Design and construction of radiation thermometry systems under extremely nonequilibrium temperature condition

极非平衡温度条件下辐射测温系统的设计与构建

• 批准号: 23560511
• 负责人: IUCHI Tohru
• 金额: $ 3.24万
• 依托单位: Toyo University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2013
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23560511/
• 关键词: 放射測温; 放射率; 背光放射; 半導体; 偏光; 非平衡温度場; 反射率; 透過率; 放射輝度; シリコンウエハ; 背光放射雑音

Radiation thermometry, that is, a non-contact temperature measurement method based on the radiance measurement emitted by an object is available in various fields of science and industry. This method, however, meets difficulties when it is used under the extremely nonequilibrium temperature condition that is caused by the large temperature difference between the object and heaters such as high intensity lamps, because of strong background radiance (optical noise).I proposed a method to evaluate background radiance quantitatively by introducing a parameter defined as a noise factor and to reduce it significantly as well. Based on this method, I established a method for designing an integrated radiation thermometry system including the emissivity-compensated radiation thermometry.

辐射测温，即基于物体发射的辐射测量的非接触式温度测量方法，可用于科学和工业的各个领域。但是，由于背景辐射（光噪声）强，在被测物与高强度灯等加热器之间的温差大，温度极不平衡的情况下使用时，会遇到困难。本文提出了通过引入噪声因子来定量评价背景辐射的方法，并使其显著降低。在此基础上，建立了包括发射率补偿辐射测温的集成辐射测温系统的设计方法。

项目成果

A combined method of noncontact temperature measurement for silicon wafers

硅片非接触式测温组合方法

• 发表时间: 2012
• 作者: Y. Toyoda;T. Seo and T. Iuchi
• 通讯作者: T. Seo and T. Iuchi

シリコンウエハのin-situ放射測温法における背光雑音の遮蔽

硅片原位辐射测温中背光噪声的屏蔽

• 发表时间: 2011
• 作者: 瀬尾朋博;岩崎友幸;井内徹
• 通讯作者: 井内徹

放射測温法における背光放射の定量評価

辐射测温中背光辐射的定量评估

• 发表时间: 2013
• 作者: 岩崎友幸;井内徹
• 通讯作者: 井内徹

背光雑音を分離したシリコンウエハのin-situ放射測温の検討

背光噪声分离的硅片原位辐射温度测量研究

• 发表时间: 2011
• 作者: 瀬尾朋博;岩崎友幸;井内徹
• 通讯作者: 井内徹

SiウエハのIn-situ温度測定技術

硅片原位测温技术

• 发表时间: 2013
• 作者: 瀬尾朋博;岩崎友幸;井内徹;井内徹;井内徹;井内徹;井内徹;井内徹
• 通讯作者: 井内徹