Exploration of metallic glass films for MEMS application

金属玻璃薄膜在MEMS应用中的探索

• 批准号: 23560095
• 负责人: INOUE Shozo
• 金额: $ 3.33万
• 依托单位: University of Hyogo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2013
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23560095/
• 关键词: 金属ガラス; 薄膜; スパッタリング; コンビナトリアル; Zr基金属ガラス

In order to develop Zr-Al-TM (TM: transition metal) metallic glass films for MEMS applications, promising film compositions were exploered by combinatorial sputtering method. In the case of Zr-Ni-Al alloy system, the most promising composition was found to exist at around Zr:Ni:Al=40:30:30. For industrialization of these materials in future, the relationship between mechanical properties of metallic glass films deposited directly from an alloy target and deposition conditions were also investigated. We have also succeeded to fabricate 3-dimensional micro-structure using its glass transition behavior.

为了开发应用于MEMS的Zr-Al-TM（TM：transition metal）金属玻璃薄膜，采用组合溅射方法探索了具有应用前景的薄膜成分。在Zr-Ni-Al合金系统的情况下，发现最有希望的组成存在于Zr：Ni：Al=40：30：30左右。为了使这些材料工业化，还研究了从合金靶直接沉积的金属玻璃膜的机械性能与沉积条件之间的关系。利用其玻璃化转变特性，我们还成功地制备了三维微结构。

项目成果

コンビナトリアルスパッタリング法によるZrNiAl金属ガラス薄膜の組成探索

组合溅射法ZrNiAl金属玻璃薄膜的成分探索

• 发表时间: 2011
• 作者: Hisaaki Tobushi;Ryosuke Matsui;Kohei Takeda;Elzbieta A. Pieczyska;Katsuyuki Kida;松田憲昭，坂根政男，堀智成，能瀬篤志，寄川盛男，増野浩一，磯部展宏，吉成明;清水実結,吉木啓介,生津資大,井上尚三
• 通讯作者: 清水実結,吉木啓介,生津資大,井上尚三

合金ターゲットを用いたスパッタ法によるZrCuNiAl金属ガラス薄膜の作製

合金靶溅射法制备ZrCuNiAl金属玻璃薄膜

• 发表时间: 2012
• 作者: Seung-zeon. Han;Masahiro Goto;Kwangjun Euh;Jee-hyuk Ahn;船越政伸,吉木啓介,生津資大,井上尚三
• 通讯作者: 船越政伸,吉木啓介,生津資大,井上尚三

合金ターゲットのスパッタリングによって作製したZrCuNiAl金属ガラス薄膜の機械的性質の評価

合金靶材溅射制备ZrCuNiAl金属玻璃薄膜力学性能评价

• 发表时间: 2013
• 作者: 中村 寛, 高梨 正祐, 伊藤 隆基; 呉 敏; 坂根 政男;船越政伸,西祐一,吉木啓介,生津資大,井上尚三
• 通讯作者: 船越政伸,西祐一,吉木啓介,生津資大,井上尚三

ZrNiAl系金属ガラス薄膜の機械的性質の評価

ZrNiAl基金属玻璃薄膜力学性能评价

• 发表时间: 2013
• 作者: K. Takeda;H. Tobushi and E.A. Pieczyska;清水実結,船越政伸,吉木啓介,生津資大,井上尚三
• 通讯作者: 清水実結,船越政伸,吉木啓介,生津資大,井上尚三