底和多层膜之间的对比度匹配。

项目成果

軟X線GISAS法による高分子薄膜の構造評価

使用软 X 射线 GISAS 方法评估聚合物薄膜的结构

• 发表时间: 2010
• 作者: 竹下;加藤;奥田;落合;櫻井;藤原;北島
• 通讯作者: 北島

軟X線領域でのコントラストマッチングGISAXS法

软X射线区域对比匹配GISAXS方法

• 发表时间: 2012
• 作者: 前澤亜由美;伊村芳郎;森田くらら;遠藤洋史;河合武司;奥田浩司， 竹下浩樹， 北島義典，櫻井伸一， 小川紘樹 ，平井光博
• 通讯作者: 奥田浩司， 竹下浩樹， 北島義典，櫻井伸一， 小川紘樹 ，平井光博

GISAXS with soft X-rays around 2 keV at Photon Factory

Photon Factory 的 GISAXS 具有约 2 keV 的软 X 射线

• 发表时间: 2011
• 作者: H. Okuda;K. Takeshita;S. Ochiai;Y.Kitajima
• 通讯作者: Y.Kitajima

共鳴 SWAXS法の展開と 無機材料評価への応用

共振SWAXS方法的发展及其在无机材料评价中的应用

• 发表时间: 2011
• 作者: 奥田浩司;竹下浩樹;落合庄治郎;北島義典;横山嘉彦;才田淳治;太田昇
• 通讯作者: 太田昇

軟X線GISAS法による深さ分解構造解析の試み

尝试使用软 X 射线 GISAS 方法进行深度分辨结构分析

• 发表时间: 2011
• 作者: 奥田;竹下;落合;北島
• 通讯作者: 北島