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Exploration of metallic glass films for MEMS application

Exploration of metallic glass films for MEMS application
金属玻璃薄膜在MEMS应用中的探索
批准号：
23560095
负责人：
INOUE Shozo
金额：
$3.33万
依托单位：
University of Hyogo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2011
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2011 至 2013
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23560095/
关键词：
金属ガラス薄膜スパッタリングコンビナトリアルZr基金属ガラス

项目摘要

项目成果

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In order to develop Zr-Al-TM (TM: transition metal) metallic glass films for MEMS applications, promising film compositions were exploered by combinatorial sputtering method. In the case of Zr-Ni-Al alloy system, the most promising composition was found to exist at around Zr:Ni:Al=40:30:30. For industrialization of these materials in future, the relationship between mechanical properties of metallic glass films deposited directly from an alloy target and deposition conditions were also investigated. We have also succeeded to fabricate 3-dimensional micro-structure using its glass transition behavior.
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会议论文
コンビナトリアルスパッタリング法によるZrNiAl金属ガラス薄膜の組成探索
组合溅射法ZrNiAl金属玻璃薄膜的成分探索
DOI： --
发表时间： 2011
期刊：
影响因子： --
作者： [Hisaaki Tobushi, Ryosuke Matsui, Kohei Takeda, Elzbieta A. Pieczyska, Katsuyuki Kida, 松田憲昭，坂根政男，堀智成，能瀬篤志，寄川盛男，増野浩一，磯部展宏，吉成明, 清水実結,吉木啓介,生津資大,井上尚三]
通讯作者： 清水実結,吉木啓介,生津資大,井上尚三
合金ターゲットを用いたスパッタ法によるZrCuNiAl金属ガラス薄膜の作製
合金靶溅射法制备ZrCuNiAl金属玻璃薄膜
DOI： --
发表时间： 2012
期刊：
影响因子： --
作者： [Seung-zeon. Han, Masahiro Goto, Kwangjun Euh, Jee-hyuk Ahn, 船越政伸,吉木啓介,生津資大,井上尚三]
通讯作者： 船越政伸,吉木啓介,生津資大,井上尚三
合金ターゲットのスパッタリングによって作製したZrCuNiAl金属ガラス薄膜の機械的性質の評価
合金靶材溅射制备ZrCuNiAl金属玻璃薄膜力学性能评价
DOI： --
发表时间： 2013
期刊：
影响因子： --
作者： [中村 寛,　高梨 正祐,　伊藤 隆基, 呉 敏, 坂根 政男, 船越政伸,西祐一,吉木啓介,生津資大,井上尚三]
通讯作者： 船越政伸,西祐一,吉木啓介,生津資大,井上尚三
ZrNiAl系金属ガラス薄膜の機械的性質の評価
ZrNiAl基金属玻璃薄膜力学性能评价
DOI： --
发表时间： 2013
期刊：
影响因子： --
作者： [K. Takeda, H. Tobushi and E.A. Pieczyska, 清水実結,船越政伸,吉木啓介,生津資大,井上尚三]
通讯作者： 清水実結,船越政伸,吉木啓介,生津資大,井上尚三
Development of High Response Shape Memory Alloy Micro-Actuator Material
  • 批准号：
    20560083
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额：
    $2.91万
  • 财政年份：
    2008
  • 负责人：
    INOUE Shozo
  • 依托单位：
    University of Hyogo
High rate deposition of Mgh hardness carbide thin films using a dual source dc magnetron sputtering method
  • 批准号：
    13650097
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额：
    $2.56万
  • 财政年份：
    2001
  • 负责人：
    INOUE Shozo
  • 依托单位：
    Himeji Institute of Technology
国内基金
海外基金
高性能抗氧化BOPP薄膜加工关键技术研究
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    王晓丽
  • 依托单位：
    江苏海洋大学
汽车后视镜用高耐腐蚀银合金薄膜材料开发
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    林改
  • 依托单位：
    江苏城乡建设职业学院
基于稀疏天线阵列的薄膜铌酸锂光学相控阵
  • 批准号：
    JCZRMS202600414
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
  • 依托单位：
    中国地质大学（武汉）
CsₓWO₃/CeO₂异质结的构建及其自修复透明隔热薄膜研究
  • 批准号：
    2026JJ50456
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    谭彦妮
  • 依托单位：
    中南大学