薄膜致动器磁性材料的过程控制-猫眼课题宝

薄膜致动器磁性材料的过程控制

批准号：

24560859

负责人：

MATSUMURA Yoshihito

金额：

$3.41万

依托单位：

Tokai University

依托单位国家：

日本

项目类别：

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

财政年份：

2012

资助国家：

日本

项目状态：

已结题

起止时间：

2012-04-01 至 2015-03-31

来源：

https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-24560859/

关键词：

アクチュエータ材料薄膜プラズマ過剰エネルギーイオン衝撃内部応力スパッタリングイオンプレーティング薄膜アクチュエータプラズマ計測過飽和固溶体熱応力特性制御磁歪材料スパッタ磁性材料

项目摘要

项目成果

MATSUMURA Yoshihito的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要

翻译

点击翻译按钮获取中文摘要

英文摘要

期刊论文(0)

专著(0)

科研奖励(0)

会议论文

Preparation of Supersaturated Fe–In Alloy Thin Films by Ion-Plating Process

过饱和铁的制备

DOI： 10.2320/matertrans.m2014162

发表时间： 2014

期刊：

MATERIALS TRANSACTIONS

影响因子： 1.2

作者：

[Mao Amano, Yumiko Ezaki, Kadek Fendy Sutrisna, Yoshihito Matsumura]

通讯作者： Yoshihito Matsumura

イオンプレーティング法により作製したアクチュエータ薄膜に対する過剰エネルギーの影響

过剩能量对离子镀法制备致动器薄膜的影响

DOI： --

发表时间： 2014

期刊：

第26回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム(SEAD26)講演論文集

影响因子： --

作者：

[Mao Amano, Yumiko Ezaki, Kadek Fendy Sutrisna, Yoshihito Matsumura, 天野　真央,ニヨムワイタヤ　チョンラウィット,酒井　彰崇,飯島　貴朗,利根川　昭,松村　義人, ニヨムワイタヤ　チョンラウィット,酒井　彰崇,天野　真央,江崎　祐美子,松村　義人]

通讯作者：ニヨムワイタヤ　チョンラウィット,酒井　彰崇,天野　真央,江崎　祐美子,松村　義人

薄膜アクチュエータを目的とした過飽和固溶Fe磁歪合金の作製

用于薄膜致动器的过饱和固溶体铁磁致伸缩合金的制备

DOI： --

发表时间： 2012

期刊：

電磁力関連のダイナミックスシンポジウム講演論文集

影响因子： --

作者：

[天野真央, 松村義人, 江崎裕美子, SUTRISNA Kadek Fendy]

通讯作者： SUTRISNA Kadek Fendy

Internal stress control of Transition Metal Thin Films

过渡金属薄膜的内应力控制

DOI： --

发表时间： 2014

期刊：

影响因子： --

作者：

[M. Amano, Y. Ezaki, K.F. Sutrisna, Y. Shinohara, Y.Matsumura, 酒井　彰崇,ニヨムワイタヤ　チョンラウィット,天野　真央,飯島　貴朗,利根川　昭,松村　義人, 田綿　元貴,橋本　真希,豊田　椋一,落合　成行,松村　義人, 豊田椋一,天野　真央,望月　龍馬,飯島　貴朗,利根川　昭,松村　義人, 天野　真央,豊田椋一,松村　義人, 天野　真央,ニヨムワイタヤ　チョンラウィット,松村　義人, 天野　真央,松村　義人, Ryoichi Toyoda,Motoki Tawata,Maki Hashimoto,Yoshihito Matsumura]

通讯作者： Ryoichi Toyoda,Motoki Tawata,Maki Hashimoto,Yoshihito Matsumura

Effects of Excess Energy on Thin Film Actuator Formation by Ion Plating Process

过量能量对离子镀工艺形成薄膜致动器的影响

DOI： --

发表时间： 2014

期刊：

Proc. 14th Int.Conf. on New Actuators (ACTUATOR2014)

影响因子： --

作者：

[Mao Amano, Yumiko Ezaki, Kadek Fendy Sutrisna, Yoshihito Matsumura, 天野　真央,ニヨムワイタヤ　チョンラウィット,酒井　彰崇,飯島　貴朗,利根川　昭,松村　義人, ニヨムワイタヤ　チョンラウィット,酒井　彰崇,天野　真央,江崎　祐美子,松村　義人, 豊田　椋一,宮田　俊平,橋本　真希,坂野　将太,飯島　貴朗,利根川　昭,松村　義人, Mao Amano,Chonlawich NIYOMUWAITAYA,Akitaka SAKAI,Ryoichi TOYODA,Takaaki IIJIMA,Akira Tonegawa,Yoshihito Matsumura, Chonlawich NIYOMUWAITAYA,Akitaka SAKAI,Mao Amano,Yumiko EZAKI,Ryoichi TOYODA,Takaaki IIJIMA,Akira Tonegawa,Yoshihito Matsumura]

通讯作者： Chonlawich NIYOMUWAITAYA,Akitaka SAKAI,Mao Amano,Yumiko EZAKI,Ryoichi TOYODA,Takaaki IIJIMA,Akira Tonegawa,Yoshihito Matsumura