PEEM und Kelvin-AFM-Untersuchungen an dielektrischen Schichten für organische Feldeffekttransistoren
PEEM und Kelvin-AFM-Untersuchungen an dielektrischen Schichten für organische Feldeffekttransistoren
批准号:
5404550
负责人:
Professor Dr. Dieter Schmeißer
金额:
$0.0万
依托单位国家:
德国
项目类别:
Priority Programmes
财政年份:
2003
资助国家:
德国
项目状态:
已结题
起止时间:
2002-12-31 至 2006-12-31
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英文摘要
Im Projektvorschlag wird zunächst eine methodische Entwicklung der spektroskopischen Charakterisierung von Grenzflächen in OFET-Schichtfolgen durchgeführt. Dabei stehen die Einflüsse der Rauhigkeit und der Reaktivität im Mittelpunkt. Nach erfolgter Charakterisierung erfolgt an somit wohldefinierten Proben ein Vergleich zweier Methoden, die beide eine Abbildung von Potentialgradienten innerhalb des Kanals (zwischen der Source- und der Drain- elektrode) ermöglichen (Mikrokelvinmethode und PEEM). AFM und PES werden eingesetzt, um die Grenzflächen zu charakterisieren, die im Aufbau von OFET- Schichtfolgen auftreten. An der Grenzfläche zwischen dem Halbleiter-Material und dem Dielektrikum wird die Rauhigkeit als Folge der Herstellungsparameter überprüft mit AFM-Messungen. Die beobachteten Rauhigkeiten werden mit den Herstellungsparametern korreliert. Ziel ist es, möglichst glatte Oberflächen zu erreichen, um den Einfluss der Rauhigkeit der Grenzflächen auf die elektrischen Eigenschaften der Bauelemente zu bestimmen und letztere zu optimieren. Ein Ziel ist auch herauszufinden, inwieweit die Rauhigkeit und die Reaktivität Grenzen vorgeben für die charakteristischen elektrischen Kenndaten (Beweglichkeit, Sättigungsstrom, Durchgriff) der all-polymer Bauelemente. Es ist zu bestimmen, ob durch die vorgegebenen Prozessschritte eine Begrenzung der performance erfolgt. Mit PES wird die chemische Stabilität an der Grenzfläche kontrolliert. Durch variable Austrittstiefen können diese Untersuchungen auch an verborgenen Grenzflächen durchgeführt werden, solange die Schichtdicken der Isolationsschichten kleiner als 2nm sind. Nach erfolgreicher Optimierung der Materialien und der Präparationsbedingungen kann die Potential-Verteilung zwischen der Source und der Drain Elektrode über Source-Drain Kanal mit der Mikrokelvinmethode und PEEM abgebildet werden.
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会议论文
Fundamental and functional properties of ultra-thin oxide films grown by atomic layer deposition (ALD) studied in-situ by means of surface sensitive techniques
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批准号:219438008
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项目类别:Research Grants
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资助金额:$0.0万
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财政年份:2013
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负责人:Professor Dr. Dieter Schmeißer
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依托单位:
Organische Ferroelektrika für nichtflüchtige Speicher
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批准号:16317949
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项目类别:Priority Programmes
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资助金额:$0.0万
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财政年份:2005
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负责人:Professor Dr. Dieter Schmeißer
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依托单位:
Pr - O - N layers: dielectrics for 4H-SiC surfaces
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批准号:5413106
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项目类别:Priority Programmes
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资助金额:$0.0万
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财政年份:2003
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负责人:Professor Dr. Dieter Schmeißer
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依托单位:
Multispektralzelle mit ZnS-CuInS2 Legierungen
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批准号:5223566
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项目类别:Research Grants
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资助金额:$0.0万
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财政年份:2000
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负责人:Professor Dr. Dieter Schmeißer
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依托单位:
海外基金