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Development of evaluation method of crystallinity in poly-crystallized silicon thin film for bottom gate type TFT by surface photo-voltage

Development of evaluation method of crystallinity in poly-crystallized silicon thin film for bottom gate type TFT by surface photo-voltage
底栅型TFT用多晶硅薄膜的结晶度表面光电压评价方法的开发
批准号：
23560372
负责人：
IKEDA Masanori
金额：
$3.41万
依托单位：
Nihon University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2011
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2011 至 2013
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23560372/
关键词：
表面光電圧多結晶シリコン薄膜薄膜トランジスタ結晶性評価多結晶Si薄膜TFT

项目摘要

项目成果

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Evaluation method of crystallinity in poly-crystallized silicon thin film was investigated by alternative surface photo-voltage (AC SPV). Sensitive AC SPV measurement was achieved by the change of light source for carrier excitation from light-emitting diode (LED) to laser diode (LD). The ratio of AC SPV to radius of grain in poly-silicon thin film crystallized by excimer laser annealing was estimated about 1 mV/nm. Furthermore, it was shown that there is a problem of the saturation in AC SPV with high power light irradiation.
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会议论文
表面光電圧法による熱処理したアモルファスSi薄膜の結晶性評価
采用表面光电压法评价热处理非晶硅薄膜的结晶度
DOI： --
发表时间： 2013
期刊：
影响因子： --
作者： [葛生一馬, 池田正則, 清水博文, 高松弘行, 迫田尚和]
通讯作者： 迫田尚和
表面光電圧法による熱処理したa-Si薄膜の結晶性評価
采用表面光电压法评价热处理非晶硅薄膜的结晶度
DOI： --
发表时间： 2013
期刊：
影响因子： --
作者： [葛生一馬, 池田正則, 清水博文, 高松弘行, 迫田尚和]
通讯作者： 迫田尚和
Au水溶液浸漬によるAu/n-Si(100)ショットキー障壁の形成
浸没在 Au 水溶液中形成 Au/n-Si(100) 肖特基势垒
DOI： --
发表时间： 2012
期刊： 表面科学
影响因子： --
作者： [池田正則, 清水博文]
通讯作者： 清水博文
Alternating Current Surface Photovoltage in Thermally Oxidized Cr-Contaminated n-Type Silicon Wafers
热氧化铬污染 n 型硅片中的交流表面光电压
DOI： --
发表时间： 2011
期刊： Applied Physics A
影响因子： --
作者： [H. Shimizu, S. Nagase, and M. Ikeda]
通讯作者： and M. Ikeda
共 8 条
    A Study on Comprehensive Collateral Regulation in Business Restructuring Using ABL
    Effect of the global security used in the ABL in the insolvency of the debtor
    • 批准号：
      26380105
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $1.41万
    • 财政年份：
      2014
    • 负责人：
      IKEDA Masanori
    • 依托单位：
      Nagoya University
    Educational Career of Junior Official in Historical Materials of Appointment in Meiji Era
    • 批准号：
      25780482
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.58万
    • 财政年份：
      2013
    • 负责人：
      IKEDA Masanori
    • 依托单位：
      University of Hyogo
    A Study of Educational Backgrounds of Local Elites in the Latter Half of the 19th Century in Japan
    • 批准号：
      23830056
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
    • 资助金额：
      $1.16万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      IKEDA Masanori
    • 依托单位：
      University of Hyogo
    海外基金